[發明專利]一種離子植入機及晶圓固定板的角度確定方法

在審

• 申請號: 202211699610.6
• 申請日: 2022-12-28
• 公開（公告）號: CN116031125A
• 公開（公告）日: 2023-04-28
• 發明（設計）人: 裴敏強
• 申請（專利權）人: 武漢楚興技術有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/317;H01L21/68;H01L21/265
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王曉芬

1.一種離子植入機，其特征在于，包括：

晶圓固定板，用于固定晶圓；

驅動組件，與所述晶圓固定板固定連接，通過控制所述驅動組件轉動以改變所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度；所述驅動組件具有目標表面，所述目標表面與所述晶圓固定板平行；

位于所述離子植入機內側壁上的激光發射器；所述激光發射器用于發射激光；

位于所述目標表面上的至少一個反射鏡；所述反射鏡用于對從所述激光發射器發出的激光進行反射；

位于所述離子植入機內側壁上的激光接收器；所述激光接收器用于接收經過所述反射鏡反射的激光，所述激光接收器接收到激光的目標位置用于確定所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度。

2.根據權利要求1所述的離子植入機，其特征在于，位于所述目標表面上的反射鏡的數量為M個，所述M大于1，所述離子植入機還包括：

位于所述離子植入機內側壁上的至少一個反射鏡，用于對由位于所述目標表面上的反射鏡反射的激光進行反射，位于所述離子植入機內側壁上的反射鏡的數量為N個，其中M＝N+1。

3.根據權利要求2所述的離子植入機，其特征在于，位于所述離子植入機內側壁上的反射鏡與豎直方向之間的夾角小于或等于15°。

4.根據權利要求1-3任意一項所述的方法，其特征在于，位于所述目標表面上的反射鏡的數量小于或等于5個。

5.一種晶圓固定板的角度確定方法，其特征在于，包括：

獲取如權利要求1-4任意一項所述的離子植入機的激光接收器接收到激光的目標位置；

根據所述目標位置相對于預設位置的變化量，確定所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度；所述預設位置為所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度為基準角度時，所述激光接收器接收到所述激光的位置。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述根據所述目標位置相對于預設位置的變化量，確定所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度，包括：

根據所述目標位置相對于預設位置的變化量以及線性關系，確定所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度；所述線性關系為所述目標位置相對于預設位置的變化量，與所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度相對于所述基準角度的變化量之間的關系。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，在所述目標表面上設置一個反射鏡時，所述線性關系具體為：

Δy＝L×sin?2Δθ

其中，所述Δy為所述目標位置相對于預設位置的變化量，所述L為所述反射鏡與所述離子植入機的內側壁之間的距離，所述Δθ為所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度相對于所述基準角度的變化量。

8.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，在所述目標表面上設置多個反射鏡時，所述離子植入機內側壁上具有至少一個反射鏡，所述根據所述目標位置相對于預設位置的變化量，確定所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度，包括：

獲取所述目標位置相對于預設位置的變化量，與所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度相對于所述基準角度的變化量之間的線性關系；

根據所述目標位置相對于預設位置的變化量以及所述線性關系，確定所述晶圓固定板與豎直方向之間的角度。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，所述目標位置相對于預設位置的變化量與反射鏡總數量具有正相關性；所述反射鏡總數量為位于所述目標表面上的反射鏡數量與位于所述離子植入機內側壁上的反射鏡數量之和。

10.一種離子植入系統，包括如權利要求1-4任意一項所述的離子植入機和控制器，所述控制器用于執行如權利要求5-9任意一項所述的晶圓固定板的角度確定方法。