[發明專利]電子級多晶硅篩分裝置

在審

• 申請號: 202211468898.6
• 申請日: 2022-11-22
• 公開（公告）號: CN115739580A
• 公開（公告）日: 2023-03-07
• 發明（設計）人: 閆家強;吳鵬;田新;張天雨
• 申請（專利權）人: 江蘇鑫華半導體科技股份有限公司
• 主分類號: B07B1/10
• 分類號: B07B1/10;B07B1/46;B08B15/04
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 季永杰

1.一種電子級多晶硅篩分裝置，其特征在于，包括：

第一傳送裝置，所述第一傳送裝置包括第一篩分板，所述第一篩分板可選擇地在所述第一傳送裝置沿第一方向的兩端之間往復移動，所述第一篩分板上設置有沿第二方向貫穿所述第一篩分板的第一篩分孔；

第一收料倉，所述第一收料倉設置于所述第一傳送裝置沿所述第二方向的一側且與所述第一傳送裝置正對，所述第一收料倉內形成有適于容納所述電子級多晶硅的第一容納腔；

第二傳送裝置，所述第二傳送裝置設置于所述第一篩分板運動方向的一端，所述第二傳送裝置包括第二篩分板，所述第二篩分板可選擇地在所述第二傳送裝置沿所述第一方向的兩端之間往復移動，所述第二篩分板上設置有沿所述第二方向貫穿所述第二篩分板的第二篩分孔，所述第一篩分孔的直徑小于所述第二篩分孔的直徑；

第二收料倉，所述第二收料倉設置于所述第二傳送裝置沿所述第二方向的一側且與所述第二傳送裝置正對，所述第二收料倉內形成有適于容納所述電子級多晶硅的第二容納腔；

其中，所述第一方向為所述第一篩分板和所述第二篩分板的延伸方向，所述第二方向為所述第一篩分板和所述第二篩分板的厚度方向。

2.根據權利要求1所述的電子級多晶硅篩分裝置，其特征在于，還包括：

第一吸塵管道，所述第一吸塵管道的一端與所述第一收料倉連通，所述第一吸塵管道的另一端與吸塵裝置連接；

第一管道，所述第一管道內部形成有適于粉塵流通的流通通道，所述第一管道的一端與所述第一收料倉連通，所述第一管道的另一端與所述第二收料倉連通。

3.根據權利要求2所述的電子級多晶硅篩分裝置，其特征在于，所述第一篩分孔的直徑為45mm～55mm；和/或所述第二篩分孔的直徑為90mm～110mm。

4.根據權利要求3所述的電子級多晶硅篩分裝置，其特征在于，還包括：進料裝置，所述進料裝置背離所述第一傳送裝置的一端形成有進料口，所述進料裝置朝向所述第一傳送裝置的一端形成有出料口，所述進料口的直徑大于所述出料口的直徑。

5.根據權利要求4所述的電子級多晶硅篩分裝置，其特征在于，還包括：第二吸塵管道，所述第二吸塵管道的一端與所述進料裝置連通，所述第二吸塵管道的另一端與所述第一吸塵管道連通。

6.根據權利要求4所述的電子級多晶硅篩分裝置，其特征在于，所述出料口與所述第一篩分板之間的距離為20cm～30cm。

7.根據權利要求6所述的電子級多晶硅篩分裝置，其特征在于，所述進料裝置的至少部分內周壁涂覆有聚氨酯。

8.根據權利要求1所述的電子級多晶硅篩分裝置，其特征在于，還包括：第三收料倉，所述第三收料倉設置在所述第二篩分板運動方向的一端，所述第三收料倉內形成有適于容納所述電子級多晶硅的第三容納腔。

9.根據權利要求8所述的電子級多晶硅篩分裝置，其特征在于，還包括：

第一收料盒，所述第一收料盒設置在所述第一收料倉內，所述第一收料盒內形成有適于容納所述電子級多晶硅的第四容納腔；和/或

第二收料盒，所述第二收料盒設置在所述第二收料倉內，所述第二收料盒內形成有適于容納所述電子級多晶硅的第五容納腔；和/或

第三收料盒，所述第三收料盒設置在所述第三收料倉內，所述第三收料盒內形成有適于容納所述電子級多晶硅的第六容納腔。

10.根據權利要求9所述的電子級多晶硅篩分裝置，其特征在于，形成所述第一篩分板的至少部分表面和/或所述第二篩分板的至少部分表面涂覆有聚氨酯；

所述第一收料盒的至少部分內壁和/或所述第二收料盒的至少部分內壁和/或所述第三收料盒的至少部分內壁涂覆有聚氨酯。