[發(fā)明專利]光刻膠剝離液

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211601957.2
• 申請(qǐng)日: 2022-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN115981119A
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李恩慶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: TCL華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/42
• 分類號(hào): G03F7/42
• 代理公司: 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 楊瑞

1.一種光刻膠剝離液，其特征在于，包括：

膨脹劑、滲透劑、溶解劑、pH抑制劑以及腐蝕抑制劑；

其中，所述膨脹劑的質(zhì)量百分比含量為30％-60％，所述溶解劑的質(zhì)量百分比含量為40％-60％，所述滲透劑的質(zhì)量百分比含量為0.5％-8％，所述pH抑制劑的質(zhì)量百分比含量為0.01％-2％，所述腐蝕抑制劑的質(zhì)量百分比含量為0.001％-2％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述膨脹劑為非質(zhì)子極性溶劑。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述非質(zhì)子極性溶劑包括：吡咯烷酮化合物、咪唑啉酮化合物，內(nèi)酯化合物、硫氧化合物，含磷化合物，碳酸鹽化合物、酰胺化合物中的至少一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述吡咯烷酮化合物包括：N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮中的至少一種；

所述咪唑啉酮化合物包括：1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、1,3-二甲基咪唑啉酮中的至少一種；

所述內(nèi)酯化合物包括：γ-丁內(nèi)酯；

所述硫氧化合物包括：二甲基亞砜、四氫噻吩-1,1-二氧化物中的至少一種；

所述含磷化合物包括：磷酸三乙酯、磷酸三丁酯中的至少一種，所述碳酸鹽化合物包括碳酸二甲酯、碳酸亞乙酯中的至少一種；

所述酰胺化合物包括：甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙?；阴０贰-乙酰乙醇胺、N,N-二甲基乙酰胺、3-甲氧基-N、N-二甲基丙酰胺、3-(2-乙基己氧基)丙胺、N,N-二甲基丙酰胺、3-丁氧基-N,N-二甲基丙酰胺中的至少一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述滲透劑包括胺類化合物，其中，所述胺類化合物包括：?jiǎn)我掖及?、二乙醇胺、三乙醇胺、單丙醇胺?-氨基乙醇、2-(乙基氨基)乙醇、2-(甲胺基)乙醇、N-甲基二乙醇胺、N，N-二甲基乙醇胺、N-二乙基氨基乙醇、2-(2-氨基乙基氨基)-1-乙醇、1-氨基-2-丙醇、2-氨基-1-丙醇、3-氨基-1-丙醇、4-氨基-1-丁醇、二丁胺、甲乙基二醇胺、羥乙基二乙胺、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、二甲基羥胺、二乙基羥胺、二溴羥胺、1-(2-羥乙基)哌嗪、1-(3-羥乙基)甲基哌嗪、N-(2-羥甲基)嗎啉、N-(3-羥丙基)嗎啉，庚胺、己胺、戊胺、辛胺中的一種或幾種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述溶解劑包括水溶性有機(jī)溶劑，其中，所述水溶性有機(jī)溶劑包括醚類化合物。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述醚類化合物包括：乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙甘醇單異丙醚、乙二醇單丁醚、二乙二醇丁醚、二甘醇單甲醚，二甘醇一乙醚、二乙二醇單異丙基醚、二乙基二醇單丁醚、三甘醇單甲基醚、三乙二醇單乙基醚、三乙基二醇單異丙醚、三乙二醇單丁醚、聚乙二醇單甲醚、聚丙二醇單乙醚、聚乙二醇單異丙醚、聚乙基二醇單丁醚、丙二醇單甲乙醚、二丙二醇單甲基醚、三丙二醇單甲醚、丙丙二醇單甲酯乙酸酯中的一種或幾種。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述pH抑制劑包括含有一個(gè)以上羧基且不含氮元素的有機(jī)酸。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述光刻膠剝離液的pH值為8-10，且所述pH抑制劑包括乙酸、蘋果酸、甲酸、丁酸、檸檬酸、乙醇酸、蓚酸、丙二酸、戊酸、丙酸、果酸、葡萄糖酸、丁二酸中的一種或幾種。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述腐蝕抑制劑包括唑類化合物，其中，所述唑類化合物包括苯并三唑、甲苯三唑、甲基甲苯三唑，2,2'-[[[苯并三唑]甲基]亞氨基]二乙醇，2,2'-[[[甲基-1H-苯并三嗪-1-H]甲基]亞氨基]二甲醇，2,2”-[[[[甲基-1-H-苯三唑-1-甲基]亞氨基]亞氨基]]二乙醇2,2'-[[[甲基-1H-苯并三唑-1-1]甲基]亞氨基]雙甲胺，2,2'-[[胺-H-苯并三嗪-1-甲基]亞氨基]二乙醇中的一種或幾種。