[實用新型]一種超低吸收的CO2

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220151927.5
• 申請日: 2022-01-20
• 公開（公告）號: CN216900994U
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發(fā)明（設計）人: 陳莉;李全民;劉翔銀;朱敏;吳玉堂
• 申請（專利權）人: 南京波長光電科技股份有限公司
• 主分類號: G02B1/115
• 分類號: G02B1/115
• 代理公司: 南京中律知識產權代理事務所(普通合伙) 32341
• 代理人: 李建芳

本實用新型公開了一種超低吸收的CO₂激光雙面增透膜的結構為：Air/qHpL/Sub/pLqH/Air；其中，Sub代表基底；H代表高折射率膜料ZnSe膜層；L代表低折射率膜層，L為兩種低折射率膜料L₁膜層和L₂膜層的混合膜層，兩種低折射率膜料L₁膜層和L₂膜層的折射率均為1～1.6，低折射率膜料L₁膜層和低折射率膜料L₂膜層所用材料不同，低折射率膜料L₁膜層：低折射率膜料L₂膜層的光學厚度比例控制在1：3～1：6；p、q分別代表各膜層的光學厚度系數。本實用新型在硒化鋅基片兩側表面鍍制膜系，并通過結合兩種低折射率膜料混鍍，實現10600nm增透，減少了吸收，提高了透過率，平均透過率大于99.7％，單面反射小于0.1％，吸收由原先的0.3％降低到0.1％以內，抗激光損傷閾值經檢測由原先的6000W/CM²提升到10000W/CM²。

技術領域

本實用新型涉及一種超低吸收的CO₂激光雙面增透膜，屬于減反膜領域。

背景技術

隨著光電子技術，尤其是激光技術、光纖通訊等高科技產品的發(fā)展，光學薄膜涂層在基礎光學、激光技術、光譜學等領域得到越來越廣泛的應用。例如，高功率激光中，低吸收、高損傷閾值的薄膜元件是獲得優(yōu)質激光束的關鍵元件。正因為如此，薄膜技術也在飛速發(fā)展。

在光學元件中，CO₂減反膜的優(yōu)點是制備工藝較簡單，難點是膜層吸收大，透過率低，透過率很難提升至99.7％以上，且膜層抗激光損傷閾值較難提升。本實用新型開發(fā)了一種 CO₂激光波段超低吸收雙面增透膜，降低了減反膜膜層的吸收，將兩種膜料控制比例進行混鍍，達到提升透過率和抗激光損傷閾值的目的。

實用新型內容

本實用新型提供一種CO₂激光波段超低吸收雙面增透膜，通過膜系設計和工藝改進，在基底兩側表面鍍制膜系，實現10600nm增透，平均透過率大于99.7％，單面反射小于0.1％，吸收由原先的0.3％降低到0.1％以內；抗激光損傷閾值由原先的6000W/CM²提升到10000W/CM²。

為解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案如下：

一種CO₂激光波段超低吸收雙面增透膜的結構為：Air/qHpL/Sub/pLqH/Air；其中，Sub代表基底；H代表高折射率膜料ZnSe膜層，高折射率膜料ZnSe膜層的折射率為2～3； L代表低折射率膜層，L為兩種低折射率膜料L₁膜層和L₂膜層的混合膜層，兩種低折射率膜料L₁膜層和L₂膜層的折射率均為1～1.6，低折射率膜料L₁膜層和低折射率膜料L₂膜層所用材料不同，低折射率膜料L₁膜層：低折射率膜料L₂膜層的光學厚度比例控制在 1：3～1：6；p、q分別代表各膜層的光學厚度系數。

p、q數值大小和參考波長λ有關，且0≤p≤100，0≤q≤200。Air為空氣側。