[發明專利]一種多維度晶圓加工用拾取機械手

在審

• 申請號: 202211593171.0
• 申請日: 2022-12-13
• 公開（公告）號: CN115847438A
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發明（設計）人: 尹明清
• 申請（專利權）人: 深圳市星國華先進裝備科技有限公司
• 主分類號: B25J11/00
• 分類號: B25J11/00;B25J15/00;B25J15/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多維度晶圓加工用拾取機械手，其特征在于，包括機架(1)和夾取裝置(2)，夾取裝置(2)包括上夾爪組件(2a)、下夾爪組件(2b)、旋轉驅動器(2c)和第一直線驅動組件(2d)；

上夾爪組件(2a)設有兩個，上夾爪組件(2a)包括第一安裝架(2a1)、第一旋轉軸(2a2)和第一滾輪(2a3)，第一安裝架(2a1)固定安裝在機架(1)上，第一旋轉軸(2a2)可旋轉的安裝在第一安裝架(2a1)上，第一滾輪(2a3)固定套接在第一旋轉軸(2a2)上；

下夾爪組件(2b)包括第二安裝架(2b1)和第二滾輪(2b2)，第二安裝架(2b1)滑動安裝在機架(1)上，第二滾輪(2b2)設有兩個，第二滾輪(2b2)可旋轉的安裝在第二安裝架(2b1)上；

旋轉驅動器(2c)設有兩個，旋轉驅動器(2c)固定安裝在第一安裝架(2a1)上，兩個旋轉驅動器(2c)的驅動端分別與兩個第一旋轉軸(2a2)同軸固定連接；

第一直線驅動組件(2d)固定安裝在機架(1)上，第一直線驅動組件(2d)的驅動端與第二安裝架(2b1)傳動連接。

2.根據權利要求1所述的一種多維度晶圓加工用拾取機械手，其特征在于，還包括輔助控制裝置(3)；

機架(1)上固定設置有滑軌(2d1)，第一直線驅動組件(2d)還包括第一安裝座(2d2)、固定軸(2d3)和直線驅動器(2d4)；

第一安裝座(2d2)滑動安裝在滑軌(2d1)上；

固定軸(2d3)固定安裝在第二安裝架(2b1)上，固定軸(2d3)與第一安裝座(2d2)轉動連接；

直線驅動器(2d4)固定安裝在機架(1)上，直線驅動器(2d4)的驅動端與第一安裝座(2d2)固定連接；

輔助控制裝置(3)包括緩沖組件(3a)，緩沖組件(3a)設有兩個，緩沖組件(3a)包括第三安裝架(3a1)和彈性件(3a2)，第三安裝架(3a1)固定安裝在機架(1)上，第一安裝架(2a1)與第三安裝架(3a1)滑動配合，彈性件(3a2)的兩端分別與第三安裝架(3a1)和第一安裝架(2a1)固定連接。

3.根據權利要求2所述的一種多維度晶圓加工用拾取機械手，其特征在于，夾取裝置(2)還包括傳動組件(2e)，傳動組件(2e)設有兩組，傳動組件(2e)包括第二旋轉軸(2e1)、第三旋轉軸(2e2)、十字滑塊式聯軸器(2e3)、套筒(2e4)、同步帶(2e5)和旋轉齒輪(2e6)；

第二旋轉軸(2e1)和第三旋轉軸(2e2)可旋轉的安裝在機架(1)上；

十字滑塊式聯軸器(2e3)的兩端分別與第二旋轉軸(2e1)和第一旋轉軸(2a2)固定連接；

套筒(2e4)設有兩個，兩個套筒(2e4)分別固定套接在第二旋轉軸(2e1)和第三旋轉軸(2e2)上；

同步帶(2e5)的兩端分別套接在兩個套筒(2e4)上；

旋轉齒輪(2e6)固定套接在第三旋轉軸(2e2)上，兩組傳動組件(2e)的旋轉齒輪(2e6)傳動連接；

旋轉驅動器(2c)的驅動端與其中一個第二旋轉軸(2e1)固定連接。

4.根據權利要求2所述的一種多維度晶圓加工用拾取機械手，其特征在于，輔助控制裝置(3)還包括真空吸盤(3b)和真空制造組件(3c)；

真空吸盤(3b)固定安裝在第二安裝架(2b1)上；

真空制造組件(3c)固定安裝在機架(1)上，真空制造組件(3c)與真空吸盤(3b)連通。

5.根據權利要求4所述的一種多維度晶圓加工用拾取機械手，其特征在于，真空制造組件(3c)包括密閉艙(3c1)、連接管(3c2)、活塞(3c3)和推桿(3c4)；

密閉艙(3c1)固定安裝在機架(1)上；

連接管(3c2)的兩端分別與真空吸盤(3b)和密閉艙(3c1)連通；

活塞(3c3)滑動安裝在密閉艙(3c1)內，推桿(3c4)與連接管(3c2)固定連接；

輔助控制裝置(3)還包括第二直線驅動組件(3d)，第二直線驅動組件(3d)的驅動端與推桿(3c4)固定連接。