[實用新型]一種等離子設備

有效

• 申請號: 202220088471.2
• 申請日: 2022-01-13
• 公開（公告）號: CN216773192U
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發明（設計）人: 茍先華;張彬彬;肖峰;王鵬鵬;蘇財鈺
• 申請（專利權）人: 重慶康佳光電技術研究院有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01J37/32
• 代理公司: 深圳鼎合誠知識產權代理有限公司 44281
• 代理人: 李發兵

1.一種等離子設備，其特征在于，包括：

反應腔室，所述反應腔室的一端設有進氣口，另一端設有排氣口；

反應托盤，所述反應托盤位于所述反應腔室中用于承載基片，其盤面與所述反應腔室中氣體流動的方向平行；

連接軸，所述連接軸的一端固定在所述反應托盤的中軸點上，另一端穿過所述反應腔室的側壁與動力裝置連接；

動力裝置，所述動力裝置用于驅動所述連接軸旋轉，所述連接軸旋轉帶動所述反應托盤旋轉。

2.如權利要求1所述的等離子設備，其特征在于，所述反應托盤包括至少兩層重疊的托盤，各層托盤之間的間距相同，各層托盤之間通過支撐柱連接固定。

3.如權利要求2所述的等離子設備，其特征在于，所述反應托盤的每一層托盤上均勻的放置所承載的基片。

4.如權利要求3所述的等離子設備，其特征在于，所述反應托盤的每一層托盤上還包括定位槽，所述定位槽均勻的分布在所述反應托盤的每一層托盤上。

5.如權利要求2所述的等離子設備，其特征在于，所述反應托盤還包括：支撐盤；

所述支撐盤的底面的中軸點與所述連接軸固定，頂面用于支撐并固定所述至少兩層托盤。

6.如權利要求1所述的等離子設備，其特征在于，所述動力裝置為旋轉電機，所述旋轉電機的輸出軸為所述連接軸。

7.如權利要求1所述的等離子設備，其特征在于，所述動力裝置為旋轉電機，所述旋轉電機的輸出軸通過皮帶或傳動齒輪與所述連接軸連接。

8.如權利要求1所述的等離子設備，其特征在于，還包括控制單元，所述控制單元用于控制所述動力裝置驅動所述連接軸旋轉的轉速。

9.如權利要求1-8任一項所述的等離子設備，其特征在于，所述反應腔室為圓柱體，所述進氣口位于圓柱體一端的圓形面上，所述排氣口位于圓柱體另一端的圓形面上。

10.如權利要求9所述的等離子設備，其特征在于，所述進氣口包括氣體分流板，所述氣體分流板上有若干個均勻的分布的進氣孔。