[發(fā)明專利]具有防護功能的晶棒切割系統(tǒng)及其防護方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202211635611.4
• 申請日: 2022-12-19
• 公開（公告）號: CN116141512A
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發(fā)明（設計）人: 請求不公布姓名
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東利元亨智能裝備股份有限公司;廣東舜儲智能裝備有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 宋家會

本申請涉及光伏技術(shù)領域，尤其是涉及一種具有防護功能的晶棒切割系統(tǒng)及其防護方法，具有防護功能的晶棒切割系統(tǒng)包括支撐框架、機械手機構(gòu)、第二防護構(gòu)件及第一防護構(gòu)件，支撐框架形成有工作空間，第二防護構(gòu)件設置于此空間，且將此空間沿其高度方向分隔為第一工作空間及第二工作空間；機械手機構(gòu)設置于第二工作空間，且與支撐框架滑動連接；第二防護構(gòu)件形成有用于機械手機構(gòu)通過的過口；第二防護構(gòu)件設置于支撐框架且圍繞第一工作空間設置；至少第一工作空間設置有檢測構(gòu)件，用于檢測第一工作空間是否存在工作人員。可見，采用第一防護構(gòu)件、第二防護構(gòu)件以及檢測構(gòu)件，進行全方位的防護和監(jiān)測，降低了晶棒切割生產(chǎn)車間存在的安全隱患。

技術(shù)領域

本申請涉及光伏技術(shù)領域，尤其是涉及一種具有防護功能的晶棒切割系統(tǒng)及其防護方法。

背景技術(shù)

目前，硅晶片的生產(chǎn)流程為先在鑄錠爐中鑄錠形成晶錠，再將晶錠在開方機上開方形成晶棒，然后將晶棒粘接在晶托上，最后將載有晶棒的晶托裝于切片機上進行切片，制成硅晶片，最后經(jīng)過脫膠、清洗、烘干后得到硅晶片成品，目前晶棒切割生產(chǎn)車間存在較多的安全隱患。

發(fā)明內(nèi)容

本申請的目的在于提供一種具有防護功能的晶棒切割系統(tǒng)及其防護方法，在一定程度上解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的晶棒切割生產(chǎn)車間存在較多的安全隱患的技術(shù)問題。

本申請?zhí)峁┝艘环N具有防護功能的晶棒切割系統(tǒng)，包括：支撐框架、機械手機構(gòu)、第二防護構(gòu)件以及第一防護構(gòu)件；其中，所述支撐框架形成有內(nèi)部中空的工作空間，所述第二防護構(gòu)件設置于所述工作空間，且將所述工作空間沿其高度方向分隔為第一工作空間以及第二工作空間；

所述機械手機構(gòu)設置于所述第二工作空間，且與所述支撐框架滑動連接；所述第二防護構(gòu)件設置于所述支撐框架且圍繞所述第一工作空間設置；至少所述第一工作空間設置有檢測構(gòu)件，用于檢測所述第一工作空間是否存在工作人員。

在上述技術(shù)方案中，進一步地，所述檢測構(gòu)件包括第一檢測構(gòu)件和第二檢測構(gòu)件；其中，第一防護構(gòu)件形成有入口，所述第一檢測構(gòu)件設置于所述入口，用于檢測是否有工作人員出入所述第一工作空間；

所述第二檢測構(gòu)件設置于所述第一工作空間內(nèi)，用于檢測所述第一工作空間內(nèi)是否存在工作人員。

在上述任一技術(shù)方案中，進一步地，所述第一檢測構(gòu)件為檢測光柵。

在上述任一技術(shù)方案中，進一步地，所述機械手設置有第三檢測構(gòu)件，用于檢測所述機械手機構(gòu)的下方是否有工作人員。

在上述任一技術(shù)方案中，進一步地，所述具有防護功能的晶棒切割系統(tǒng)還包括順次通信連接的接收單元、數(shù)據(jù)處理單元以及輸出單元，且所述接收單元分別與所述檢測構(gòu)件、所述第三檢測構(gòu)件、所述機械手機構(gòu)通信連接，所述輸出單元與所述機械手機構(gòu)通信連接；

其中，所述接收單元用于接收所述第一檢測構(gòu)件、所述第二檢測構(gòu)件以及所述第三檢測構(gòu)件的檢測信息；

所述數(shù)據(jù)處理單元用于對所述檢測構(gòu)件以及所述第三檢測構(gòu)件的檢測信息進行處理，并將處理后的位置信息發(fā)送給輸出單元；

所述輸出單元用于接收位置信息，并控制所述機械手執(zhí)行相應的操作。

在上述任一技術(shù)方案中，進一步地，所述第三檢測構(gòu)件為避障傳感器；所述第二檢測構(gòu)件為避障傳感器。

在上述任一技術(shù)方案中，進一步地，所述機械手設置有第三檢測構(gòu)件，用于檢測所述機械手機構(gòu)的下方是否有工作人員。

在上述任一技術(shù)方案中，進一步地，所述具有防護功能的晶棒切割系統(tǒng)還包括控制裝置，所述控制裝置分別與所述檢測構(gòu)件、所述第三檢測構(gòu)件、所述機械手機構(gòu)通信連接。

在上述任一技術(shù)方案中，進一步地，所述第三檢測構(gòu)件為避障傳感器。