[發明專利]探針冷卻系統、冷卻方法及具備該系統的電子組件測試設備

在審

• 申請號: 202211337113.1
• 申請日: 2022-10-28
• 公開（公告）號: CN116068368A
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發明（設計）人: 曾一士;吳信毅;蔡譯慶;歐陽勤一
• 申請（專利權）人: 致茂電子（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京三幸商標專利事務所(普通合伙) 11216
• 代理人: 劉卓然

1.一種探針冷卻系統，其至少用于冷卻芯片插槽內的探針，該芯片插槽包括至少一個槽入口及至少一個槽出口，該系統包括：

至少一個冷卻流體供給通道、至少一個冷卻流體排出通道以及冷卻流體供應模塊；該至少一個冷卻流體供給通道及該至少一個冷卻流體排出通道分別連通該至少一個槽入口及該至少一個槽出口；該冷卻流體供應模塊連通至該至少一個冷卻流體供給通道；

其特征是，當該芯片插槽內容納電子組件時，該冷卻流體供應模塊通過該至少一個冷卻流體供給通道與該至少一個槽入口供應冷卻流體至該芯片插槽內，該冷卻流體流經該探針后通過該至少一個槽出口流至該至少一個冷卻流體排出通道。

2.根據權利要求1所述的探針冷卻系統，其特征是，該冷卻流體供應模塊包括泵、儲液桶、散熱器、過濾器、及冷卻流體管路；該至少一個冷卻流體供給通道與該至少一個冷卻流體排出通道分設于該冷卻流體管路的兩端，該泵、該儲液桶、該散熱器及該過濾器組設于該冷卻流體管路上。

3.根據權利要求1所述的探針冷卻系統，其特征是，還包括清掃氣體供應模塊，其連通該至少一個槽入口；當停止供應該冷卻流體后，該清掃氣體供應模塊通過該至少一個槽入口向該芯片插槽內供給清掃氣體以驅使該冷卻流體流到該至少一個冷卻流體排出通道。

4.根據權利要求3所述的探針冷卻系統，其特征是，還包括切換模塊，該切換模塊包括兩個入口端及出口端；該清掃氣體供應模塊包括氣壓源通道，其一端連通至氣壓源，另一端連通至該切換模塊的該兩個入口端其中之一；該至少一個冷卻流體供給通道連通至該切換模塊的該兩個入口端的其中另一；該切換模塊的該出口端連通該至少一個槽入口；該切換模塊用于切換使該至少一個冷卻流體供給通道或該氣壓源通道導通至該至少一個槽入口。

5.根據權利要求1所述的探針冷卻系統，其特征是，當該電子組件容納于該芯片插槽，該電子組件的下表面、該芯片插槽的底面以及該芯片插槽的四周側壁共同定義冷卻空間；該冷卻流體供應模塊供應該冷卻流體至該冷卻空間內。

6.根據權利要求1所述的探針冷卻系統，其特征是，冷卻流體供應模塊為冷卻氣體供應模塊，其供應冷卻氣體以作為該冷卻流體。

7.一種具備探針冷卻系統的電子組件測試設備，其特征是，包括根據權利要求1至6中任一項所述的探針冷卻系統、壓接頭、測試座以及主控制器，該主控制器電性連接于該壓接頭、該測試座與該冷卻流體供應模塊；該芯片插槽形成于該測試座的上表面，該壓接頭設置于該測試座上方，并受該主控制器的控制而可選擇地趨近或遠離該測試座；當該芯片插槽內容納該電子組件時，該控制器控制該壓接頭壓抵該電子組件，并控制該冷卻流體供應模塊供應該冷卻流體至該測試座的該芯片插槽。

8.一種探針的冷卻方法，其特征是，包括以下步驟：

(A)放置電子組件至芯片插槽內，該芯片插槽的底面包括至少一個探針；

(B)冷卻流體供應模塊通過至少一個冷卻流體供給通道提供冷卻流體至該芯片插槽內，該冷卻流體流經該至少一個探針后通過至少一個冷卻流體排出通道而自該芯片插槽排出；以及

(C)停止提供該冷卻流體至該芯片插槽內。

9.根據權利要求8所述的冷卻方法，其特征是，于該步驟(A)中，該電子組件的下表面、該芯片插槽的底面以及該芯片插槽的四周側壁共同定義冷卻空間；于該步驟(B)中，該冷卻流體供應模塊通過該至少一個冷卻流體供給通道提供該冷卻流體至該冷卻空間內；于該步驟(C)后還包括步驟(D)，通過清掃氣體供應模塊向該芯片插槽內供給清掃氣體以驅使該冷卻流體流至該至少一個冷卻流體排出通道。

10.根據權利要求8所述的冷卻方法，其特征是，該冷卻流體供應模塊為冷卻氣體供應模塊；于該步驟(B)中，該冷卻氣體供應模塊提供冷卻氣體以作為該冷卻流體而供應至該芯片插槽內；當該冷卻氣體流經該至少一個探針后，流入該至少一個冷卻流體排出通道，并流經過濾器而排至大氣中。