[實用新型]一種邊緣光刻膠去除裝置

有效

• 申請號: 202220013022.1
• 申請日: 2022-01-05
• 公開（公告）號: CN216449894U
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 葛雷
• 申請（專利權）人: 丹東華順電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京中仟知識產權代理事務所(普通合伙) 11825
• 代理人: 劉文騫

1.一種邊緣光刻膠去除裝置，包括環型加工臺，其特征在于：所述環型加工臺的上端面以其中心為圓心開設有處理槽，處理槽的側壁上滑動連接有齒鏈，齒鏈一側等間距轉動連接有多組放置臺，放置臺的下端面設置有滑塊，滑塊滑動連接在處理槽內，放置臺的上端面螺栓連接有定位圈，定位圈內設置有真空吸盤，環型加工臺的一側設置有通孔，通孔與處理槽連通，通孔內轉動連接有第一齒輪，第一齒輪與齒鏈嚙合，環型加工臺的一側設置有步進電機，步進電機的輸出端設置有第二齒輪，第二齒輪與第一齒輪嚙合，環型加工臺的上端面沿著逆時針的方向依次設置有遮光板、第一噴頭、第二噴頭和烘干風機，遮光板的一側通過支架螺栓連接在環型加工臺上，遮光板的上端面邊緣處設置有處理光源。

2.根據權利要求1所述的一種邊緣光刻膠去除裝置，其特征在于：所述真空吸盤的底部設置有安裝盤，安裝盤的底部設置有液壓桿，液壓桿內嵌固定在所述放置臺上，所述真空吸盤固定在安裝盤上。

3.根據權利要求2所述的一種邊緣光刻膠去除裝置，其特征在于：所述安裝盤的下端面設置有減震墊。

4.根據權利要求1所述的一種邊緣光刻膠去除裝置，其特征在于：所述環型加工臺的側壁上設置有排液管，排液管上設置有控制閥，且排液管的一端與所述處理槽的槽底連通。

5.根據權利要求4所述的一種邊緣光刻膠去除裝置，其特征在于：所述排液管與所述處理槽的連接處設置有凹槽，凹槽內放置有過濾網板。

6.根據權利要求1所述的一種邊緣光刻膠去除裝置，其特征在于：所述步進電機的外側設置有保護罩，保護罩螺栓連接在所述環型加工臺上。

7.根據權利要求6所述的一種邊緣光刻膠去除裝置，其特征在于：所述保護罩上設置有散熱格柵，保護罩內側對應散熱格柵的位置設置有防塵網板。

8.根據權利要求1所述的一種邊緣光刻膠去除裝置，其特征在于：所述環型加工臺的下端面設置有墊腳。

9.根據權利要求8所述的一種邊緣光刻膠去除裝置，其特征在于：所述墊腳的下端面設置有摩擦條紋。

10.根據權利要求1所述的一種邊緣光刻膠去除裝置，其特征在于：所述環型加工臺的一側設置有把手。