[發(fā)明專利]一種用于半導(dǎo)體基片反應(yīng)室的微弧氧化處理裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211603385.1
• 申請(qǐng)日: 2022-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN115852455A
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王乃奎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫納斯凱半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): C25D11/32
• 分類號(hào): C25D11/32
• 代理公司: 無錫蘇元專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32471
• 代理人: 吳忠義

本發(fā)明公開了一種用于半導(dǎo)體基片反應(yīng)室的微弧氧化處理裝置，涉及到氧化處理設(shè)備領(lǐng)域，包括進(jìn)料倉，進(jìn)料倉的頂端開設(shè)有方口，進(jìn)料倉的內(nèi)部固定連接有固定斜板，進(jìn)料倉的內(nèi)部設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)組件，轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括弧形板，弧形板設(shè)置有多個(gè)，弧形板轉(zhuǎn)動(dòng)連接在進(jìn)料倉的內(nèi)部。本發(fā)明設(shè)置了轉(zhuǎn)動(dòng)組件，利用轉(zhuǎn)動(dòng)組件的設(shè)計(jì)，弧形板與第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸，在第一電機(jī)的作用下，帶動(dòng)第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，在弧形板的帶動(dòng)下，有助于半導(dǎo)體基片單個(gè)有序的進(jìn)行移動(dòng)，便于半導(dǎo)體基片通過進(jìn)料倉移動(dòng)至移動(dòng)板的頂部，當(dāng)移動(dòng)板的頂部盛放夠半導(dǎo)體基片后，第一電機(jī)停止轉(zhuǎn)動(dòng)，而限位弧片限制住齒輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，避免半導(dǎo)體基片在進(jìn)行運(yùn)輸時(shí)，發(fā)生碰撞的情況。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及氧化處理設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種用于半導(dǎo)體基片反應(yīng)室的微弧氧化處理裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體基片工件進(jìn)行加工作業(yè)時(shí)，為了滿足對(duì)半導(dǎo)體基片工件表面性能進(jìn)行調(diào)整的需要，尤其是半導(dǎo)體基片工件外表面的物理化學(xué)性能，以滿足不同使用場合和要求的需要，往往需要對(duì)半導(dǎo)體基片工件外表面通過微弧氧化方式進(jìn)行表面處理，但在實(shí)際對(duì)工件加工中，往往需要對(duì)工件表面局部位置進(jìn)行微弧氧化處理，而當(dāng)前的半導(dǎo)體基片工件采用鋼管進(jìn)行保護(hù)運(yùn)輸，在對(duì)半導(dǎo)體基片工件進(jìn)行微弧氧化處理時(shí)，所使用的設(shè)備往往均為傳統(tǒng)的氧化處理設(shè)備，雖然一定程度可滿足使用的需要，但在進(jìn)行微弧氧化處理時(shí)，設(shè)備往往缺乏相應(yīng)的針對(duì)性。

現(xiàn)有的一些微弧氧化處理裝置在進(jìn)料時(shí)，由于設(shè)置在半導(dǎo)體工件外部的鋼管易受力進(jìn)行滾動(dòng)，使兩兩鋼管之間或者多個(gè)鋼管之間發(fā)生碰撞，造成運(yùn)輸?shù)倪^程中十分困難，而運(yùn)輸后一般是直接將鋼管放置于藥劑槽的內(nèi)部進(jìn)行靜置處理，對(duì)半導(dǎo)體工件的外表面進(jìn)行處理，在放料以及取料時(shí)較為麻煩，且直接放置于藥劑槽的內(nèi)部，不能夠保證鋼管的有序擺放，可能發(fā)生鋼管之間互相抵觸影響處理的情況，且在后續(xù)卸料時(shí)，也不能夠很好的對(duì)鋼管進(jìn)行有序卸料，操作較為繁瑣。

因此，發(fā)明一種用于半導(dǎo)體基片反應(yīng)室的微弧氧化處理裝置來解決上述問題很有必要。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于半導(dǎo)體基片反應(yīng)室的微弧氧化處理裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種用于半導(dǎo)體基片反應(yīng)室的微弧氧化處理裝置，包括進(jìn)料倉，所述進(jìn)料倉的頂端開設(shè)有方口，所述進(jìn)料倉的內(nèi)部固定連接有固定斜板；

所述進(jìn)料倉的內(nèi)部設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)組件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括弧形板，所述弧形板設(shè)置有多個(gè)，所述弧形板轉(zhuǎn)動(dòng)連接在進(jìn)料倉的內(nèi)部；

所述進(jìn)料倉的外部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件；

所述進(jìn)料倉的底端固定連接有支撐板，所述支撐板的頂端設(shè)置有移動(dòng)組件；

所述進(jìn)料倉的一側(cè)設(shè)置有懸掛組件。

優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)組件包括第一固定座，所述第一固定座固定連接在進(jìn)料倉的外部，所述第一固定座的頂端固定連接有第一電機(jī)，所述第一電機(jī)靠近進(jìn)料倉的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸的外部固定連接有齒輪，所述進(jìn)料倉的外部固定連接有固定架，所述固定架的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)柱，所述轉(zhuǎn)動(dòng)柱靠近進(jìn)料倉的一側(cè)固定連接有限位弧塊。

優(yōu)選的，所述移動(dòng)組件包括第二電機(jī)，所述第二電機(jī)固定連接在支撐板的頂端，所述第二電機(jī)靠近進(jìn)料倉的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸的外部螺紋連接有移動(dòng)環(huán)，所述移動(dòng)環(huán)的外部固定連接有連接塊，所述連接塊的頂端固定連接有移動(dòng)板，所述支撐板的頂端固定連接有兩個(gè)固定導(dǎo)軌，所述第二電機(jī)位于兩個(gè)固定導(dǎo)軌之間，所述移動(dòng)板滑動(dòng)連接在固定導(dǎo)軌的頂端，所述固定導(dǎo)軌的內(nèi)部滑動(dòng)連接有緩沖板，所述緩沖板遠(yuǎn)離進(jìn)料倉的一側(cè)固定連接有移動(dòng)柱，所述移動(dòng)柱遠(yuǎn)離緩沖板的一側(cè)滑動(dòng)連接有固定柱。