[發明專利]一種用于硅片表面金屬離子檢測樣品的制備裝置及方法在審
| 申請號： | 202211611460.9 | 申請日： | 2022-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN115876550A | 公開（公告）日： | 2023-03-31 |
| 發明（設計）人： | 張夢珍 | 申請（專利權）人： | 西安奕斯偉材料科技有限公司;西安奕斯偉硅片技術有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/28 | 分類號： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 西安維英格知識產權代理事務所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 沈寒酉;李斌棟 |
| 地址： | 710065 陜西省西安市*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 硅片 表面 金屬 離子 檢測 樣品 制備 裝置 方法 | ||
1.一種用于硅片表面金屬離子檢測樣品的制備裝置，其特征在于，所述制備裝置包括：
透明狀的密封箱體；
設置于所述密封箱體內的多個液體容納單元，包括待測液體罐以及定容液體罐；
設置于所述密封箱體內的承載臺，所述承載臺用于承托容器；
設置于所述密封箱體內的定量溶液提取單元，所述定量溶液提取單元用于分別從多個所述液體容納單元中提取設定體積的液體至所述容器中；
設置于所述密封箱體內且位于所述承載臺下方的加熱單元，所述加熱單元用于對盛裝有待測液體的容器進行加熱以蒸發除去所述容器中的液體。
2.根據權利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述定容液體罐中存儲的定容液體為1％～10％質量濃度的硝酸溶液。
3.根據權利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述多個液體容納單元中還包括洗滌液體罐，所述洗滌液體罐包括第一洗滌液體罐和第二洗滌液體罐；其中，所述第一洗滌液體罐用于容納HF溶液，所述第二洗滌液體罐用于容納超純水。
4.根據權利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述定量溶液提取單元包括：
具有三個自由度的機械手臂；
設置于所述機械手臂前端部的吸嘴，所述吸嘴用于分別從多個所述液體容納單元中吸取設定體積的液體至所述容器中。
5.根據權利要求4所述的制備裝置，其特征在于，所述制備裝置中可以設置有多個所述承載臺，以承載多個所述容器；其中，每個所述承載臺的下方均設置有所述加熱單元。
6.根據權利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述定量溶液提取單元包括：
與每個所述液體容納單元相連通的多根液體管路，所述多根液體管路用于分別從多個所述液體容納單元中吸取設定體積的液體至所述容器中；
設置于每個所述液體管路上的開關單元，所述開關單元用于控制對應的所述液體管路的連通或關閉。
7.根據權利要求1至6任一項所述的制備裝置，其特征在于，所述加熱單元連接有功率控制器，所述功率控制器用于控制所述加熱單元以設定的功率對所述容器中的液體進行加熱。
8.根據權利要求7所述的制備裝置，其特征在于，所述制備裝置還包括設置于所述密封箱體頂端的通風管路。
9.一種用于硅片表面金屬離子檢測樣品的制備方法，其特征在于，所述制備方法能夠應用于權利要求1至8任一項所述的制備裝置，所述制備方法包括：
通過定量溶液提取單元從待測液體罐中吸取設定體積的含有金屬雜質的清洗液至容器中；
利用加熱單元對所述容器中的液體進行加熱至蒸發除去；
利用所述定量溶液提取單元從所述定容液體罐中吸取設定量的定容液體至所述容器中進行定容以得到用于硅片表面金屬離子含量檢測的樣品。
10.根據權利要求9所述的制備方法，其特征在于，所述制備方法還包括：
在得到用于所述硅片表面金屬離子含量檢測的樣品后，利用所述定量溶液提取單元從第一洗滌液體罐和第二洗滌液體罐中依次吸取HF溶液和超純水以對所述容器進行清洗。
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