[發明專利]TFT用玻璃基板

在審

• 申請號: 202211639141.9
• 申請日: 2018-08-09
• 公開（公告）號: CN115925234A
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 小野良貴;井川信彰;伊賀元一;櫸田昌也
• 申請（專利權）人: AGC株式會社
• 主分類號: C03B17/06
• 分類號: C03B17/06;C03B18/22;C03B25/08;C03C15/00;C03C3/087;C03C3/093;G02F1/1333;G02F1/1362
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 楊青;安翔

1.一種TFT用玻璃基板，其特征在于，

所述TFT用玻璃基板由具備第1主面和與所述第1主面相反的第2主面的矩形玻璃板構成，

在從所述玻璃板的板厚方向進行觀察的視野中，所述玻璃板具有相互鄰接的第1邊和第2邊，

所述第1邊的長度和所述第2邊的長度為至少1200mm以上，

在所述玻璃板的板厚方向的截面中的、沿著與所述第1邊平行的直線的第1截面中，作為該玻璃板的板厚的最大值與板厚的最小值之差的板厚公差小于6.26μm，

所述第1主面具有第1區域和第2區域，

所述第1區域的氟含量與所述第2區域的氟含量之比大于1，

所述第1區域為沿與所述玻璃板的所述第1邊平行的方向以線狀形成的、噴吹蝕刻氣體后的區域，所述第2區域為未噴吹蝕刻氣體的區域。

2.根據權利要求1所述的TFT用玻璃基板，其中，

所述第1區域的氟含量F1為0.5重量％≤F1≤5重量％，

所述第2區域的氟含量F2為0≤F2≤0.15重量％。

3.根據權利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，

所述第1區域的面積小于所述第2區域的面積，

所述第2區域的面積與所述第1區域的面積之比為3以上且300以下。

4.根據權利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，

沿與所述第1邊平行的方向以線狀形成所述第1區域。

5.根據權利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，

沿與所述第1邊平行的方向以線狀形成多個所述第1區域。

6.根據權利要求4所述的TFT用玻璃基板，其中，

在所述第1區域中，與所述第2邊平行的方向的氟含量的梯度為0.001重量％/mm以上且0.15重量％/mm以下。

7.根據權利要求5所述的TFT用玻璃基板，其中，

在所述第1區域中，與所述第2邊平行的方向的氟含量的梯度為0.001重量％/mm以上且0.15重量％/mm以下。

8.根據權利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，

在所述玻璃板的板厚方向的所有截面中，所述板厚公差小于7.12μm。

9.根據權利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，

在所述第1截面中，所述板厚的一階微分值的絕對值的平均值小于1.72E-02。

10.根據權利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，

在所述第1截面中，所述板厚的一階微分值的絕對值的標準偏差為1.5E-03以下。

11.根據權利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，

在所述第1截面中，所述板厚的二階微分值的絕對值的最大值為6.0E-03以下。

12.根據權利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，

在所述第1截面中，所述板厚的二階微分值的絕對值的標準偏差為1.5E-04以下。

13.根據權利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，

所述玻璃板的玻璃組成為無堿玻璃。

14.根據權利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，

所述玻璃板的所述第1主面和所述第2主面中的至少一個主面上不具有研磨劃痕。

15.根據權利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，

所述玻璃板的厚度為1.0mm以下。