[發明專利]半導體料盤自動運輸設備

在審

• 申請號: 202211577922.X
• 申請日: 2022-12-09
• 公開（公告）號: CN115799128A
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發明（設計）人: 禤永安;謝華春;黃世友
• 申請（專利權）人: 東莞市善易機械科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 東莞金凱云知識產權代理事務所(普通合伙) 44780
• 代理人: 陳凱玉

1.半導體料盤自動運輸設備，其特征在于：包括空盤物料艙、料盤物料艙、中轉運輸機構和取料運輸機構，空盤物料艙和料盤物料艙之間為上下垂直分布，中轉運輸機構設置在料盤物料艙與取料運輸機構之間；

所述空盤物料艙、料盤物料艙、中轉運輸機構和取料運輸機構均設有用于運輸料盤的滾筒運輸線，滾筒運輸線包括若干根可轉動的滾筒，空盤物料艙和料盤物料艙的內部均設有第一抬升架，中轉運輸機構的內部設有第二抬升架，取料運輸機的內部設有第三抬升架，位于空盤物料艙和料盤物料艙內部的滾筒運輸線均通過第一承載架與第一抬升架進行活動連接，位于中轉運輸機構和取料運輸機構內部的滾筒運輸線通過第二承載架分別與第二抬升架和第三抬升架進行活動連接，第二抬升架的高度大于第三抬升架的高度；

位于空盤物料艙和料盤物料艙內部的滾筒運輸線頂部的兩側均設有第一限位板體，位于中轉運輸機構和取料運輸機構內部的滾筒運輸線頂部的兩側均設有第二限位板體，空盤物料艙、料盤物料艙、中轉運輸機構和取料運輸機構的內部均設有用于驅動第一限位板體和第二限位板體移動的間隙調節機構，第一限位板體和第二限位板體分別與間隙調節機構進行固定連接，相鄰兩塊第一限位板體通過間隙調節機構進行間隙調節，相鄰兩塊第二限位板體通過間隙調節機構進行間隙調節；

所述中轉運輸機構的上方設有堆疊機械手，堆疊機械手包括伺服滑臺組件、支持臂和夾具，支持臂的一端通過氣動組件與夾具進行活動連接，支持臂的另一端與伺服滑臺組件進行活動連接，夾具通過支持臂延伸至中轉運輸機構的上方，夾具通過伺服滑臺組件可在中轉運輸機構與取料運輸機構之間的上方進行移動。

2.根據權利要求1所述的半導體料盤自動運輸設備，其特征在于：所述第一承載架與第二承載架的結構保持一致，第一承載架和第二承載架均包括承載板體、固定支架和滑動套筒，固定支架垂直固定連接在承載板體的兩側，滾筒的兩端可轉動地連接在固定支架的內側壁，滑動套筒設置于承載板體的四個邊角處，第一承載架與第二承載架均通過滑動套筒與第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架進行活動連接，第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的兩側均為導向桿，滑動套筒分別與對應的導向桿進行套接，第一承載架與第二承載架可沿導向桿進行上下滑動。

3.根據權利要求2所述的半導體料盤自動運輸設備，其特征在于：所述第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的頂部均設有用于驅動第一承載架與第二承載架進行上下滑動的抬升驅動組件；

抬升驅動組件包括抬升伺服電機和抬升絲桿，承載板體的一側設有與抬升絲桿相匹配的螺接件，抬升伺服電機分別固定連接在第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的頂部，抬升絲桿的一端與抬升伺服電機的輸出軸進行固定連接，抬升絲桿的另一端貫穿第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的頂部，且與螺接件進行螺接。

4.根據權利要求2所述的半導體料盤自動運輸設備，其特征在于：所述位于中轉運輸機構和取料運輸機構內部的間隙調節機構設置在第二抬升架和第三抬升架的內部，位于空盤物料艙、料盤物料艙內部的間隙調節機構設置在第一承載架的內部，第一限位板體和第二限位板體均通過連接座與間隙調節機構進行固定連接，連接座呈直角狀結構，第一限位板體和第二限位板體的底部固定連接在連接座的一側。

5.根據權利要求4所述的半導體料盤自動運輸設備，其特征在于：所述間隙調節機構包括調節導軌、調節伺服電機、調節絲桿和調節滑塊，調節滑塊的底部可滑動地連接在調節導軌的中部，連接座遠離第一限位板體和第二限位板體的一側與調節滑塊的頂部進行固定連接，第一限位板體和第二限位板體與調節導軌之間的夾角為90度；

調節伺服電機設置在調節導軌的一端，調節絲桿的一端與調節伺服電機的輸出軸進行固定連接，連接座的中部設有向上凸起的螺接塊，調節絲桿的另一端貫穿螺接塊的中部，且與螺接塊進行螺接。

6.根據權利要求4所述的半導體料盤自動運輸設備，其特征在于：所述第一限位板體的中部開設有若干個套接通孔，滾筒插接在套接通孔的內部，滾筒可在套接通孔的內部進行移動；

第二限位板體的中部開設有若干條滑槽，滑槽貫穿第二限位板體的兩側面，滾筒插接在滑槽的內部，且與滑槽之間保持垂直的結構，滾筒可沿滑槽的內部進行滑動。