[發明專利]用于硅片甩干機的上下料機構

在審

• 申請號: 202211700999.1
• 申請日: 2022-12-29
• 公開（公告）號: CN115966497A
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 陳宏;陸進進;吳佳杰
• 申請（專利權）人: 張家港市超聲電氣有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州市港澄專利代理事務所(普通合伙) 32304
• 代理人: 許莉莉

1.一種用于硅片甩干機的上下料機構，包括甩干機主體，所述甩干機主體內設有多個花籃放置槽，其特征在于：所述甩干機主體的外沿上轉動連接有環形板，所述環形板的外壁上設有環形齒，所述環形齒上嚙合連接有第一齒輪，所述第一齒輪與第一電機連接，每個所述花籃放置槽外側的環形板上對應設有第一定位槽，相鄰所述第一定位槽之間的環形板上設有第二定位槽，所述甩干機主體的上方設有升降板，所述升降板的底端固定有多個平移電缸，多個所述平移電缸與多個所述花籃放置槽一一對應設置，所述平移電缸設置在甩干機主體的半徑上，所述平移電缸上配合滑動連接有花籃夾具，所述升降板的頂端固定有升降機構。

2.根據權利要求1所述的一種用于硅片甩干機的上下料機構，其特征在于：所述甩干機主體的外沿及環形板的底面分別設有相互配合的環形滑軌和環形滑塊。

3.根據權利要求1所述的一種用于硅片甩干機的上下料機構，其特征在于：所述升降機構包括一對齒條、一對第二齒輪、固定架和第二電機，一對所述齒條豎直設置在升降板的頂端，一對所述第二齒輪分別與一對所述齒條嚙合連接，一對所述齒輪固定套設在連接軸上，所述連接軸與固定架轉動連接，所述第二電機固定在固定架上且驅動連接軸旋轉，所述升降板的上端面固定有一對豎軌，所述固定架內凸設有一對滑塊，一對所述滑塊與一對所述豎軌上下滑動連接。

4.根據權利要求1所述的一種用于硅片甩干機的上下料機構，其特征在于：所述第二定位槽設置在相鄰第一定位槽的中間。

5.根據權利要求1所述的一種用于硅片甩干機的上下料機構，其特征在于：多個所述第一定位槽均勻設置。

6.根據權利要求1所述的一種用于硅片甩干機的上下料機構，其特征在于：所述環形齒與環形板一體成型。

7.根據權利要求1所述的一種用于硅片甩干機的上下料機構，其特征在于：所述第一定位槽與第二定位槽相同。