[發明專利]一種定位組件及硅片拋光機

在審

• 申請號: 202211596686.6
• 申請日: 2022-12-12
• 公開（公告）號: CN116276585A
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 伍志軍
• 申請（專利權）人: 蘇州賽森電子科技有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/06;B24B47/12;B24B55/00
• 代理公司: 蘇州潤桐嘉業知識產權代理有限公司 32261
• 代理人: 黃家旺

1.一種定位組件，其特征在于：所述定位組件包括：

主支架，所述主支架設置在設置在設備本體上；

載物臺(1)，所述載物臺(1)固定安裝在主支架上，其載物臺(1)上開設有開口槽(31)，且載物臺(1)的中心位置開設有放置槽(32)，且待加工硅片(33)放置在放置槽(32)之中；

次級支架(2)，所述次級支架(2)上轉動安裝有傳動絲杠(9)，且次級支架(2)上固定安裝有導桿(10)，且傳動絲杠(9)通過次級支架(2)上的一級伺服電機進行驅動；

滑座(3)，所述滑座(3)上開設有導桿孔和絲杠安裝孔，且滑座(3)滑動安裝在導桿(10)上，且傳動絲杠(9)的設置位置與絲杠安裝孔的位置相對應；

伸縮電缸(4)，所述伸縮電缸(4)固定安裝在滑座(3)上；

移動懸梁(5)，所述移動懸梁(5)與伸縮電缸(4)的伸縮桿固定連接；

安裝座(6)，所述安裝座(6)與移動懸梁(5)的端部固定連接，且安裝座(6)中心位置固定安裝有滾珠軸承(11)；

轉軸(7)，所述轉軸(7)的軸體固定安裝在滾珠軸承(11)的軸承內圈之中；

定位件(8)，所述定位件(8)與轉軸(7)端部相連接，且定位件(8)由吸附腔(12)和密封墊圈(13)組合構成。

2.根據權利要求1所述的一種定位組件，其特征在于：所述轉軸(7)為中空的管體結構，且吸附腔(12)與轉軸(7)之間一體成型，且轉軸(7)的腔體與吸附腔(12)的內腔相連通，所述密封墊圈(13)為橡膠墊圈，且密封墊圈(13)固定膠接在吸附腔(12)的端口位置處。

3.根據權利要求2所述的一種定位組件，其特征在于：所述轉軸(7)內腔的端口位置固定安裝有密封軸承(27)，所述密封軸承(27)的軸承內圈之中固定安裝有一級氣管(28)，所述一級氣管(28)為硬質鋼管，且一級氣管(28)通過氣管定位支架(29)固定在移動懸梁(5)上，且一級氣管(28)的端部通過輸氣軟管與抽氣設備的進氣端口相連接。

4.根據權利要求3所述的一種定位組件，其特征在于：所述轉軸(7)上固定安裝有從動齒輪(30)，所述從動齒輪(30)與二級私服電機轉子上的傳動齒輪相嚙合設置，所述二級私服電機固定安裝在主支架上。

5.根據權利要求4所述的一種定位組件，其特征在于：所述吸附腔(12)的內腔之中固定安裝有壓力檢測組件，所述壓力檢測組件由壓敏電阻(14)、連接環(15)、支撐彈簧(16)、連接板(17)、頂桿(18)、連接柱(19)、連接彈簧(20)和支撐板(21)組合構成，所述壓敏電阻(14)、連接環(15)均固定在吸附腔(12)的底面，所述吸附腔(12)的底面開設有走線槽(22)，且壓敏電阻(14)通過線體與設備上的PLC控制模塊進行電信號連接，所述連接板(17)通過支撐彈簧(16)與連接環(15)相連接，所述頂桿(18)、連接柱(19)均與連接板(17)一體成型，所述支撐板(21)通過連接彈簧(20)與連接柱(19)相連接。

6.根據權利要求5所述的一種定位組件，其特征在于：所述支撐彈簧(16)處于復位狀態時，其頂桿(18)的端面凸出在吸附腔(12)外側，且頂桿(18)的端面固定膠接有橡膠墊板(27)，所述連接彈簧(20)處于復位狀態時，其支撐板(21)與壓敏電阻(14)分離設置，且頂桿(18)在受力時，其支撐板(21)與壓敏電阻(14)相接觸設置。

7.根據權利要求6所述的一種定位組件，其特征在于：所述伸縮電缸(4)、一級伺服電機、二級私服電機均勻設備上的PLC控制模塊進行電信號連接。

8.根據權利要求7所述的一種定位組件，其特征在于：所述吸附腔(12)的內側壁上開設有內螺紋結構，且吸附腔(12)內側壁上設置有限位環(34)，且限位環(34)上設置有防塵網(23)，所述防塵網(23)通過固定件(24)定位夾持在限位環(34)上。