[發(fā)明專利]調(diào)節(jié)器件電學(xué)參數(shù)的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202211343837.7
• 申請日: 2022-10-31
• 公開（公告）號: CN115510793A
• 公開（公告）日: 2022-12-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 韓曉婧
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06F30/39
• 分類號: G06F30/39
• 代理公司: 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 閆學(xué)文

本發(fā)明提供了一種調(diào)節(jié)器件電學(xué)參數(shù)的方法，包括：根據(jù)溝道尺寸建立全局模型；將全局模型劃分為多個局部模型；將器件非位于四個角上的局部模型提取出來作為第一局部模型，其余局部模型作為第二局部模型；將第一局部模型的長度和寬度分別修改為全局模型的長度和寬度，將修改后的第一局部模型輸入仿真器進行仿真，使得第一局部模型包含的所有器件的預(yù)測電學(xué)參數(shù)的擬合曲線與實際的電學(xué)參數(shù)的擬合曲線吻合，得到此時的第一局部模型的所有器件的溝道的仿真尺寸；將第一局部模型的所有仿真尺寸在坐標(biāo)系上形成第三局部模型，對第二局部模型和第三局部模型進行仿真，以得到預(yù)測電學(xué)參數(shù)。本發(fā)明提高了調(diào)節(jié)模型參數(shù)的效率，省時省力。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及集成電路領(lǐng)域，尤其是涉及一種調(diào)節(jié)器件電學(xué)參數(shù)的方法。

背景技術(shù)

SPICE(Simulation Program with Integrated Circuit Emphasis)是一種用于電路描述與仿真的語言與仿真器軟件，可用于檢測電路的連接和功能的完整性，以及用于預(yù)測器件的電學(xué)參數(shù)，器件例如是MOSFET，電學(xué)參數(shù)包括：擬合電壓，閾值電壓，曲線擬合，介電常數(shù)。如果要使SPICE很好地工作，就必須提供器件的仿真模型，仿真模型根據(jù)器件的溝道尺寸也就是溝道長度和溝道寬度建立，然后將模型輸入仿真器得到器件的預(yù)測的電學(xué)參數(shù)。預(yù)測的電學(xué)參數(shù)的實際的電學(xué)參數(shù)越吻合，這個模型越精確。

現(xiàn)有技術(shù)的模型的建立過程為：根據(jù)多個器件的溝道長度和溝道寬度建立全局模型，將全局模型分為多個局部模型，將多個局部模型分別輸入仿真器分別得到器件的預(yù)測的電學(xué)參數(shù)。然而，使用現(xiàn)有技術(shù)建立的模型得到的預(yù)測電學(xué)參數(shù)的擬合曲線與實際的參數(shù)出現(xiàn)個別器件的預(yù)測的電學(xué)參數(shù)與實際的電學(xué)參數(shù)不吻合甚至差異較大的情況，經(jīng)過研究發(fā)現(xiàn)，這些器件不在局部模型的四個角上，將這些器件作為缺點器件，將這個模型作為缺點模型。現(xiàn)有技術(shù)中，為了解決缺點模型出現(xiàn)的預(yù)測的電學(xué)參數(shù)與實際的電學(xué)參數(shù)不吻合甚至差異較大的情況，采用的是不斷調(diào)整缺點局部模型的四個角上的器件的溝道長度和溝道寬度，反復(fù)迭代并確認(rèn)預(yù)測的電學(xué)參數(shù)，直到將缺點模型的預(yù)測電學(xué)參數(shù)調(diào)整至與實際電學(xué)參數(shù)吻合。

然而，采用這種反復(fù)迭代的方法費時費力，并且效率底下。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種調(diào)節(jié)器件電學(xué)參數(shù)的方法，可以調(diào)節(jié)模型的參數(shù)，使得器件的預(yù)測電學(xué)參數(shù)與實際電學(xué)參數(shù)吻合，并且可以提高調(diào)節(jié)模型參數(shù)的效率，省時省力。

為了達到上述目的，本發(fā)明提供了一種調(diào)節(jié)器件電學(xué)參數(shù)的方法，包括：

根據(jù)所有器件的溝道尺寸在坐標(biāo)系上建立全局模型，所述全局模型為大尺寸方格；

將所述全局模型劃分為多個局部模型，所述局部模型為小尺寸方格；

將所述器件非位于所在小尺寸方格的四個角上的局部模型提取出來作為第一局部模型，其余局部模型作為第二局部模型；

將所述第一局部模型的長度和寬度分別修改為所述全局模型的長度和寬度，并將修改后的第一局部模型輸入仿真器進行仿真，使得第一局部模型包含的所有器件的預(yù)測電學(xué)參數(shù)的擬合曲線與實際的電學(xué)參數(shù)的擬合曲線吻合，得到此時的第一局部模型的所有器件的溝道的仿真尺寸；以及

將第一局部模型的所有器件的溝道的仿真尺寸在所述坐標(biāo)系上形成第三局部模型，對所述第二局部模型和第三局部模型進行仿真以得到所有所述器件的預(yù)測電學(xué)參數(shù)。

可選的，在所述的調(diào)節(jié)器件電學(xué)參數(shù)的方法中，所述溝道尺寸包括溝道長度和溝道寬度；所述溝道的仿真尺寸包括溝道的仿真長度和溝道的仿真寬度。

可選的，在所述的調(diào)節(jié)器件電學(xué)參數(shù)的方法中，根據(jù)所有器件的溝道尺寸建立全局模型的方法包括：

使用相互垂直的X坐標(biāo)軸和Y坐標(biāo)軸建立坐標(biāo)系；