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[實(shí)用新型]一種超低吸收的CO2有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202220151927.5 申請日: 2022-01-20
公開(公告)號: CN216900994U 公開(公告)日: 2022-07-05
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 陳莉;李全民;劉翔銀;朱敏;吳玉堂 申請(專利權(quán))人: 南京波長光電科技股份有限公司
主分類號: G02B1/115 分類號: G02B1/115
代理公司: 南京中律知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32341 代理人: 李建芳
地址: 211121 江蘇省南*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 吸收 co base sub
【權(quán)利要求書】:

1.一種超低吸收的CO2激光雙面增透膜,其特征在于:超低吸收的CO2激光雙面增透膜的結(jié)構(gòu)為:Air/qHpL/Sub/pLqH/Air;其中,Sub代表基底;H代表高折射率膜料ZnSe膜層,高折射率膜料ZnSe膜層的折射率為2~3;L代表低折射率膜層,L為兩種低折射率膜料L1膜層和L2膜層的混合膜層,兩種低折射率膜料L1膜層和L2膜層的折射率均為1~1.6,低折射率膜料L1膜層和低折射率膜料L2膜層所用材料不同,低折射率膜料L1膜層:低折射率膜料L2膜層的光學(xué)厚度比例控制在1:3~1:6;p、q分別代表各膜層的光學(xué)厚度系數(shù)。

2.如權(quán)利要求1所述的超低吸收的CO2激光雙面增透膜,其特征在于:低折射率膜料L1膜層為YF3膜層或YbF3膜層。

3.如權(quán)利要求1或2所述的超低吸收的CO2激光雙面增透膜,其特征在于:低折射率膜料L2膜層為BaF2膜層。

4.如權(quán)利要求1或2所述的超低吸收的CO2激光雙面增透膜,其特征在于:基底的折射率2~3。

5.如權(quán)利要求4所述的超低吸收的CO2激光雙面增透膜,其特征在于:基底所用材料為硒化鋅,基底厚度為3±0.2mm。

6.如權(quán)利要求1或2所述的超低吸收的CO2激光雙面增透膜,其特征在于:超低吸收的CO2激光雙面增透膜的結(jié)構(gòu)為:Air/0.2H(pmL1 pnL2)/Sub/(pnL2 pmL1)0.2H/Air,其中,H代表ZnSe膜層,L1代表YF3膜層或YbF3膜層,L2代表BaF2膜層,其中pm:pn=i,3≤i≤6,pm和pn代表各膜層的光學(xué)厚度系數(shù)。

7.如權(quán)利要求6所述的超低吸收的CO2激光雙面增透膜,其特征在于:YF3膜層或YbF3膜層的物理厚度為270±5nm、BaF2膜層的物理厚度為810±5nm、ZnSe膜層的物理厚度為225±5nm。

8.如權(quán)利要求6所述的超低吸收的CO2激光雙面增透膜,其特征在于:YF3膜層或YbF3膜層的物理厚度為160±5nm、BaF2膜層的物理厚度為945±5nm、ZnSe膜層的物理厚度為214±5nm。

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