[發明專利]一種平移式芯片分選機在審
| 申請號: | 202211348402.1 | 申請日: | 2022-10-31 |
| 公開(公告)號: | CN115621168A | 公開(公告)日: | 2023-01-17 |
| 發明(設計)人: | 藍習麟 | 申請(專利權)人: | 無錫市華宇光微電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;B07C5/36;H01L21/683 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 214000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 平移 芯片 分選 | ||
1.一種平移式芯片分選機,其特征在于,它包括:
底板(1)、可移動地設置在所述底板(1)頂部的X軸移動板(3)、可移動地設置在所述X軸移動板(3)一側的Y軸移動板(5)、可升降地設置在所述Y軸移動板(5)一側的升降板(6)、可升降地設置在所述升降板(6)一側的取料板(12)以及可相對移動地設置在所述取料板(12)一側的兩組單變距組件(13);
所述單變距組件(13)包括固定在所述取料板(12)一側的變距板(131)、水平滑動連接在所述變距板(131)一側的吸嘴固定板(136)、固定在所述吸嘴固定板(136)上的凸輪軸承(137)、可升降地設置在所述變距板(131)一側的調節板(132)、開設在所述調節板(132)上且傾斜設置的調節槽(133)以及彈性安裝在所述吸嘴固定板(136)一側的吸桿(138),所述凸輪軸承(137)置于調節槽(133)內。
2.根據權利要求1所述的一種平移式芯片分選機,其特征在于:它還包括固定在所述升降板(6)底部的固定板(7)、固定在所述固定板(7)兩側的滑塊固定板(8)、滑動連接在所述滑塊固定板(8)底部的護板(11)以及開設在所述護板(11)上且與吸桿(138)配合的護套。
3.根據權利要求1所述的一種平移式芯片分選機,其特征在于:它還包括固定在其中一塊所述變距板(131)一側的聯板(14)、開設在所述聯板(14)上的聯槽(15)、固定在所述聯板(14)外側的變距氣缸(16)、與所述變距氣缸導向桿相連的浮動接頭(17)、與所述浮動接頭(17)相卡接的第一卡塊(18)以及固定在所述第一卡塊(18)內側的第二卡塊(19),所屬第一卡塊(18)和第二卡塊(19)置于聯槽(15)內,所述第二卡塊(19)與另一塊變距板(131)相固定。
4.根據權利要求1所述的一種平移式芯片分選機,其特征在于:所述單變距組件(13)還包括間隔固定在所述吸嘴固定板(136)一側的襯套板(142)、嵌設在所述襯套板(142)內的襯套(147)、開設在所述吸桿(138)外周面上的墊圈槽(144)、卡在所述墊圈槽(144)內的墊圈(145)、套設在所述吸桿(138)上的彈簧(143)、固定在所述吸嘴固定板(136)底部的防轉板(139)、開設在所述防轉板(139)上的防轉槽(140)以及設置在所述吸桿(138)兩側的切面(141),所述切面(141)與防轉槽(140)相配合,所述彈簧(143)位于襯套(147)和墊圈(145)之間。
5.根據權利要求3所述的一種平移式芯片分選機,其特征在于:所述浮動接頭(17)包括接頭本體(171)、一體連接在所述接頭本體(171)兩側的卡環(172)以及設置在所述卡環(172)之間的卡環槽(173),所述卡環(172)與變距氣缸(16)的導向桿相連。
6.根據權利要求5所述的一種平移式芯片分選機,其特征在于:所述第一卡塊(18)包括第一卡體(181)、一體連接在所述第一卡體(181)一側的第一卡板(182)以及開設在所述第一卡板(182)上的第一卡槽(183),所述第一卡槽(183)卡在所述卡環槽(173)內。
7.根據權利要求6所述的一種平移式芯片分選機,其特征在于:所述第二卡塊(19)包括固定在所述第一卡體(181)遠離第一卡板(182)一側的第二卡體(191)、一體連接在所述第二卡體(191)上的凸塊(192)以及設置在所述凸塊(192)之間的第二卡槽(193),另一塊變距板(131)固定在第二卡槽(193)內。
8.根據權利要求7所述的一種平移式芯片分選機,其特征在于:所述第一卡體(181)的高度等于第二卡體(191)的高度,所述第一卡體(181)的高度等于聯槽(15)的高度。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





