[發明專利]調節器件電學參數的方法

在審

• 申請號: 202211343837.7
• 申請日: 2022-10-31
• 公開（公告）號: CN115510793A
• 公開（公告）日: 2022-12-23
• 發明（設計）人: 韓曉婧
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06F30/39
• 分類號: G06F30/39
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 閆學文

1.一種調節器件電學參數的方法，其特征在于，包括：

根據所有器件的溝道尺寸在坐標系上建立全局模型，所述全局模型為大尺寸方格；

將所述全局模型劃分為多個局部模型，所述局部模型為小尺寸方格；

將所述器件非位于所在小尺寸方格的四個角上的局部模型提取出來作為第一局部模型，其余局部模型作為第二局部模型；

將所述第一局部模型的長度和寬度分別修改為所述全局模型的長度和寬度，并將修改后的第一局部模型輸入仿真器進行仿真，使得第一局部模型包含的所有器件的預測電學參數的擬合曲線與實際的電學參數的擬合曲線吻合，得到此時的第一局部模型的所有器件的溝道的仿真尺寸；以及

將第一局部模型的所有器件的溝道的仿真尺寸在所述坐標系上形成第三局部模型，對所述第二局部模型和第三局部模型進行仿真以得到所有所述器件的預測電學參數。

2.如權利要求1所述的調節器件電學參數的方法，其特征在于，所述溝道尺寸包括溝道長度和溝道寬度；所述溝道的仿真尺寸包括溝道的仿真長度和溝道的仿真寬度。

3.如權利要求2所述的調節器件電學參數的方法，其特征在于，根據所有器件的溝道尺寸建立全局模型的方法包括：

使用相互垂直的X坐標軸和Y坐標軸建立坐標系；

將所有所述器件的溝道長度和溝道寬度分別對應到X坐標軸和Y坐標軸上，在所述坐標系中形成多個點模型，每個所述點模型代表一個器件。

4.如權利要求3所述的調節器件電學參數的方法，其特征在于，所述全局模型包括多個點模型。

5.如權利要求3所述的調節器件電學參數的方法，其特征在于，所述局部模型包括若干個點模型。

6.如權利要求1所述的調節器件電學參數的方法，其特征在于，所述大尺寸方格為長方形或正方形。

7.如權利要求1所述的調節器件電學參數的方法，其特征在于，所述小尺寸方格為長方形或正方形。

8.如權利要求4所述的調節器件電學參數的方法，其特征在于，所述全局模型的長度為：所述點模型對應到X坐標上的最大值與所述點模型對應到X坐標上的最小值的差值；所述全局模型的寬度為：所述點模型對應到Y坐標上的最大值到所述點模型對應到Y坐標上的最小值的差值。

9.如權利要求8所述的調節器件電學參數的方法，其特征在于，所述大尺寸方格的四個角分別為(X1，Y1)、(X2，Y1)、(X2，Y2)和(X1，Y2)，其中：X1為點模型對應到X坐標上最小值，Y1為點模型對應到Y坐標上最大的值，X2為點模型對應到X坐標上最大值，Y2為點模型對應到Y坐標上最大值。

10.如權利要求1所述的調節器件電學參數的方法，其特征在于，所述電學參數包括：擬合電壓、閾值電壓、曲線擬合和/或介電常數。