[發(fā)明專利]一種離子植入機(jī)及晶圓固定板的角度確定方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211699610.6
• 申請(qǐng)日: 2022-12-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN116031125A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 裴敏強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢楚興技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/20
• 分類號(hào): H01J37/20;H01J37/317;H01L21/68;H01L21/265
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 王曉芬

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N離子植入機(jī)及晶圓固定板的角度確定方法，包括晶圓固定板，用于固定晶圓；驅(qū)動(dòng)組件，與晶圓固定板固定連接，通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)組件轉(zhuǎn)動(dòng)以改變晶圓固定板與豎直方向之間的角度；驅(qū)動(dòng)組件具有與晶圓固定板平行的目標(biāo)表面；位于離子植入機(jī)內(nèi)側(cè)壁上的激光發(fā)射器；激光發(fā)射器用于發(fā)射激光；位于目標(biāo)表面上的至少一個(gè)反射鏡；反射鏡用于對(duì)從激光發(fā)射器發(fā)出的激光進(jìn)行反射；位于離子植入機(jī)內(nèi)側(cè)壁上的激光接收器；激光接收器用于接收經(jīng)過(guò)反射鏡反射的激光，激光接收器接收到激光的目標(biāo)位置用于確定晶圓固定板與豎直方向之間的角度。通過(guò)測(cè)量目標(biāo)位置的變化可以確定出晶圓固定板的角度變化，操作方便且準(zhǔn)確度較高，可實(shí)時(shí)檢測(cè)晶圓固定板的角度。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種離子植入機(jī)及晶圓固定板的角度確定方法。

背景技術(shù)

目前，離子植入機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)制造，晶圓固定在晶圓固定板(platen)上，離子植入機(jī)通過(guò)離子源結(jié)構(gòu)產(chǎn)生特定價(jià)態(tài)的等離子體，并形成離子束，離子束經(jīng)過(guò)選擇和加速最終轟擊到晶圓上，從而實(shí)現(xiàn)離子的植入。

隨著芯片設(shè)計(jì)的線寬越來(lái)越小，對(duì)離子植入的精確度也提出更高的要求。在離子植入過(guò)程中，離子植入機(jī)機(jī)臺(tái)根據(jù)程序設(shè)定，將晶圓固定板傾斜到特定角度，以此達(dá)到對(duì)離子束與晶圓之間夾角的準(zhǔn)確控制。離子束的空間角度是通過(guò)機(jī)臺(tái)前端的窄縫實(shí)現(xiàn)物理控制，因此，晶圓固定板傾斜的角度的精確性直接關(guān)系到離子植入的角度的精確性。然而，現(xiàn)有的離子植入機(jī)無(wú)法精確地確定晶圓固定板的傾斜角度，降低了離子植入的準(zhǔn)確性。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本申請(qǐng)的目的在于提供一種離子植入機(jī)及晶圓固定板的角度確定方法，可以提高晶圓固定板角度檢測(cè)的準(zhǔn)確性，以及可以在離子植入過(guò)程中實(shí)時(shí)檢測(cè)。其具體方案如下：

第一方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N離子植入機(jī)，包括：

晶圓固定板，用于固定晶圓；

驅(qū)動(dòng)組件，與所述晶圓固定板固定連接，通過(guò)控制所述驅(qū)動(dòng)組件轉(zhuǎn)動(dòng)以改變所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度；所述驅(qū)動(dòng)組件具有目標(biāo)表面，所述目標(biāo)表面與所述晶圓固定板平行；

位于所述離子植入機(jī)內(nèi)側(cè)壁上的激光發(fā)射器；所述激光發(fā)射器用于發(fā)射激光；

位于所述目標(biāo)表面上的至少一個(gè)反射鏡；所述反射鏡用于對(duì)從所述激光發(fā)射器發(fā)出的激光進(jìn)行反射；

位于所述離子植入機(jī)內(nèi)側(cè)壁上的激光接收器；所述激光接收器用于接收經(jīng)過(guò)所述反射鏡反射的激光，所述激光接收器接收到激光的目標(biāo)位置用于確定所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度。

第二方面，本申請(qǐng)實(shí)施例還提供了一種晶圓固定板的角度確定方法，包括：

獲取所述的離子植入機(jī)的激光接收器接收到激光的目標(biāo)位置；

根據(jù)所述目標(biāo)位置相對(duì)于預(yù)設(shè)位置的變化量，確定所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度；所述預(yù)設(shè)位置為所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度為基準(zhǔn)角度時(shí)，所述激光接收器接收到所述激光的位置。

第三方面，本申請(qǐng)實(shí)施例還提供了一種離子植入系統(tǒng)，包括所述的離子植入機(jī)和控制器，所述控制器用于執(zhí)行所述的晶圓固定板的角度確定方法。