[發明專利]一種刀具的豁口檢測方法、裝置、設備及可讀存儲介質

在審

• 申請號: 202211641364.9
• 申請日: 2022-12-20
• 公開（公告）號: CN116242842A
• 公開（公告）日: 2023-06-09
• 發明（設計）人: 朱時成;蒯多杰;朱良辰
• 申請（專利權）人: 蘇州鎂伽科技有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01B11/30
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 高雪

本發明提供了一種刀具的豁口檢測方法、裝置、設備及可讀存儲介質，應用于缺陷檢測技術領域。通過使用光電傳感器對旋轉的刀具的刀刃進行實時檢測，其中刀具的刀刃至少遮擋光電傳感器的部分檢測光路，實時獲取光電傳感器輸出的刀具檢測信號。利用檢測光路未被刀具遮擋的光通量與光電傳感器輸出的刀具檢測信號正相關的特性，以刀具旋轉的一周所對應時間為周期，在每個周期內刀具檢測信號波形中查找最大極值點和最小極值點，最終根據最大極值點和最小極值點之間連線的斜率，確定刀具是否存在豁口。由此可見，本發明能夠通過光電傳感器對旋轉工作狀態下的刀具進行實時豁口檢測，可以快速判斷出刀具是否存在豁口，提高了刀具破損豁口檢測結果的準確性。

技術領域

本發明涉及缺陷檢測技術領域，特別是涉及一種刀具的豁口檢測方法、裝置、設備及可讀存儲介質。

背景技術

劃片機是晶圓加工時使用的重要切割設備，在對晶圓進行精密切割時，由于工件表面有雜質或者本身材質不均勻，可能導致在劃片過程中會出現破損豁口，而刀具一旦出現破損豁口將嚴重影響切割質量和切割安全。

所以，為了提高切割品質，有必要在切割時實時進行刀片破損豁口的檢測。但目前存在著刀具破損豁口檢測結果不準確的問題。

發明內容

基于上述問題，本發明提供了一種刀具的豁口檢測方法、裝置、設備及可讀存儲介質，旨在提高刀具破損豁口檢測結果的準確性。

本發明實施例公開了如下技術方案：

第一方面，本發明實施例提供了一種刀具的豁口檢測方法，所述方法包括：

在刀具的旋轉過程中，獲取所述光電傳感器輸出的刀具檢測信號，其中，所述刀具的刀刃至少遮擋所述光電傳感器的部分檢測光路，且所述檢測光路未被所述刀具遮擋的光通量與所述光電傳感器輸出的所述刀具檢測信號正相關；

以所述刀具旋轉的一周所對應時間為周期，在每個周期內刀具檢測信號的波形中查找最大極值點和最小極值點；

根據所述最大極值點和所述最小極值點之間連線的斜率，確定所述刀具是否存在豁口。

可選地，所述根據所述最大極值點和所述最小極值點之間連線的斜率，確定所述刀具是否存在豁口，包括：

若所述每個周期中一個周期內查找到的所述最大極值點與所述最小極值點之間連線的斜率大于預設斜率閾值，則確定所述刀具存在豁口。

可選地，所述光電傳感器包括光發射單元和光接收單元，所述光發射單元朝向所述光接收單元發射檢測光以形成所述檢測光路，并且，所述獲取光電傳感器輸出的刀具檢測信號，包括：

所述光接收單元將其從光發射單元所接收到的光信號轉換為電信號；

將所述電信號轉換為數字信號，得到所述刀具檢測信號。

可選地，所述將所述電信號轉換為數字信號，得到所述刀具檢測信號，包括：

將所述電信號轉化為數字信號；

對所述數字信號進行滑動濾波處理；

對所述滑動濾波處理后的數字信號進行采樣，得到所述刀具檢測信號。

可選地，所述在每個周期內刀具檢測信號的波形中查找最大極值點和最小極值點，包括：

在每個周期內刀具檢測信號的波形中，查找上升沿和/或下降沿；

在所述上升沿和/或所述下降沿查找所述最大極值點和所述最小極值點。

可選地，所述在每個周期內刀具檢測信號的波形中，查找上升沿和/或下降沿，包括：

建立信號滑動窗口，所述信號滑動窗口的時間寬度覆蓋三個連續信號點；