[實用新型]照明裝置以及半導體檢測設備

有效

• 申請號: 202220144548.3
• 申請日: 2022-01-19
• 公開（公告）號: CN216900254U
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發明（設計）人: 李軒;夏世偉;杰夫·貝克;楊立軍;孟慶棟
• 申請（專利權）人: 上海凱世通半導體股份有限公司;北京凱世通半導體有限公司
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;G01N21/01;H01L21/67;H01L21/66
• 代理公司: 上海知錦知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31327
• 代理人: 吳凡

1.一種用于半導體檢測設備的照明裝置，所述半導體檢測設備包括用于放置晶圓的腔室；

所述照明裝置，位于所述腔室中，其特征在于，所述照明裝置包括：

殼體；

環形的凹槽結構，位于所述殼體的頂部；

發光元件，位于所述凹槽結構中，用于提供照射向所述晶圓的檢測光；

透明蓋體，位于所述殼體的頂部，且覆蓋所述凹槽結構。

2.如權利要求1所述的照明裝置，其特征在于，所述殼體還包括：第一密封槽，位于所述凹槽結構內側的所述殼體的頂部；

所述照明裝置還包括：第一密封環，位于所述第一密封槽中，且被所述透明蓋體覆蓋；

所述殼體還包括：第二密封槽，位于所述凹槽結構外側的所述殼體的頂部；

所述照明裝置還包括：第二密封環，位于所述第二密封槽中，且被所述透明蓋體覆蓋。

3.如權利要求1所述的照明裝置，其特征在于，所述凹槽結構包括：

第一凹槽，所述第一凹槽呈環形，用于放置所述發光元件；

第二凹槽，所述第二凹槽呈環形，位于所述第一凹槽的內側壁的底部，用于放置所述發光元件的電纜。

4.如權利要求3所述的照明裝置，其特征在于，所述殼體還包括：開口，貫穿所述第二凹槽底部的殼體，用于將所述發光元件的電纜與外部連接；

所述照明裝置還包括：密封件，位于所述開口中，用于密封所述開口。

5.如權利要求3所述的照明裝置，其特征在于，所述發光元件包括：

承載板，所述承載板包括環形底板和位于環形底板內側邊緣的環形固定部，所述承載板與所述第一凹槽的外側壁圍成槽型區域；

環形發光體，位于所述槽型區域中；

勻光板，位于所述環形發光體上，且覆蓋所述環形發光體。

6.如權利要求5所述的照明裝置，其特征在于，所述環形發光體包括多個沿周向間隔排布的發光二極管。

7.如權利要求1所述的照明裝置，其特征在于，所述透明蓋體包括透明法蘭。

8.如權利要求1所述的照明裝置，其特征在于，所述照明裝置還包括：

光源控制器，與所述發光元件連接，用于控制所述發光元件的開關以及調節發光元件的亮度，所述光源控制器包括本地操控面板或者遠程控制器。

9.如權利要求1所述的照明裝置，其特征在于，所述殼體還包括：殼體通孔，貫穿所述殼體的中心區域；

所述凹槽結構，環繞所述殼體通孔；

所述透明蓋體還包括：蓋體通孔，貫穿所述透明蓋體的中心區域，所述蓋體通孔與所述殼體通孔相對應。

10.一種半導體檢測設備，其特征在于，包括：

腔室，所述腔室的頂部具有腔室開口；

承片臺，在所述腔室中，用于承載晶圓，且所述晶圓的邊緣露出所述承片臺；

如權利要求1至8任一項所述的照明裝置，位于所述承片臺的底部，用于提供背光源；

圖像獲取裝置，位于所述腔室外部，用于透過所述腔室開口對晶圓正面進行拍攝獲取圖片；

圖像處理單元，用于對所述圖片進行處理。

11.如權利要求10所述的半導體檢測設備，其特征在于，所述殼體還包括：殼體通孔，貫穿所述殼體的中心區域；所述凹槽結構，環繞所述殼體通孔；

所述透明蓋體還包括：蓋體通孔，貫穿所述透明蓋體的中心區域，所述蓋體通孔與所述殼體通孔相對應；

所述半導體檢測設備還包括：調整裝置，貫穿所述殼體通孔和蓋體通孔，與所述承片臺的底部連接，用于驅動所述承片臺平移或者轉動。