[發明專利]一種半導體硅晶圓片打磨清洗劑混合反應釜

在審

• 申請號: 202211613754.5
• 申請日: 2022-12-15
• 公開（公告）號: CN115920801A
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 趙賽
• 申請（專利權）人: 江蘇芯諾半導體科技有限公司
• 主分類號: B01J19/00
• 分類號: B01J19/00;B01J4/00
• 代理公司: 無錫風創知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32461
• 代理人: 胡穎

本發明涉及混合反應釜領域，具體公開了一種半導體硅晶圓片打磨清洗劑混合反應釜，所述半導體硅晶圓片打磨清洗劑混合反應釜包括主支架和安裝板，所述主支架的左側下方焊接與連接座一，且連接座一的頂端一側設置有水泵，所述水泵的一側進液端連接有連通管，有益效果為：通過量筒和固體原料進料口的設置，可以避免操作人員在添加原料的過程中，出現需要大幅度彎腰和抬手的現象，可以降低操作人員加料過程中的勞累度，同時向量筒內添加原料時，量筒表面設置有刻度，而量筒由玻璃制成，因此向量筒內添加液體原料時，可以通過量筒前端的刻度，判斷量筒內添加的液體原料量，使得在添加原料過程中，更加的便捷。

技術領域

本發明涉及混合反應釜領域，具體為一種半導體硅晶圓片打磨清洗劑混合反應釜。

背景技術

晶圓是指制作半導體硅電路所用的硅晶圓片，其原始材料是硅，高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅，硅晶圓片在進行打磨過程中，需要利用清洗劑進行清洗，而清洗劑在制作過程中，因其需要使用到多種原料，就需要利用反應釜對各種不同的原料進行混合，因此，反應釜在清洗劑制作的過程中，較為重要。

如公開號為CN216499323U的專利文件公開了一種清洗劑生產混合反應釜的專利，包括釜體，所述釜體頂端設有釜蓋，所述釜蓋頂端連接固定盒，所述固定盒中固定設有變頻調速電機，所述變頻調速電機連接定時器一，所述變頻調速電機底端連接攪拌軸，所述攪拌軸底端貫穿固定盒與釜蓋延伸至釜體中，所述攪拌軸中部固定設有螺旋上升的攪拌葉片，所述釜蓋頂端設有加料口，所述加料口頂端鉸接有觀察窗，所述釜體內部設有加熱腔，所述釜體內壁固定設有溫度傳感器，所述釜體底端連接出料管，所述出料管上設有封閉機構。該發明與現有的技術相比的優點在于：該發明可以自動調節攪拌速度與加熱的時間和溫度，還能自動排氣和出料，能夠有效節約清洗劑制造的時間和人力，提高生產效率。

上述裝置在使用過程中，是通過加料口將表面活性劑、各種助劑和輔助劑等清洗劑生產原料依次緩慢加入釜體中，加料口設置在釜體的頂端，且釜體具有一定的高度，而裝置并未設置相應的上料結構，就導致原料上料過程中，操作人員需要不斷大幅度的重復彎腰和抬手的動作來進行上料，在上料過程中，容易產生疲勞，為此，我們提出一種半導體硅晶圓片打磨清洗劑混合反應釜。

發明內容

本發明的目的在于提供一種半導體硅晶圓片打磨清洗劑混合反應釜，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種半導體硅晶圓片打磨清洗劑混合反應釜，所述半導體硅晶圓片打磨清洗劑混合反應釜包括主支架和安裝板，所述主支架的左側下方焊接與連接座一，且連接座一的頂端一側設置有水泵，所述水泵的一側進液端連接有連通管，且連通管的一側頂端連接有量筒，所述水泵的出液端連接有輸送管，所述安裝板固定于輸送管的頂端，所述主支架的內側固定有混合反應釜體，且混合反應釜體的一側下方一體化連接有固體原料進料口。

優選的，所述量筒的頂端兩側固定有立桿，用于對量筒進行穩定安裝。

優選的，所述混合反應釜體的底端中部固定安裝有電磁閥，用于自動控制混合反應釜體底部出液口的開閉狀態。

優選的，所述主支架的右側下方焊接有連接座二，且連接座二的頂端設置有置物組件。

優選的，所述置物組件包括電動伸縮桿和置物盤，且電動伸縮桿的頂端固定有置物盤。

優選的，所述混合反應釜體的頂端通過螺栓緊固有頂蓋，且頂蓋的上方右側焊接有進水管。

優選的，所述頂蓋的上方左側焊接有進料管，用于對輸送管內部輸送的原料進行傳輸。

優選的，所述輸送管的內部為中空狀，且輸送管與連通管相互連通。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：