[發明專利]一種二氧化硅活性清洗劑、制備裝置及方法

在審

• 申請號: 202211727334.X
• 申請日: 2022-12-30
• 公開（公告）號: CN116333825A
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發明（設計）人: 李冬明;殷金虎
• 申請（專利權）人: 江蘇晶久微電子材料有限公司
• 主分類號: C11D1/00
• 分類號: C11D1/00;C11D3/20;C11D3/32;C11D3/60
• 代理公司: 南京協行知識產權代理事務所(普通合伙) 32493
• 代理人: 鄭立發

1.一種二氧化硅活性清洗劑，其特征在于：包括如下重量份的原料，

乙醇8-10份，異丙醇20-25份，n,n-二甲基乙酰胺5-10份，氟碳表面活性劑5-6份，去離子水50-70份。

2.一種二氧化硅活性清洗劑制備裝置，其特征在于：包括用于存儲乙醇和異丙醇的儲料室，用于進行乙醇和異丙醇的相互融合的混合室，用于進行陽離子吸附的層析柱，用于進行過濾的濾芯，所述儲料室與混合室的入口管路連接，所述混合室的出口與層析柱的入口管路連接，所述層析柱的出口與濾芯的入口管路連接，所述濾芯的出口與層析柱的入口管路連接。

3.根據權利要求2所述的二氧化硅活性清洗劑制備裝置，其特征在于：所述儲料室包括若干個相互獨立的腔室，若干個所述腔室分別用于存儲乙醇、異丙醇、n,n-二甲基乙酰胺、去離子水、氟碳表面活性劑，若干個所述腔室均單獨通過管路與混合室連接。

4.根據權利要求3所述的二氧化硅活性清洗劑制備裝置，其特征在于：所述混合室內設有攪拌裝置，所述攪拌裝置包括驅動電機和旋轉葉片；所述驅動電機設置在混合室的上端，所述驅動電機的輸出軸與旋轉葉片連接，所述旋轉葉片設置在混合室內部。

5.根據權利要求4所述的二氧化硅活性清洗劑制備裝置，其特征在于：所述混合室內設置有側壁上設置有液位計和溫度計，所述混合室內壁設置有多圈呈螺旋排列的加熱管，所述加熱管內設置有電熱絲。

6.根據權利要求2所述的二氧化硅活性清洗劑制備裝置，其特征在于：所述層析柱內填充有陽離子吸附樹脂。

7.根據權利要求2所述的二氧化硅活性清洗劑制備裝置，其特征在于；所述濾芯的出口和層析柱的入口之間的管路上設置有電磁閥，所述電磁閥的出口與分裝裝置連接。

8.一種二氧化硅活性清洗劑制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

從腔室內按設定比例抽取乙醇和異丙醇通入混合室，得到溶液一；

在溶液一種添加n,n-二甲基乙酰胺，并啟動旋轉葉片攪拌25-35min，得到溶液二；

在溶液二中添加去離子水，開啟加熱管調節溶液溫度為5-25攝氏度，得到溶液三；

在溶液三中添加氟碳表面活性劑，開啟加熱管調節溶液溫度為5-25攝氏度，啟動旋轉葉片攪拌25-35min，得到溶液四；

將溶液四通入層析柱中，利用樹脂吸附去除金屬陽離子，得到溶液五；

將溶液五通入過濾芯過濾掉顆粒物，得到活性清洗劑；

將活性清洗劑進行分裝。

9.根據權利要求8所述的二氧化硅活性清洗劑制備方法，其特征在于，在將溶液五通入過濾芯過濾掉顆粒物，得到活性清洗劑之后，將活性清洗劑進行分裝之前，還包括：

對活性清洗劑進行檢驗，若檢驗合格，將活性清洗劑進行分裝；若檢驗不合格，將活性清洗劑通入層析柱中進行再次吸附過濾。

10.根據權利要求8所述的二氧化硅活性清洗劑制備方法，其特征在于：所述溶液四在層析柱中的流速不超過1L/min，所述溶液五在濾芯中的流速不超過1L/min。