[發明專利]一種超高精度油墨印刷與高精密引線二次蝕刻成型的方法

在審

• 申請號: 202211713306.2
• 申請日: 2022-12-30
• 公開（公告）號: CN115835511A
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發明（設計）人: 戚勝利;陳美玲;王健
• 申請（專利權）人: 江蘇上達半導體有限公司
• 主分類號: H05K3/06
• 分類號: H05K3/06;H05K3/28;H01L21/48;H01L21/60
• 代理公司: 徐州市三聯專利事務所 32220
• 代理人: 張帥

1.一種超高精度油墨印刷與高精密引線二次蝕刻成型的方法，其特征在于，包括步驟：

步驟1：在產品設計階段先將引線（1）長度延伸后直接連接至產品上芯片位置內部線路或將芯片兩側的引線（1）長度延伸后互相連接，使產品線路不存在引線先端斷點；

步驟2：對涂布光刻膠（2）的基材（3）進行曝光顯影（4）處理；

步驟3：利用蝕刻液（5）將顯影后產品表面裸露的Cu（6）進行一次蝕刻形成線路，因不存在引線先端斷點，所以藥水蝕刻部分為等間距的線距，蝕刻出來的線路寬度均勻性好；

步驟4：利用剝膜液（7）將蝕刻后線路表面的光刻膠進行剝離，去除光刻膠后引線與連至一起的芯片內部線路共同構成梳子形狀的線路結構；

步驟5：對一次蝕刻后的產品再次涂布光刻膠（2），并對引線與芯片內部線路連接處及油墨印刷區域設計二次曝光區域（8），對產品依照二次曝光區域（8）進行二次曝光；

步驟6：利用顯影液（9）對二次曝光處發生分解反應的光刻膠進行二次顯影，露出下方的Cu（6）層；

步驟7：利用印刷網板對產品進行油墨印刷，光刻膠（2）對油墨（10）的流動進行限制，油墨（10）不會發生線距間的溢流，保證印刷區域邊緣的油墨厚度，且由于引線位置被光刻膠保護，保證油墨飛濺不會落到引線上；

步驟8：利用蝕刻液（5）將油墨印刷后產品表面裸露的Cu（6）進行二次蝕刻形成引線先端，油墨印刷區域因已經印刷覆蓋油墨（10），油墨（10）下的Cu引線不會被蝕刻液（5）侵蝕；

步驟9：利用剝膜液（7）將二次蝕刻后線路表面的光刻膠（2）進行剝離，去除光刻膠（2）后引線（1）先端與芯片內部線路（11）因只受一個方向蝕刻液侵蝕，引線形狀更接近于設計形狀。

2.根據權利要求1所述的一種超高精度油墨印刷與高精密引線二次蝕刻成型的方法，其特征在于：所述的產品包括FPC、COF、PCB在內的所有線路板產品。