[發(fā)明專利]一種用于半導體基片反應室的微弧氧化處理裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202211603385.1 | 申請日： | 2022-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN115852455A | 公開（公告）日： | 2023-03-28 |
| 發(fā)明（設計）人： | 王乃奎 | 申請（專利權(quán)）人： | 無錫納斯凱半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | C25D11/32 | 分類號： | C25D11/32 |
| 代理公司： | 無錫蘇元專利代理事務所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 吳忠義 |
| 地址： | 214000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 半導體 反應 氧化 處理 裝置 | ||
1.一種用于半導體基片反應室的微弧氧化處理裝置，包括進料倉(1)，其特征在于：所述進料倉(1)的頂端開設有方口，所述進料倉(1)的內(nèi)部固定連接有固定斜板(2)；
所述進料倉(1)的內(nèi)部設置有轉(zhuǎn)動組件，所述轉(zhuǎn)動組件包括弧形板(3)，所述弧形板(3)設置有多個，所述弧形板(3)轉(zhuǎn)動連接在進料倉(1)的內(nèi)部；
所述進料倉(1)的外部設置有驅(qū)動組件；
所述進料倉(1)的底端固定連接有支撐板(16)，所述支撐板(16)的頂端設置有移動組件；
所述進料倉(1)的一側(cè)設置有懸掛組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導體基片反應室的微弧氧化處理裝置，其特征在于：所述驅(qū)動組件包括第一固定座(4)，所述第一固定座(4)固定連接在進料倉(1)的外部，所述第一固定座(4)的頂端固定連接有第一電機(5)，所述第一電機(5)靠近進料倉(1)的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有第一轉(zhuǎn)動軸(6)，所述第一轉(zhuǎn)動軸(6)的外部固定連接有齒輪(7)，所述進料倉(1)的外部固定連接有固定架(8)，所述固定架(8)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動柱(9)，所述轉(zhuǎn)動柱(9)靠近進料倉(1)的一側(cè)固定連接有限位弧塊(10)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導體基片反應室的微弧氧化處理裝置，其特征在于：所述移動組件包括第二電機(15)，所述第二電機(15)固定連接在支撐板(16)的頂端，所述第二電機(15)靠近進料倉(1)的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有第二轉(zhuǎn)動軸(14)，所述第二轉(zhuǎn)動軸(14)的外部螺紋連接有移動環(huán)(13)，所述移動環(huán)(13)的外部固定連接有連接塊(12)，所述連接塊(12)的頂端固定連接有移動板(11)，所述支撐板(16)的頂端固定連接有兩個固定導軌(17)，所述第二電機(15)位于兩個固定導軌(17)之間，所述移動板(11)滑動連接在固定導軌(17)的頂端，所述固定導軌(17)的內(nèi)部滑動連接有緩沖板(20)，所述緩沖板(20)遠離進料倉(1)的一側(cè)固定連接有移動柱(19)，所述移動柱(19)遠離緩沖板(20)的一側(cè)滑動連接有固定柱(18)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導體基片反應室的微弧氧化處理裝置，其特征在于：所述懸掛組件包括懸掛框架(21)，所述懸掛框架(21)固定連接在進料倉(1)的一側(cè)，所述懸掛框架(21)遠離進料倉(1)的一端固定連接有第三電機(2101)，所述第三電機(2101)靠近懸掛框架(21)的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有第三轉(zhuǎn)動軸(2102)，所述第三轉(zhuǎn)動軸(2102)的外部滑動連接有移動桿(22)，所述移動桿(22)的頂端固定連接有圓柱桿(23)，所述圓柱桿(23)的頂端固定連接有固定桿(24)，所述固定桿(24)的底端固定連接有兩個液壓柱(25)，所述液壓柱(25)的底部滑動連接有伸縮桿(26)，所述伸縮桿(26)的外部固定連接有限位板(2601)，所述伸縮桿(26)的底端固定連接有第一連桿(27)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于半導體基片反應室的微弧氧化處理裝置，其特征在于：所述第一連桿(27)的一側(cè)設置有夾緊組件，所述夾緊組件包括第二固定座(28)，所述第二固定座(28)固定連接在第一連桿(27)的一側(cè)，所述第二固定座(28)的頂端固定連接有第四電機(29)，所述第四電機(29)靠近第一連桿(27)的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有第四轉(zhuǎn)動軸(2901)，所述第四轉(zhuǎn)動軸(2901)遠離第四電機(29)的一側(cè)固定連接有雙向螺紋桿(34)，所述雙向螺紋桿(34)轉(zhuǎn)動連接在第一連桿(27)的內(nèi)部，所述雙向螺紋桿(34)的外部螺紋連接有兩個導向環(huán)(35)，所述第一連桿(27)的底端固定連接有兩個第二連桿(30)，所述導向環(huán)(35)的底端固定連接有第三連桿(33)，所述第三連桿(33)滑動連接在第二連桿(30)的內(nèi)部，所述第二連桿(30)的頂端開設有多個移動槽(31)，所述第三連桿(33)的頂端固定連接有多個導向塊(32)，所述導向塊(32)滑動連接在移動槽(31)的內(nèi)部，所述第三連桿(33)的底端固定連接有多個夾緊塊(3201)，兩個所述夾緊塊(3201)相對的一側(cè)均固定連接有圓塊。
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