[發(fā)明專利]一種基于藍(lán)寶石基板的半導(dǎo)體設(shè)備及使用方法

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• 申請日: 2022-11-28
• 公開（公告）號: CN115846897A
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 白俊春
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇芯港半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/142;B23K26/70;B01D46/00;B23K101/40
• 代理公司: 北京恒泰銘睿知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11642
• 代理人: 何平

1.一種基于藍(lán)寶石基板的半導(dǎo)體設(shè)備，包括底座(1)、安裝在底座(1)頂端的切割機架(101)、安裝在切割機架(101)底部使用的半導(dǎo)體激光切割機(102)和底座(1)表面安裝的產(chǎn)品安裝座(103)；

其特征在于，所述切割機架(101)的一側(cè)固定安裝有電機(2)，所述底座(1)的表面轉(zhuǎn)動安裝有傳動絲桿(201)，且傳動絲桿(201)與電機(2)的底端輸出軸通過皮帶輪組件連接，所述底座(1)的一側(cè)表面開設(shè)有限位槽(202)，所述傳動絲桿(201)的下部表面活動安裝有滑塊(203)，且滑塊(203)的一側(cè)限位活動在限位槽(202)的內(nèi)部，所述滑塊(203)的前后端表面通過連接架共同安裝有護(hù)目罩(204)，所述護(hù)目罩(204)的頂端通過轉(zhuǎn)珠轉(zhuǎn)動安裝有轉(zhuǎn)軸齒輪(205)，所述轉(zhuǎn)軸齒輪(205)的內(nèi)部設(shè)有彈性膜(206)，且彈性膜(206)包裹于半導(dǎo)體激光切割機(102)的外側(cè)；

所述底座(1)的表面開設(shè)有導(dǎo)料孔(207)，且導(dǎo)料孔(207)位于產(chǎn)品安裝座(103)的外側(cè)，所述底座(1)的底端安裝有廢渣箱(208)，且廢渣箱(208)與導(dǎo)料孔(207)互通連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于藍(lán)寶石基板的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于：所述轉(zhuǎn)軸齒輪(205)的內(nèi)表面固定安裝有L型連桿(3)，所述L型連桿(3)的底端固定安裝有硬刷板(301)，所述傳動絲桿(201)的上部表面固定安裝有小齒輪(302)，且小齒輪(302)與轉(zhuǎn)軸齒輪(205)嚙合傳動。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于藍(lán)寶石基板的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于：所述傳動絲桿(201)的底端安裝有偏心輪(4)，且偏心輪(4)位于底座(1)的下方，所述底座(1)的底端固定安裝有活塞管(401)，且活塞管(401)的活動部與偏心輪(4)轉(zhuǎn)動連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于藍(lán)寶石基板的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于：所述活塞管(401)的表面通過單向吸氣閥軟管與廢渣箱(208)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于藍(lán)寶石基板的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于：所述護(hù)目罩(204)的內(nèi)壁固定安裝有單向吹氣閥管(402)，單向吹氣閥管(402)的表面均勻布設(shè)有斜向吹風(fēng)管(403)，且斜向吹風(fēng)管(403)的出風(fēng)方向為產(chǎn)品安裝座(103)位置處。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于藍(lán)寶石基板的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于：所述底座(1)的底端安裝有負(fù)壓護(hù)框(501)，所述傳動絲桿(201)的頂端安裝有從動扇葉(5)，且從動扇葉(5)位于負(fù)壓護(hù)框(501)的內(nèi)部，所述負(fù)壓護(hù)框(501)的后端互通連接有濾網(wǎng)箱(502)，且濾網(wǎng)箱(502)通過軟管與護(hù)目罩(204)的上部表面連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于藍(lán)寶石基板的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于：所述轉(zhuǎn)軸齒輪(205)的頂端固定安裝有轉(zhuǎn)動強磁鐵(603)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種基于藍(lán)寶石基板的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于：所述護(hù)目罩(204)的表面周向固定安裝有轉(zhuǎn)軸架(6)，且轉(zhuǎn)軸架(6)的頂部皆轉(zhuǎn)動安裝有重力球(601)，所述重力球(601)與彈性膜(206)表面接觸，所述重力球(601)的表面皆固定安裝有固定強磁鐵(602)，且固定強磁鐵(602)與轉(zhuǎn)動強磁鐵(603)配合使用。

9.一種基于藍(lán)寶石基板的半導(dǎo)體設(shè)備及使用方法，應(yīng)用于權(quán)利要求1-8任一所述的基于藍(lán)寶石基板的半導(dǎo)體設(shè)備中，其特征在于：步驟如下：

步驟一：遮光防濺射：護(hù)目罩(204)的布設(shè)，可將加工中的強光進(jìn)行遮擋，減少操作人員或者路過的同事眼部受強光照射，同時防止顆粒物料的濺射，以及減少產(chǎn)品加工切割的灰塵飛揚，提升加工安全性；

步驟二：顆粒廢料清理：L型連桿(3)的轉(zhuǎn)動即可對產(chǎn)品安裝座(103)上產(chǎn)品掉落的廢料進(jìn)行清理，且導(dǎo)料孔(207)位于L型連桿(3)的轉(zhuǎn)動路徑上，轉(zhuǎn)動過程中可將顆粒廢料清掃至導(dǎo)料孔(207)的內(nèi)部，并通過廢渣箱(208)進(jìn)行收集，減少顆粒廢料粘附在產(chǎn)品上，進(jìn)一步提升產(chǎn)生的加工質(zhì)量；

步驟三：提升存儲效果：活塞管(401)的表面通過單向吸氣閥軟管與廢渣箱(208)連接，即可對廢渣箱(208)處抽吸并形成負(fù)壓效果，從而提升較小顆粒存儲以及產(chǎn)品粉塵的吸附效果；

步驟四：防粘附：通過其表面均勻布設(shè)的斜向吹風(fēng)管(403)，從而對產(chǎn)品安裝座(103)及其表面的產(chǎn)品表面進(jìn)行吹風(fēng)清理，使其切割粘附的顆粒吹至導(dǎo)料孔(207)處通過廢渣箱(208)收集，故斜向吹風(fēng)管(403)的吹風(fēng)進(jìn)一步提升產(chǎn)品加工的質(zhì)量以及廢料收集的效率；

步驟五：除揚塵：從動扇葉(5)的快速轉(zhuǎn)動，可使位于其下方的濾網(wǎng)箱(502)處產(chǎn)生負(fù)壓，從而對護(hù)目罩(204)內(nèi)部揚起的浮塵進(jìn)行吸附清理，并于濾網(wǎng)箱(502)的內(nèi)部過濾，從而進(jìn)一步減少灰塵彌漫在加工環(huán)境中，優(yōu)化加工環(huán)境，保護(hù)操作人員的呼吸道健康；

步驟六：減少灰塵粘附：重力球(601)會因自身重力下落，并對彈性膜(206)的表面進(jìn)行輕打，減少彈性膜(206)內(nèi)表面灰塵的粘附，進(jìn)一步提升內(nèi)部灰塵的清理效果，提升產(chǎn)品質(zhì)量同時優(yōu)化操作環(huán)境。