[發明專利]產品缺陷檢測方法

有效

• 申請號: 202211523764.X
• 申請日: 2022-12-01
• 公開（公告）號: CN115541602B
• 公開（公告）日: 2023-03-07
• 發明（設計）人: 原續鵬;李惠芬;童竹勍;潘正頤;侯大為
• 申請（專利權）人: 常州微億智造科技有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/41;G01B11/25
• 代理公司: 上海段和段律師事務所 31334
• 代理人: 高璀璀

1.一種產品缺陷檢測方法，其特征在于，包括：

數據采集步驟：通過檢測裝置采集缺陷數據，并傳輸至上位機；

數據處理步驟：通過上位機對所述缺陷數據進行分析和處理；

結果呈現步驟：將數據處理步驟中得到的處理數據傳輸至用戶展示平臺，呈現最終分析結果；

所述檢測裝置包括：顯示屏（1）、準直透鏡（2）、分束片（3）、參考平面鏡（4）、供參考平面鏡放置的第一旋轉鏡架（5）、被測物體（7）、供被測物體放置的第二旋轉鏡架（8）、CCD相機（9）、供CCD相機放置的三維平移臺（10）和計算機（11）；

所述顯示屏（1）和CCD相機（9）的輸出端與所述計算機（11）的輸入端連接；

所述顯示屏（1）用于顯示所述計算機（11）編碼生成的渦旋條紋光束，該渦旋條紋光束經所述準直透鏡（2）準直后的渦旋條紋光束作為光源，該光源到達所述分束片（3）；其中，透射光束作為參考光束，反射光束作為物光束；

所述參考光束到達固定在所述的第一旋轉鏡架（5）上的參考平面鏡（4）后，返回并再次通過所述分束片（3），該分束片（3）將部分參考光束反射進入所述CCD相機（9），通過移動所述三維平移臺（10），使所述CCD相機（9）上出現所述參考平面鏡（4）的參考強度圖，并將該參考強度圖傳輸至所述計算機（11）；

所述物光束經過固定在第二旋轉鏡架（8）上的被測物體（7）后，經所述被測物體（7）反射后透過所述分束片（3）后到達所述CCD相機（9），通過移動所述三維平移臺（10），使所述CCD相機（9）上出現所述被測物體（7）的信號強度圖，并將該信號強度圖傳輸至所述計算機（11）；

所述顯示屏（1）顯示的渦旋條紋結構光束為標準水平渦旋條紋光束和垂直渦旋條紋光束形成的復合條紋光束，通過旋轉所述第一旋轉鏡架（5）和第二旋轉鏡架（8），使所述參考平面鏡（4）和被測物體（7）得到不同相移量的渦旋復合條紋光束，利用記錄的參考強度圖和信號強度圖，通過多步相移算法、傅里葉積分算法在內的相關算法實現所述被測物體（7）的波前重建。

2.根據權利要求1所述的產品缺陷檢測方法，其特征在于，所述檢測裝置還包括：光隔離器（6）；

所述參考平面鏡（4），用于初始背景信號的采集，采集完該初始背景信號后，需要將所述光隔離器（6）固定在所述參考光束中，用于阻擋該參考光束的反射光束進入所述CCD相機（9）。

3.根據權利要求1所述的產品缺陷檢測方法，其特征在于，所述顯示屏（1）與參考平面鏡（4）的間距等于所述顯示屏（1）與被測物體（7）的間距，且所述CCD相機（9）與參考平面鏡（4）的間距等于所述CCD相機（9）與被測物體（7）的間距。

4.根據權利要求1所述的產品缺陷檢測方法，其特征在于，所述被測物體（7）包括反射式被測物體及透射式被測物體和標準平面鏡的組合物體。