[發明專利]拋光頭、拋光裝置和拋光方法

在審

• 申請號: 202211728960.0
• 申請日: 2022-12-30
• 公開（公告）號: CN115946026A
• 公開（公告）日: 2023-04-11
• 發明（設計）人: 徐德勤;張佳浩;劉增偉;曾柏翔;李瑞評;陳銘欣
• 申請（專利權）人: 福建晶安光電有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B1/04
• 代理公司: 北京金咨知識產權代理有限公司 11612
• 代理人: 王曉雅

1.一種拋光頭，用于安裝被拋光工件，其特征在于，所述拋光頭包括拋光頭本體和壓電陶瓷，所述壓電陶瓷安裝于所述拋光頭本體之內，所述壓電陶瓷用于與超聲發生器連接以使所述拋光頭振動。

2.根據權利要求1所述的拋光頭，其特征在于，所述拋光頭本體包覆所述壓電陶瓷。

3.根據權利要求1所述的拋光頭，其特征在于，在所述拋光頭本體上形成有容納槽和工件安裝部，所述容納槽的槽口的朝向背離所述工件安裝部，所述壓電陶瓷可拆卸的安裝在所述容納槽內。

4.根據權利要求2所述的拋光頭，其特征在于，所述拋光頭包括至少兩個所述壓電陶瓷，所述拋光頭本體為圓盤狀，各所述壓電陶瓷在所述拋光頭的周向上均勻分布。

5.根據權利要求4所述的拋光頭，其特征在于，至少一個所述壓電陶瓷為軸向振動壓電陶瓷，且至少一個所述壓電陶瓷為徑向振動壓電陶瓷，所述軸向振動壓電陶瓷用于產生在所述拋光頭的軸向上的振動，所述徑向振動壓電陶瓷用于產生在所述拋光頭的徑向上的振動。

6.根據權利要求5所述的拋光頭，其特征在于，所述拋光頭包括偶數個所述壓電陶瓷，一半數量的所述壓電陶瓷為所述軸向振動壓電陶瓷，另一半數量的所述壓電陶瓷為所述徑向振動壓電陶瓷，在所述拋光頭的周向上各所述軸向振動壓電陶瓷與各所述徑向振動壓電陶瓷交錯排列，所述偶數大于或等于4。

7.根據權利要求6所述的拋光頭，其特征在于，在所述拋光頭的周向上相鄰的兩個軸向振動壓電陶瓷之間僅設置一個所述徑向振動壓電陶瓷，且相鄰的兩個所述徑向振動壓電陶瓷之間僅設置一個所述軸向振動壓電陶瓷。

8.根據權利要求1-7中任一項所述的拋光頭，其特征在于，在所述拋光頭本體上形成有工件安裝部，所述工件安裝部用于與真空泵連接以吸附被拋光工件。

9.一種拋光裝置，其特征在于，包括轉動驅動件、主軸、正極碳刷、負極碳刷、正極導電環、負極導電環、超聲發生器和如權利要求1-8中任一項所述的拋光頭，所述正極導電環和所述負極導電環均固定在所述主軸上，所述正極碳刷和所述負極碳刷均與超聲發生器連接，所述正極碳刷與所述正極導電環接觸，所述負極碳刷與所述負極導電環接觸，所述拋光頭固定于所述主軸，所述轉動驅動件與所述主軸傳動連接，所述壓電陶瓷與所述正極導電環和所述負極導電環均電連接。

10.一種拋光方法，其特征在于，

將真空裝置外接真空泵，打開所述真空泵，將工件吸附于拋光頭上，關閉所述真空泵，斷開所述工件與所述拋光頭的連接；

開啟機臺，將所述拋光頭落下與拋光盤上的拋光墊接觸，選擇機臺拋光程序，設定相關參數，啟動所述機臺拋光程序，輸送拋光液，使所述拋光頭和所述拋光盤開始轉動；

啟動超聲發生器將電信號傳入壓電陶瓷，以使所述壓電陶瓷將所述電信號轉化為機械振動信號，使得拋光頭將所述機械振動信號傳遞給所述工件以實現超聲輔助化學機械拋光；

在拋光結束后基于所述機臺拋光程序自動關閉拋光液輸送以及拋光頭和拋光盤的轉動，手動關閉所述超聲發生器，打開所述真空裝置并取下所述工件以完成加工。