[發(fā)明專(zhuān)利]一種二氧化硅活性清洗劑、制備裝置及方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211727334.X
• 申請(qǐng)日: 2022-12-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN116333825A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李冬明;殷金虎
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇晶久微電子材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C11D1/00
• 分類(lèi)號(hào): C11D1/00;C11D3/20;C11D3/32;C11D3/60
• 代理公司: 南京協(xié)行知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32493
• 代理人: 鄭立發(fā)

本發(fā)明公開(kāi)了二氧化硅活性清洗劑，包括如下重量份的原料：乙醇8?10份，異丙醇20?25份，n,n?二甲基乙酰胺5?10份，氟碳表面活性劑5?6份，去離子水50?70份。本清洗劑可以降低表面張力，提高預(yù)濕浸潤(rùn)效果。二氧化硅活性清洗劑制備裝置，包括儲(chǔ)料室，混合室，層析柱，濾芯，所述儲(chǔ)料室與混合室的入口管路連接，所述混合室的出口與層析柱的入口管路連接，所述層析柱的出口與濾芯的入口管路連接，所述濾芯的出口與層析柱的入口管路連接。本制備裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便。二氧化硅活性清洗劑制備方法，包括如下步驟：乙醇和異丙醇互溶；加入n,n?二甲基乙酰胺；加入去離子水；加入氟碳表面活性劑；陽(yáng)離子吸附；過(guò)濾；檢驗(yàn)；分裝。本制備方法流程簡(jiǎn)單，操作便捷。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及二氧化硅腐蝕工藝技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種二氧化硅活性清洗劑、制備裝置及方法。

背景技術(shù)

二氧化硅因其優(yōu)越的電絕緣性和工藝的可行性而被廣泛應(yīng)用在各類(lèi)半導(dǎo)體器件中，二氧化硅腐蝕是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的必要環(huán)節(jié)，腐蝕二氧化硅常見(jiàn)的工藝是化學(xué)濕法腐蝕。

液體在與固體接觸時(shí),沿固體表面擴(kuò)展而相互附著的現(xiàn)象,又稱(chēng)為液體浸潤(rùn)固體,也可稱(chēng)為潤(rùn)濕。為了改善二氧化硅濕法腐蝕效果，傳統(tǒng)的做法是濕法腐蝕前將晶圓在活性清洗劑中先進(jìn)行預(yù)濕浸潤(rùn)，活性清洗劑的作用是減小硅片的表面張力，使得腐蝕液更容易和二氧化硅層接觸，從而達(dá)到充分腐蝕的效果。

由于二氧化硅腐蝕液中含有有氫氟酸，氫氟酸對(duì)常規(guī)的活性清洗劑中的表面活性劑都具有腐蝕作用，會(huì)破壞活性清洗劑，降低預(yù)濕浸潤(rùn)效果。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的在于提供二氧化硅活性清洗劑、制備裝置及方法，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中如下技術(shù)問(wèn)題：

（1）采用傳統(tǒng)的活性清洗劑，會(huì)導(dǎo)致二氧化硅腐蝕液中的氫氟酸腐蝕活性清洗劑中的表面活性劑，導(dǎo)致預(yù)濕浸潤(rùn)效果降低的問(wèn)題。

（2）常規(guī)的制備裝置和方法，工藝復(fù)雜，導(dǎo)致制備成本高，同時(shí)制備效率低下的問(wèn)題。

本發(fā)明的目的通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

第一方面，本發(fā)明提供了一種二氧化硅活性清洗劑，包括如下重量份的原料，

乙醇8-10份，異丙醇20-25份，n,n-二甲基乙酰胺5-10份，氟碳表面活性劑5-6份，去離子水50-70份。

第二方面，本發(fā)明提供了一種二氧化硅活性清洗劑制備裝置，包括用于存儲(chǔ)乙醇和異丙醇的儲(chǔ)料室，用于進(jìn)行乙醇和異丙醇的相互融合的混合室，用于進(jìn)行陽(yáng)離子吸附的層析柱，用于進(jìn)行過(guò)濾的濾芯，所述儲(chǔ)料室與混合室的入口管路連接，所述混合室的出口與層析柱的入口管路連接，所述層析柱的出口與濾芯的入口管路連接，所述濾芯的出口與層析柱的入口管路連接。

為優(yōu)化上述技術(shù)方案，采取的具體措施還包括：

進(jìn)一步地，所述儲(chǔ)料室包括若干個(gè)相互獨(dú)立的腔室，若干個(gè)所述腔室分別用于存儲(chǔ)乙醇、異丙醇、n,n-二甲基乙酰胺、去離子水、氟碳表面活性劑，若干個(gè)所述腔室均單獨(dú)通過(guò)管路與混合室連接。

進(jìn)一步地，所述混合室內(nèi)設(shè)有攪拌裝置，所述攪拌裝置包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)和旋轉(zhuǎn)葉片；所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)設(shè)置在混合室的上端，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸與旋轉(zhuǎn)葉片連接，所述旋轉(zhuǎn)葉片設(shè)置在混合室內(nèi)部。

進(jìn)一步地，所述混合室內(nèi)設(shè)置有側(cè)壁上設(shè)置有液位計(jì)和溫度計(jì)，所述混合室內(nèi)壁設(shè)置有多圈呈螺旋排列的加熱管，所述加熱管內(nèi)設(shè)置有電熱絲。

進(jìn)一步地，所述層析柱內(nèi)填充有陽(yáng)離子吸附樹(shù)脂。

進(jìn)一步地，所述濾芯的出口和層析柱的入口之間的管路上設(shè)置有電磁閥，所述電磁閥的出口與分裝裝置連接。

進(jìn)一步地，所述濾芯與電磁閥之間的管路上設(shè)置有取樣口。

第三方面，本發(fā)明還提供了一種二氧化硅活性清洗劑制備方法，包括如下步驟：