[發明專利]TFT用玻璃基板

在審

• 申請號: 202211639141.9
• 申請日: 2018-08-09
• 公開（公告）號: CN115925234A
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 小野良貴;井川信彰;伊賀元一;櫸田昌也
• 申請（專利權）人: AGC株式會社
• 主分類號: C03B17/06
• 分類號: C03B17/06;C03B18/22;C03B25/08;C03C15/00;C03C3/087;C03C3/093;G02F1/1333;G02F1/1362
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 楊青;安翔

本發明提供一種TFT用玻璃基板，其能夠更高精度地和/或快速地形成元件或結構體。TFT用玻璃基板(1)由具備第1主面(11)和與第1主面(11)相反的第2主面(12)的矩形玻璃板(10)構成，其為大型的玻璃板(10)，在從玻璃板(10)的板厚方向進行觀察的視野中，所述大型的玻璃板(10)具備第1主面(11)、與第1主面(11)相反的第2主面(12)、連接第1主面(11)與第2主面(12)的第1邊(13)、以及與第1邊(13)鄰接的第2邊(14)，并且第1邊(13)和第2邊(14)的長度為至少1200mm以上。作為第1截面(15)中的玻璃板(10)的板厚W的最大值Wmax與板厚W的最小值Wmin值之差的板厚公差小于6.26μm。

本申請是申請日為2018年8月9日、申請號為201810902930.4的中國專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及TFT用玻璃基板。

背景技術

以往，液晶顯示器等平板顯示面板通過使在表面形成有微細的電極或間隔物等元件或者結構體的兩塊玻璃基板相對設置而制作。應用如下所述的薄膜晶體管(TFT，ThinFilm?Transistor)的制造工藝已經成為慣例：對于平板顯示面板用的玻璃基板，在其表面上均勻地涂布各種膜，然后使用光學加工的方法進行曝光、顯影，由此在該玻璃基板上形成元件或結構體。作為用于該工藝的玻璃基板，例如，在專利文獻1中公開了一種玻璃基板，其為300mm×300mm以上的玻璃板，并且基準點處的板厚與以基準點為中心沿X和/或Y方向各自離開20mm的位置處的板厚之差的絕對值為3μm以下。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2009-155136號公報

發明內容

發明所要解決的問題

目前，要求在玻璃基板上更高精度地和/或快速地形成元件或結構體，但是尚未達到充分的水平。

本發明提供一種TFT用玻璃基板，其能夠更高精度地和/或快速地形成元件或結構體。

用于解決問題的手段

本發明的TFT用玻璃基板由具備第1主面和與前述第1主面相反的第2主面的矩形玻璃板構成，在從前述玻璃板的板厚方向進行觀察的視野中，前述玻璃板具有相互鄰接的第1邊和第2邊，前述第1邊和前述第2邊的長度為至少1200mm以上，在前述玻璃板的板厚方向的截面中的、沿著與前述第1邊平行的直線的第1截面中，作為該玻璃板的板厚的最大值與板厚的最小值之差的板厚公差小于6.26μm。

發明效果

根據本發明，可以提供一種TFT用玻璃基板，其具有在例如TFT生產線中的曝光工序中容易對準焦點，適合于TFT制造，并且板厚公差小且大型的玻璃板。

附圖說明

圖1示出本發明的TFT用玻璃基板的第1實施方式的一個例子，圖1的(a)示出正面透視圖，(b)示出(a)的A-A剖視圖，(c)示出(b)的B部放大示意圖。

圖2為示出本發明的TFT用玻璃基板的浮法玻璃制造裝置的一個例子的示意圖。

圖3為示出在本發明的TFT用玻璃基板的制造中產生的凸部的示意圖。

圖4具體地示出圖3的凸部，圖4的(a)是玻璃板的正面透視圖，(b)是示出凸部的蝕刻狀態的說明圖。

圖5為示出本發明的TFT用玻璃基板的浮法玻璃制造裝置內設置的噴射器的示意圖。

圖6是作為在玻璃板的寬度方向上長的噴射器的噴桿(ビーム)的示意圖，圖6的(a)為噴桿的整體結構圖，(b)～(d)各自為示出三個氣體系統中的HF氣體的流動的示意圖。