[發明專利]具有防護功能的晶棒切割系統及其防護方法

在審

• 申請號: 202211635611.4
• 申請日: 2022-12-19
• 公開（公告）號: CN116141512A
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發明（設計）人: 請求不公布姓名
• 申請（專利權）人: 廣東利元亨智能裝備股份有限公司;廣東舜儲智能裝備有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 宋家會

1.一種具有防護功能的晶棒切割系統，其特征在于，包括：支撐框架、機械手機構、第二防護構件以及第一防護構件；其中，所述支撐框架形成有內部中空的工作空間，所述第二防護構件設置于所述工作空間，且將所述工作空間沿其高度方向分隔為第一工作空間以及第二工作空間；

所述機械手機構設置于所述第二工作空間，且與所述支撐框架滑動連接；所述第二防護構件設置于所述支撐框架且圍繞所述第一工作空間設置；至少所述第一工作空間設置有檢測構件，用于檢測所述第一工作空間是否存在工作人員。

2.根據權利要求1所述的具有防護功能的晶棒切割系統，其特征在于，所述檢測構件包括第一檢測構件和第二檢測構件；其中，第一防護構件形成有入口，所述第一檢測構件設置于所述入口，用于檢測是否有工作人員出入所述第一工作空間；

所述第二檢測構件設置于所述第一工作空間內，用于檢測所述第一工作空間內是否存在工作人員。

3.根據權利要求2所述的具有防護功能的晶棒切割系統，其特征在于，所述第一檢測構件為檢測光柵；所述第二檢測構件為避障傳感器。

4.根據權利要求2所述的具有防護功能的晶棒切割系統，其特征在于，所述機械手設置有第三檢測構件，用于檢測所述機械手機構的下方是否有工作人員。

5.根據權利要求4所述的具有防護功能的晶棒切割系統，其特征在于，所述具有防護功能的晶棒切割系統還包括順次通信連接的接收單元、數據處理單元以及輸出單元，且所述接收單元分別與所述檢測構件、所述第三檢測構件、所述機械手機構通信連接，所述輸出單元與所述機械手機構通信連接；

其中，所述接收單元用于接收所述第一檢測構件、所述第二檢測構件以及所述第三檢測構件的檢測信息；

所述數據處理單元用于對所述檢測構件以及所述第三檢測構件的檢測信息進行處理，并將處理后的位置信息發送給輸出單元；

所述輸出單元用于接收位置信息，并控制所述機械手機構執行相應的操作。

6.根據權利要求5所述的具有防護功能的晶棒切割系統，其特征在于，所述第三檢測構件為避障傳感器。

7.根據權利要求4所述的具有防護功能的晶棒切割系統，其特征在于，所述工作空間的沿其長度方向劃分為多個順次設置的獨立工作空間，且任意相鄰的兩個所述獨立工作空間設置有分隔防護構件；

任一所述獨立工作空間的所對應的第一工作空間分別設置有所述檢測構件；

任一所述獨立工作空間所對應的所述第二工作空間均設置有切片機以及緩存裝置。

8.根據權利要求7所述的具有防護功能的晶棒切割系統，其特征在于，所述分隔防護構件為護欄。

9.根據權利要求1所述的具有防護功能的晶棒切割系統，其特征在于，所述第一防護構件為防護網；和/或

所述第二防護構件為防護網。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的具有防護功能的晶棒切割系統，其特征在于，所述支撐框架呈長方形，且所述支撐框架的頂部的兩側均設置有導軌，所述機械手機構與所述導軌滑動連接；和/或

所述第二防護構件形成有過口。

11.一種具有防護功能的晶棒切割系統的防護方法，其特征在于，基于如權利要求7所述的具有防護功能的晶棒切割系統，所述具有防護功能的晶棒切割系統的防護方法包括如下步驟：

每個所述獨立工作空間的第一檢測構件時刻檢測是否有工作人員進入或者離開第一工作空間，當檢測到有工作人員出入某一個所述獨立工作空間的第一工作空間時，則確認所述獨立工作空間為危險空間，則所述機械手機構不會沿著所述支撐框架移動到所述危險空間的第二工作空間內，而是移動到其他獨立工作空間內；

而后利用所述危險空間的第一工作空間內的第二檢測構件對此區域內的工作人員進行檢測，如果確認有工作人員在此區域，此所述機械手機構不會沿著所述支撐框架移動到所述危險空間的第二空間內作業，如果確認無人在此區域，則令所述機械手機構移動到所述危險空間的第二空間內作業；

利用在所述機械手機構上安裝的第三檢測構件時刻檢測所述機械手機構的下方是否有工作人員，若存在工作人員，則令所述機械手機構離開此區域。