[實用新型]一種晶圓夾持裝置

有效

• 申請號: 202220123101.8
• 申請日: 2022-01-18
• 公開（公告）號: CN216698333U
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發明（設計）人: 谷德鑫
• 申請（專利權）人: 沈陽超夷微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 沈陽晨創科技專利代理有限責任公司 21001
• 代理人: 張晨

1.一種晶圓夾持裝置，其特征在于：所述的晶圓夾持裝置，包括下夾盤(1)，下夾盤垂直連桿(2)，上夾盤(3)，下夾盤水平連桿(4)，氣缸筒(5)，電機連接筒(6)，電機(7)，氣缸桿固定夾(8)，氣道(9)，排氣口(10)，氣缸桿(11)；

其中：下夾盤水平連桿(4)與下夾盤(1)之間通過下夾盤垂直連桿(2)連接，下夾盤垂直連桿(2)穿過上夾盤(3)；電機連接筒(6)與電機(7)連接，氣缸桿固定夾(8)設置在氣缸桿(11)上端；

下夾盤(1)內帶有用于放置晶圓(12)的圓弧，氣缸桿(11)內帶有氣道(9)，上夾盤(3)能升降，氣缸桿(11)與電機(7)軸固定，氣缸筒(5)隨著進氣量的增加能上下移動，電機(7)能帶動晶圓(12)旋轉，上夾盤(3)與氣缸筒(5)連接，氣缸筒(5)上設置有排氣口(10)。

2.根據權利要求1所述的晶圓夾持裝置，其特征在于：所述的下夾盤垂直連桿(2)為2或4根。

3.根據權利要求1所述的晶圓夾持裝置，其特征在于：所述的上夾盤(3)與下夾盤垂直連桿(2)之間設置有導向滑道裝置。