[發明專利]一種金屬掩膜版用因瓦合金的制備方法

在審

• 申請號: 202211700709.3
• 申請日: 2022-12-28
• 公開（公告）號: CN115976395A
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發明（設計）人: 于敏;胡博煒;廖朋飛;張樂;安楊;彭劼;蔡凱洪;李振瑞
• 申請（專利權）人: 北冶功能材料（江蘇）有限公司;北京北冶功能材料有限公司
• 主分類號: C22C33/04
• 分類號: C22C33/04;C22C38/02;C22C38/04;C22C38/08;C22C38/00;C22C38/06;C23C14/04;C23C14/24;C21D8/02
• 代理公司: 北京眾達德權知識產權代理有限公司 11570
• 代理人: 韋漢

1.一種金屬掩膜版用因瓦合金的制備方法，其特征在于，所述方法包括:

對原材料進行真空熔煉，并控制所述原材料的化學成分，得到鋼水；

使用所述鋼水對所述鑄錠模進行澆注，后進行振動，得到鑄錠；其中，所述鑄錠模的外部處于保溫狀態；

對所述鑄錠進行重熔精煉，得到鋼錠；

對所述鋼錠進行均勻化處理，后進行鍛造和熱軋，以及軋后分階段修磨處理，得到因瓦合金。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述原材料的化學成分包括：

C、Si、Mn、Ni、S、P、O、Ce、Fe、N、H、Ca、Al；其中，

C的含量為≤0.01重量％，Si的含量為≤0.05重量％，Mn的含量為0.02重量％-0.08重量％，Ni的含量為35.0重量％-37.0重量％，S的含量為≤0.002重量％，P的含量為≤0.002重量％，O的含量為≤0.001重量％，Ce的含量為0.005重量％-0.01重量％；

且滿足[O]+[N]+[H]≤0.0015重量％，[Si]+[Ca]+[Al]≤0.05重量％；其中，

[O]表示O的重量，[N]表示N的重量，[H]表示H的重量，[Si]表示Si的重量，[Ca]表示Ca的重量，[Al]表示Al的重量。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述均勻化處理的工藝參數包括：

加熱溫度為780℃-880℃，保溫時間為18h-24h。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述鍛造的加熱溫度為1150℃

-1220℃。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述熱軋的加熱溫度為1180℃-1250℃。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述對所述帶鋼進行分階段修磨處理，得到因瓦合金之后，還包括：

對所述因瓦合金進行循環冷軋，并控制所述冷軋中每個軋程的變形量，得到冷軋帶鋼；

對所述冷軋帶鋼進行分階段退火處理，得到成品箔材。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，對所述冷軋帶鋼進行分階段退火處理，得到成品箔材，包括：

對所述冷軋帶鋼進行第一退火處理，后進行軋制和拉矯，得到成品箔材；

對所述成品箔材進行第二退火處理，以除去成品箔材的應力；其中，

軋制的變形量為40％-70％，拉矯的伸長率為≤2％。

8.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述每個軋程的變形量為50％-80％。

9.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述第一退火處理的溫度為880℃-950℃。

10.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述第二退火處理的溫度為450℃-600℃。