[發明專利]一種真空手指與吸盤無膠粘連接機構

在審

• 申請號: 202211543696.3
• 申請日: 2022-12-01
• 公開（公告）號: CN115939015A
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 戴紅峰;王一;王本義;于宏嘉
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/677
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 楊旭

1.一種真空手指與吸盤無膠粘連接機構，包括真空手指(1)及若干個吸盤(2)，其特征在于：所述真空手指(1)分為連接在一起的機器人手臂連接部(101)及吸盤安裝部(102)，所述真空手指(1)的內部開設有手指真空主通道(103)及若干個手指真空分支通道(104)，所述機器人手臂連接部(101)上開設有與所述手指真空主通道(103)相連通的抽真空孔(105)，所述吸盤安裝部(102)上開設有若干個吸盤安裝孔(106)，每個所述吸盤安裝孔(106)分別與一個所述手指真空分支通道(104)相連通，各所述手指真空分支通道(104)分別與所述手指真空主通道(103)相連通；所述吸盤(2)通過與所述吸盤安裝孔(106)卡接、進而與所述真空手指(1)連接。

2.根據權利要求1所述的真空手指與吸盤無膠粘連接機構，其特征在于：所述真空手指(1)的機器人手臂連接部(101)上開設有若干個手臂連接孔(107)。

3.根據權利要求1所述的真空手指與吸盤無膠粘連接機構，其特征在于：所述吸盤(2)為包括吸盤中軸部(201)、連接外沿(202)及限位擋沿(203)的一體結構的柔性件，所述吸盤中軸部(201)開設有兩端開口的吸盤真空通道(204)，所述吸盤中軸部(201)的一端向外周延伸有所述連接外沿(202)，所述吸盤中軸部(201)的另一端向外延伸有所述限位擋沿(203)；

每個所述吸盤(2)的吸盤中軸部(201)卡入對應的一個所述吸盤安裝孔(106)，每個所述吸盤(2)的吸盤真空通道(204)分別與對應的所述手指真空分支通道(104)連通，每個所述吸盤(2)的限位擋沿(203)進入至所述手指真空分支通道(104)中、并抵接于所述手指真空分支通道(104)的內側面上。

4.根據權利要求3所述的真空手指與吸盤無膠粘連接機構，其特征在于：所述吸盤真空通道(204)的長度方向垂直于所述真空手指(1)的長度方向。

5.根據權利要求3所述的真空手指與吸盤無膠粘連接機構，其特征在于：所述吸盤中軸部(201)的外周面與所述吸盤安裝孔(106)的內孔壁之間形成過盈配合。

6.根據權利要求5所述的真空手指與吸盤無膠粘連接機構，其特征在于：所述吸盤中軸部(201)遠離所述連接外沿(202)的一端的端面上設有若干個支撐凸起(205)，各所述支撐凸起(205)分別抵接于所述手指真空分支通道(104)的內側面上。

7.根據權利要求6所述的真空手指與吸盤無膠粘連接機構，其特征在于：所述限位擋沿(203)抵接于所述手指真空分支通道(104)的內側面的一側面為抵接面A(2031)，所述抵接面A(2031)所抵接的手指真空分支通道(104)的內側面為內側面A(1041)，所述抵接面A(2031)與該內側面A(1041)之間形成過盈配合；

所述支撐凸起(205)抵接于所述手指真空分支通道(104)的內側面的一側面為抵接面B(2051)，所述抵接面B(2051)所抵接的手指真空分支通道(104)的內側面為內側面B(1042)，所述抵接面B(2051)與該內側面B(1042)之間形成過盈配合。

8.根據權利要求7所述的真空手指與吸盤無膠粘連接機構，其特征在于：同一個所述手指真空分支通道(104)的內側面A(1041)及內側面B(1042)為相對的兩個面。

9.根據權利要求1所述的真空手指與吸盤無膠粘連接機構，其特征在于：所述真空手指(1)的外側面噴涂有防靜電材料涂層。

10.根據權利要求1所述的真空手指與吸盤無膠粘連接機構，其特征在于：所述吸盤(2)整體采用橡膠材料制成。