[發(fā)明專利]一種晶棒切磨系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202211657612.9
• 申請日: 2022-12-22
• 公開（公告）號: CN116352900A
• 公開（公告）日: 2023-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曹建偉;朱亮;盧嘉彬;王金榮;張航;朱榮輝;傅林堅;鐘楊波
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D5/00;B24B27/00;B24B41/00;B24B9/06;B24B7/22
• 代理公司: 杭州鈐韜知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 33329
• 代理人: 趙杰香

本發(fā)明屬于晶體加工技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明公開了一種晶棒切磨系統(tǒng)，用于對晶棒進(jìn)行切割與磨削處理，其包括底座、旋轉(zhuǎn)臺、上下料裝置、切割裝置、磨削裝置；上下料裝置、切割裝置、平面磨削裝置和倒角磨削裝置依次圍繞旋轉(zhuǎn)臺設(shè)置；切割裝置包括支架及兩個基本平行設(shè)置的切割單元，支架基本沿上下方向延伸，切割單元沿上下方向滑動連接至支架；切割單元包括第一切割輪、第二切割輪及環(huán)狀切割線，環(huán)狀切割線的一部分繞設(shè)于第一切割輪，環(huán)狀切割線的另一部分繞設(shè)于第二切割輪。本申請通過在晶棒切磨系統(tǒng)中采用環(huán)線切割方式，具有較好的切割質(zhì)量，同時磨削余量較小，損耗較小，且提高了整個晶棒切磨工藝的效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶棒加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種晶棒切磨系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在晶棒加工過程中，需要將圓柱形的晶棒切割成方棒形的晶棒。在晶棒加工過程中，涉及晶棒切割工藝和磨削工藝。在相關(guān)技術(shù)中，晶棒在切割處理時切割質(zhì)量不佳，且產(chǎn)生較大的切割損耗，同時整個切割處理的效率低下。同時，在磨削處理時同一套磨削設(shè)備需要兼顧平面磨削和倒角磨削兩道工序，磨削設(shè)備需要在不同具體工藝之間進(jìn)行切換，工作效率低下。

發(fā)明內(nèi)容

為解決相關(guān)技術(shù)中存在的上述問題，本申請的目的在于提供一種具有較高工作效率的晶棒切磨系統(tǒng)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請?zhí)峁┝艘环N晶棒切磨系統(tǒng)，用于對晶棒進(jìn)行切割與磨削處理，其包括底座、旋轉(zhuǎn)臺、上下料裝置、切割裝置、及磨削裝置；旋轉(zhuǎn)臺設(shè)于底座上，旋轉(zhuǎn)臺包括旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸基本沿上下方向延伸，旋轉(zhuǎn)臺能夠圍繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)臺的側(cè)面設(shè)有基本沿上下方向延伸的夾具；上下料裝置至少部分連接至底座的一側(cè)；切割裝置至少部分連接至底座上，用于對晶棒進(jìn)行切割處理；平面磨削裝置至少部分連接至底座上，用于對經(jīng)切割處理后的晶棒進(jìn)行平面磨削處理；倒角磨削裝置至少部分連接至底座上，用于對經(jīng)過切割處理后的晶棒進(jìn)行倒角處理；上下料裝置、切割裝置、平面磨削裝置和倒角磨削裝置依次圍繞旋轉(zhuǎn)臺設(shè)置；其中，切割裝置包括支架及兩個基本平行設(shè)置的切割單元，支架基本沿上下方向延伸，切割單元沿上下方向滑動連接至支架；切割單元包括第一切割輪、第二切割輪及環(huán)狀切割線，環(huán)狀切割線的一部分繞設(shè)于第一切割輪，環(huán)狀切割線的另一部分繞設(shè)于第二切割輪。

進(jìn)一步地，磨削裝置為同時具有平面磨削功能和倒角磨削功能的一體式磨削裝置。

進(jìn)一步地，磨削裝置包括相互獨(dú)立設(shè)置的平面磨削裝置和倒角磨削裝置，平面磨削裝置的至少部分連接至底座的一側(cè)，平面磨削裝置用于對經(jīng)切割處理后的晶棒進(jìn)行平面磨削處理，倒角磨削裝置的至少部分連接至底座的另一側(cè)，倒角磨削裝置用于對經(jīng)過切割處理后的晶棒進(jìn)行倒角處理。

進(jìn)一步地，切割裝置還包括兩個邊皮拾取機(jī)構(gòu)，邊皮拾取機(jī)構(gòu)設(shè)于支架的頂部且邊皮拾取機(jī)構(gòu)能夠沿水平方向向支架的兩側(cè)移動。

進(jìn)一步地，邊皮拾取機(jī)構(gòu)包括拾取板及夾持組件，拾取板沿上下方向延伸，夾持組件包括能夠沿水平方向伸縮的夾持部，夾持部包括向靠近拾取板方向伸出的第一狀態(tài)和向遠(yuǎn)離拾取板方向縮回的第二狀態(tài)。

進(jìn)一步地，夾具包括上夾頭、下夾頭及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，上夾頭設(shè)置與夾具的頂部，下夾頭設(shè)于夾具的底部，上夾頭與下夾頭同軸設(shè)置，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接至下夾頭并驅(qū)動下夾頭圍繞下夾頭的軸線旋轉(zhuǎn)。

進(jìn)一步地，晶棒切磨系統(tǒng)還包括邊皮搬運(yùn)裝置，邊皮搬運(yùn)裝置設(shè)于切割裝置的至少一側(cè)，邊皮搬運(yùn)裝置用于搬運(yùn)切割裝置在切割晶棒時產(chǎn)生的邊皮，邊皮搬運(yùn)裝置包括輸送機(jī)構(gòu)、設(shè)置在輸送機(jī)構(gòu)一端的儲料機(jī)構(gòu)及在輸送機(jī)構(gòu)與儲料機(jī)構(gòu)之間移動的邊皮盒，輸送機(jī)構(gòu)基本沿第一方向延伸，儲料機(jī)構(gòu)設(shè)于輸送機(jī)構(gòu)遠(yuǎn)離切割裝置的一端。

進(jìn)一步地，輸送機(jī)構(gòu)與儲料機(jī)構(gòu)之間還設(shè)有接駁機(jī)構(gòu)，接駁機(jī)構(gòu)包括第一位置和第二位置，接駁機(jī)構(gòu)能夠沿第二方向在第一位置與第二位置之間移動。