[發明專利]一種半導體晶圓手動貼膜裝置

在審

• 申請號: 202211601718.7
• 申請日: 2022-12-13
• 公開（公告）號: CN115783386A
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發明（設計）人: 鄧建國;劉登華;徐俊;吳疆;廖文浩;蔣金俊;許小軍;李文
• 申請（專利權）人: 重慶中科渝芯電子有限公司
• 主分類號: B65B33/02
• 分類號: B65B33/02;H01L21/67
• 代理公司: 重慶縉云專利代理事務所(特殊普通合伙) 50237
• 代理人: 王翔

1.一種半導體晶圓手動貼膜裝置，其特征在于：包括背膜回卷傳動大皮帶輪(1)、所述背膜回卷驅動小皮帶輪(2)、物料旋轉阻尼大皮帶輪(4)、皮帶(5)、物料旋轉阻尼小皮帶輪(6)、物料夾持轉軸(7)、至少兩塊物料架側板(8)、前導壓膜軸(9)、旋轉阻尼器(10)、物料架側板連桿(11)、前導膠輥(12)、分膜驅動膠輥(13)、背膜膠輥(14)、后導膠輥(15)、晶圓吸附平臺(16)、移動壓膜支撐架(17)、后壓膜膠輥(18)、吸盤平臺底座(19)、真空控制管路(20)、前壓膜膠輥(23)、背膜夾持轉軸(24)。

所述物料架側板(8)和晶圓吸附平臺(16)固定在吸盤平臺底座(19)上；

所述晶圓吸附平臺(16)用于放置待貼膜的晶圓(26)；

所述物料架側板連桿(11)的兩端分別連接不同物料架側板(8)，從而組成物料支撐架；

所述前導壓膜軸(9)、前導膠輥(12)、分膜驅動膠輥(13)、背膜膠輥(14)、后導膠輥(15)的兩端分別連接不同物料架側板(8)；

所述后壓膜膠輥(18)、前壓膜膠輥(23)安裝在移動壓膜支撐架(17)上；

所述移動壓膜支撐架(17)與晶圓吸附平臺(16)活動連接，在晶圓吸附平臺(16)兩側的滑槽內可移動；

所述旋轉阻尼器(10)安裝在物料架側板(8)上，并通過物料旋轉阻尼小皮帶輪(6)、皮帶(5)、物料旋轉阻尼大皮帶輪(4)與物料夾持轉軸(7)活動連接；

所述物料夾持轉軸(7)用于放置待使用的帶膠粘膜(25)；

所述背膜回卷驅動小皮帶輪(2)安裝在分膜驅動膠輥(13)軸端，通過皮帶(5)與背膜回卷傳動大皮帶輪(1)活動連接；

所述背膜回卷傳動大皮帶輪(1)安裝在背膜夾持轉軸(24)上；

所述真空控制管路(20)與晶圓吸附平臺(16)底部的吸附接口連接，并且一端連接在晶圓吸附平臺(16)底部的真空接口。

2.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓手動貼膜裝置，其特征在于：還包括固定螺釘(22)；

所述物料架側板(8)和晶圓吸附平臺(16)通過固定螺釘(22)固定在吸盤平臺底座(19)上；

所述物料架側板連桿(11)的兩端通過固定螺釘(22)與物料架側板(8)連接；

所述旋轉阻尼器(10)采用固定螺釘(22)安裝在物料架側板(8)上。

3.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓手動貼膜裝置，其特征在于：還包括軸承(3)；

所述前導壓膜軸(9)、前導膠輥(12)、分膜驅動膠輥(13)、背膜膠輥(14)、后導膠輥(15)的兩端通過軸承(3)分別連接不同物料架側板(8)；

所述后壓膜膠輥(18)、前壓膜膠輥(23)通過軸承(3)安裝在移動壓膜支撐架(17)上；

所述移動壓膜支撐架(17)通過卡在晶圓吸附平臺(16)兩側滑槽內的軸承(3)與晶圓吸附平臺(16)活動連接。

4.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓手動貼膜裝置，其特征在于：所述吸盤平臺底座(19)的底部還設有若干用于支撐的地腳(21)。

5.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓手動貼膜裝置，其特征在于：所述前導壓膜軸(9)、前導膠輥(12)、分膜驅動膠輥(13)、背膜膠輥(14)、后導膠輥(15)組成分膜系統；

所述分膜系統可根據拉出膜的方向旋轉，從而拉出帶膠粘膜(25)。

6.根據權利要求5所述的一種半導體晶圓手動貼膜裝置，其特征在于：所述旋轉阻尼器(10)、物料旋轉阻尼大皮帶輪(4)、皮帶(5)、物料旋轉阻尼小皮帶輪(6)、物料夾持轉軸(7)組成旋轉阻尼系統，為分膜系統的旋轉提供阻尼力，防止出膜過贏。

7.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓手動貼膜裝置，其特征在于：所述分膜驅動膠輥(13)、背膜膠輥(14)、背膜回卷驅動小皮帶輪(2)、背膜回卷傳動大皮帶輪(1)、皮帶(5)、背膜夾持轉軸(24)組成背膜回卷系統；所述背膜回卷系統用于回卷帶膠粘膜(25)的背膜。