[發明專利]一種測高方法、高度補償方法及系統

在審

• 申請號: 202211535801.9
• 申請日: 2022-12-02
• 公開（公告）號: CN115799114A
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發明（設計）人: 岳幫火;劉耀金;曾逸
• 申請（專利權）人: 深圳市卓興半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G01B13/06
• 代理公司: 深圳市添源創鑫知識產權代理有限公司 44855
• 代理人: 姜書新

1.一種測高方法，其特征在于：首先開啟吸嘴(1)的真空，控制擺臂(2)移動到固晶臺(3)需要進行測高點的位置，使擺臂(2)向下移動，直到吸嘴(1)觸碰到固晶點位時會堵塞真空并使檢測模塊產生信號變化，此時記錄當前擺臂(2)下降的高度脈沖值。

2.根據權利要求1所述的測高方法，其特征在于：所述檢測模塊為真空流量傳感器。

3.一種測高系統，包括擺臂(2)、以及安裝在所述擺臂(2)上的吸嘴(1)，其特征在于：該測高系統還包括檢測模塊、控制模塊、記錄模塊，所述控制模塊用于控制所述擺臂(2)的移動、以及開啟吸嘴(1)的真空，所述檢測模塊用于檢測吸嘴(1)是否觸碰到固晶點位；當所述檢測模塊檢測到吸嘴(1)觸碰到固晶點位時，所述記錄模塊記錄當前擺臂(2)下降的高度脈沖值。

4.根據權利要求3所述的測高系統，其特征在于：所述檢測模塊為真空流量傳感器，當吸嘴(1)觸碰到固晶點位時會堵塞真空時，真空流量傳感器產生信號變化，此時記錄模塊記錄當前擺臂(2)下降的高度脈沖值。

5.一種高度補償方法，其特征在于，包括：

分區補償步驟：將單個固晶板分為多個分區，通過補償算法對每個分區中的每個固晶點進行高度補償。

6.根據權利要求5所述的高度補償方法，其特征在于，在所述分區補償步驟中，將單個固晶板分為64個分區，即行列分區均為8，如果存在行列不能整除的情況，則將多余的行列放入最后的行列，通過補償算法對每個分區中的每個固晶點進行高度補償。

7.根據權利要求5所述的高度補償方法，其特征在于，在所述補償算法中，任意取其中的一個分區，設該分區內的焊盤行列數為row、col，四個對角點測出的高度值為h1、h2、h3、h4，當前需要補償點位于此分區的行為cr，列為cc，當前固晶點加補償值后的實際高度為h，

h＝h1+cc*(h2-h1)/(col-1)+

cr*{[(h4-h3)-(h2-h1)]/(row-1)}*[cc/(col-1)]*[row/(row+col)]+

cr*(h3-h1)/(row-1)+

cc*{[(h4-h2)-(h3-h1)]/(col-1)}*[cr/(row-1)]*[col/(row+col)]。

8.根據權利要求5所述的高度補償方法，其特征在于，該高度補償方法還包括測高步驟，所述測高步驟用于測量吸嘴(1)與固晶點之間的高度。

9.根據權利要求8所述的高度補償方法，其特征在于，在所述測高步驟中，首先開啟吸嘴(1)的真空，控制擺臂(2)移動到固晶臺(3)需要進行測高點的位置，使擺臂(2)向下移動，直到吸嘴(1)觸碰到固晶點位時會堵塞真空并使檢測模塊產生信號變化，此時記錄當前擺臂(2)下降的高度脈沖值。

10.根據權利要求9所述的高度補償方法，其特征在于：所述檢測模塊為真空流量傳感器。

11.一種高度補償系統，其特征在于，包括：

分區補償模塊：用于將單個固晶板分為多個分區，通過補償算法對每個分區中的每個固晶點進行高度補償。

12.根據權利要求11所述的高度補償系統，其特征在于，在所述分區補償模塊中，將單個固晶板分為64個分區，即行列分區均為8，如果存在行列不能整除的情況，則將多余的行列放入最后的行列，通過補償算法對每個分區中的每個固晶點進行高度補償。