[實用新型]一種邊緣光刻膠去除裝置

有效

• 申請號: 202220013022.1
• 申請日: 2022-01-05
• 公開（公告）號: CN216449894U
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 葛雷
• 申請（專利權）人: 丹東華順電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京中仟知識產權代理事務所(普通合伙) 11825
• 代理人: 劉文騫

本實用新型涉及一種邊緣光刻膠去除裝置，包括環型加工臺，環型加工臺的上端面開設有處理槽，處理槽的側壁上滑動連接有齒鏈，齒鏈一側等間距轉動連接有多組放置臺，放置臺的上端面螺栓連接有定位圈，定位圈內設置有真空吸盤，環型加工臺的一側設置有通孔，通孔內轉動連接有第一齒輪，第一齒輪與齒鏈嚙合，環型加工臺的一側設置有步進電機，步進電機的輸出端設置有第二齒輪，環型加工臺的上端面沿著逆時針的方向依次設置有遮光板、第一噴頭、第二噴頭和烘干風機。環型加工臺和遮光板、第一噴頭、第二噴頭和烘干風機的設計，可實現流水線加工，提高加工效率；定位圈和真空吸盤的設計，可滿足不同的加工要求，提高該裝置的使用范圍。

技術領域

本實用新型涉及光刻膠去除裝置技術領域，更具體地說，涉及一種邊緣光刻膠去除裝置。

背景技術

現有技術中，光刻工藝中，光刻膠是以旋轉涂膠的方式涂布于晶圓表面，但由于離心力的作用，會導致晶圓邊緣的光刻膠偏厚，目前使用的去除邊緣光刻膠的設備去除效率較低，加工成本高，且不能滿足不同的尺寸的晶圓的加工需求，本實用新型針對以上問題提出了一種新的解決方案。

實用新型內容

針對現有技術中存在的問題，本實用新型的目的在于提供一種邊緣光刻膠去除裝置，以解決背景技術中所提到的技術問題。

為解決上述問題，本實用新型采用如下的技術方案。

一種邊緣光刻膠去除裝置，包括環型加工臺，所述環型加工臺的上端面以其中心為圓心開設有處理槽，處理槽的側壁上滑動連接有齒鏈，齒鏈一側等間距轉動連接有多組放置臺，放置臺的下端面設置有滑塊，滑塊滑動連接在處理槽內，放置臺的上端面螺栓連接有定位圈，定位圈內設置有真空吸盤，環型加工臺的一側設置有通孔，通孔與處理槽連通，通孔內轉動連接有第一齒輪，第一齒輪與齒鏈嚙合，環型加工臺的一側設置有步進電機，步進電機的輸出端設置有第二齒輪，第二齒輪與第一齒輪嚙合，環型加工臺的上端面沿著逆時針的方向依次設置有遮光板、第一噴頭、第二噴頭和烘干風機，遮光板的一側通過支架螺栓連接在環型加工臺上，遮光板的上端面邊緣處設置有處理光源。

優選的是，所述真空吸盤的底部設置有安裝盤，安裝盤的底部設置有液壓桿，液壓桿內嵌固定在所述放置臺上，所述真空吸盤固定在安裝盤上。

在上述任一方案中優選的是，所述安裝盤的下端面設置有減震墊。

在上述任一方案中優選的是，所述環型加工臺的側壁上設置有排液管，排液管上設置有控制閥，且排液管的一端與所述處理槽的槽底連通。

在上述任一方案中優選的是，所述排液管與所述處理槽的連接處設置有凹槽，凹槽內放置有過濾網板。

在上述任一方案中優選的是，所述步進電機的外側設置有保護罩，保護罩螺栓連接在所述環型加工臺上。

在上述任一方案中優選的是，所述保護罩上設置有散熱格柵，保護罩內側對應散熱格柵的位置設置有防塵網板。

在上述任一方案中優選的是，所述環型加工臺的下端面設置有墊腳。

在上述任一方案中優選的是，所述墊腳的下端面設置有摩擦條紋。

在上述任一方案中優選的是，所述環型加工臺的一側設置有把手。

相比于現有技術，本實用新型的優點在于：

本實用新型中環型加工臺和遮光板、第一噴頭、第二噴頭和烘干風機的設計，可通過步進電機帶動放置臺沿著環型加工臺轉動，使放置臺上的待加工的晶圓依次經過遮光板、第一噴頭、第二噴頭和烘干風機，可實現流水線加工，提高加工效率；定位圈和真空吸盤的設計，可通過根據不同尺寸的晶圓選擇合適的定位圈，并通過真空吸盤將晶圓吸附在放置臺上，可滿足不同的加工要求，提高該裝置的使用范圍。

附圖說明

圖1為本實用新型的一種邊緣光刻膠去除裝置的整體結構示意圖；