[發明專利]一種定位組件及硅片拋光機

在審

• 申請號: 202211596686.6
• 申請日: 2022-12-12
• 公開（公告）號: CN116276585A
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 伍志軍
• 申請（專利權）人: 蘇州賽森電子科技有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/06;B24B47/12;B24B55/00
• 代理公司: 蘇州潤桐嘉業知識產權代理有限公司 32261
• 代理人: 黃家旺

本發明涉及硅片拋光機相關技術領域，具體為一種定位組件，定位組件包括主支架、載物臺、次級支架、滑座、伸縮電缸、移動懸梁、安裝座、轉軸、定位件，主支架設置在設置在設備本體上，載物臺固定安裝在主支架上，其載物臺上開設有開口槽；通過設置由主支架、次級支架、滑座、伸縮電缸、移動懸梁、安裝座、轉軸和定位件組合構成的定位組件，從而通過滑座、伸縮電缸、移動懸梁、安裝座、轉軸和定位件的運動以對待加工硅片的位置進行調整，從而提高對待加工硅片位置調節的便利性，并且由吸附腔和密封墊圈組合構成的定位件可以有效優化定位件的整體結構，其結構原理更簡單，并且負壓吸附的定位方式可以更好的對待加工硅片進行保護。

技術領域

本發明涉及硅片拋光機相關技術領域，具體為一種定位組件及硅片拋光機。

背景技術

硅片是制作晶體管和集成電路的原料。一般是單晶硅的切片，硅片是制作集成電路的重要材料，通過對硅片進行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導體器件；用硅片制成的芯片有著驚人的運算能力，而硅片在切片之后需要對其表面進行拋光，而傳統硅片拋光機對硅片進行拋光加工時采用的定位結構均為電磁式夾持裝置，這種方式的夾持不僅制造成本高，而且結構復雜，且維修成本極高，并且該種夾持方式其夾緊力較大，易對硅片的表面造成損傷，從而增加了報廢率，增加了生產成本，從而不利于企業進行低成本管理，為此，本發明提出一種定位組件及硅片拋光機用以解決上述問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種定位組件及硅片拋光機，以解決上述背景技術中提出的硅片拋光機定位結構制造維修成本高及夾持效果較差的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種定位組件，所述定位組件包括：

主支架，所述主支架設置在設置在設備本體上；

載物臺，所述載物臺固定安裝在主支架上，其載物臺上開設有開口槽，且載物臺的中心位置開設有放置槽，且待加工硅片放置在放置槽之中；

次級支架，所述次級支架上轉動安裝有傳動絲杠，且次級支架上固定安裝有導桿，且傳動絲杠通過次級支架上的一級伺服電機進行驅動；

滑座，所述滑座上開設有導桿孔和絲杠安裝孔，且滑座滑動安裝在導桿上，且傳動絲杠的設置位置與絲杠安裝孔的位置相對應；

伸縮電缸，所述伸縮電缸固定安裝在滑座上；

移動懸梁，所述移動懸梁與伸縮電缸的伸縮桿固定連接；

安裝座，所述安裝座與移動懸梁的端部固定連接，且安裝座中心位置固定安裝有滾珠軸承；

轉軸，所述轉軸的軸體固定安裝在滾珠軸承的軸承內圈之中；

定位件，所述定位件與轉軸端部相連接，且定位件由吸附腔和密封墊圈組合構成。

優選的，所述轉軸為中空的管體結構，且吸附腔與轉軸之間一體成型，且轉軸的腔體與吸附腔的內腔相連通，所述密封墊圈為橡膠墊圈，且密封墊圈固定膠接在吸附腔的端口位置處。

優選的，所述轉軸內腔的端口位置固定安裝有密封軸承，所述密封軸承的軸承內圈之中固定安裝有一級氣管，所述一級氣管為硬質鋼管，且一級氣管通過氣管定位支架固定在移動懸梁上，且一級氣管的端部通過輸氣軟管與抽氣設備的進氣端口相連接。

優選的，所述轉軸上固定安裝有從動齒輪，所述從動齒輪與二級私服電機轉子上的傳動齒輪相嚙合設置，所述二級私服電機固定安裝在主支架上。

優選的，所述吸附腔的內腔之中固定安裝有壓力檢測組件，所述壓力檢測組件由壓敏電阻、連接環、支撐彈簧、連接板、頂桿、連接柱、連接彈簧和支撐板組合構成，所述壓敏電阻、連接環均固定在吸附腔的底面，所述吸附腔的底面開設有走線槽，且壓敏電阻通過線體與設備上的PLC控制模塊進行電信號連接，所述連接板通過支撐彈簧與連接環相連接，所述頂桿、連接柱均與連接板一體成型，所述支撐板通過連接彈簧與連接柱相連接。