[發明專利]一種下部電極的給電部及其制作和組裝工藝

在審

• 申請號: 202211707776.8
• 申請日: 2022-12-28
• 公開（公告）號: CN116168999A
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發明（設計）人: 顧眾;張立祥
• 申請（專利權）人: 蘇州眾芯聯電子材料有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01J9/02;H01J9/18
• 代理公司: 蘇州匯誠匯智專利代理事務所(普通合伙) 32623
• 代理人: 劉小彥

1.一種下部電極的給電部，其特征在于：包括金屬棒本體(1)；所述金屬棒本體(1)長度方向的兩端分別設置有凸起部(2)以及電源連接部(11)，所述金屬棒本體(1)上靠近電源連接部(11)的一端設置有擋臺(4)，位于所述擋臺(4)與電源連接部(11)之間的金屬棒本體(1)部分為突出部(14)，所述金屬棒本體(1)表面設置有絕緣層一(5)以及絕緣層二(12)。

2.根據權利要求1所述的一種下部電極的給電部，其特征在于：所述凸起部(2)的高度為1～3mm，所述凸起部(2)的側邊為朝向凸起部(2)中心點所在的直線傾斜的傾斜面(3)，所述傾斜面(3)的傾斜角(10)小于45度。

3.根據權利要求1所述的一種下部電極的給電部，其特征在于：所述絕緣層一(5)設置在金屬棒本體(1)與金屬基材(7)、電介質層以及電極層(9)相接觸的表面，絕緣層二(12)設置在所述擋臺(4)上遠離凸起部(2)的一側，所述絕緣層一(5)以及絕緣層二(12)的材質均為氧化鋁或氮化鋁。

4.一種下部電極的給電部制作工藝，用于制作權利要求1所述的給電部，其特征在于，包括以下步驟：

S1：第一次表面噴砂，將待加工金屬棒本體(1)的電源連接部(11)固定在旋轉治具上，開啟旋轉治具，對擋臺(4)四周及其以上的金屬棒本體(1)與凸起部(2)表面進行噴砂；

S2：第一次熔射，利用熔射槍(6)對S1中金屬棒本體(1)噴砂后的面進行熔射，形成絕緣層一(5)；

S3：遮蔽，取下金屬棒本體(1)，對已經熔射完成的區域、電源連接部(11)以及突出部(14)上靠近電源連接部(11)的面進行遮蔽，形成遮蔽區域(13)；

S4：第二次表面噴砂，將金屬棒本體(1)倒置固定在旋轉治具上，并對電源連接部(11)、擋臺(4)以及突出部(14)進行噴砂；

S5：第二次熔射，利用熔射槍(6)對S4中金屬棒本體(1)噴砂后的面進行熔射，形成絕緣層二(12)；

S6：表面打磨，去除S3中的遮蔽，并對熔射完成的金屬棒本體(1)表面進行打磨；

S7：孔隙填充，使用封孔劑對打磨后的金屬棒本體(1)浸泡封孔；

S8：干燥，將浸泡完成后的金屬棒本體(1)放入烘箱烘干；

S9：精加工，對烘干的金屬棒本體(1)表面進行精加工，形成下部電極所需的給電部。

5.根據權利要求4所述的一種下部電極的給電部制作工藝，其特征在于：S1與S4中，噴砂壓力為0.3～0.5Mpa，噴砂距離為10～15cm，噴砂角度為30～60°。

6.根據權利要求4所述的一種下部電極的給電部制作工藝，其特征在于：S2與S5中，熔射后的絕緣層一(5)與絕緣層二(12)的厚度為500～1000μm，第一次熔射時，所述熔射槍(6)與待熔射區域呈30～60°，第二次熔射時，所述熔射槍(6)豎直向下，熔射槍(6)功率為20～50kw，金屬棒本體(1)旋轉的速度為200～500rpm，機械臂帶動噴槍移動間距為1～5mm，每次噴涂送粉量10％～30％。

7.根據權利要求4所述的一種下部電極的給電部制作工藝，其特征在于：S7中金屬棒本體(1)浸泡的時間為10～30min，S8中烘箱溫度為50～100℃，干燥時間為6～24h，S9中精加工后的絕緣層一(5)以及絕緣層二(12)厚度為600～800μm。