[發明專利]晶圓傳送機械臂及晶圓傳送方法

有效

• 申請號: 202211322661.7
• 申請日: 2022-10-27
• 公開（公告）號: CN115394698B
• 公開（公告）日: 2022-12-23
• 發明（設計）人: 林堅;王彭
• 申請（專利權）人: 泓滸（蘇州）半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓傳送機械臂，包括晶圓盒（100），晶圓盒（100）內沿著其長度方向放置有卡盤（102），卡盤（102）均呈豎直狀態放置，卡盤（102）用于固定晶圓；其特征在于，晶圓盒（100）的上方設置有對卡盤（102）進行夾取的拾取機構（200），拾取機構（200）包括驅動架（201）、翻轉組件（203）、夾持組件（204）和擺動組件（205）；

驅動架（201）側壁上設置有滑軌（201d），滑軌（201d）呈倒置的L形狀；

夾持組件（204）滑動地位于滑軌（201d）上，夾持組件（204）用于對卡盤（102）進行夾持；

擺動組件（205）位于滑軌（201d）的旁側，擺動組件（205）用于帶動夾持組件（204）沿滑軌（201d）進行滑動；

翻轉組件（203）位于驅動架（201）的頂部，且翻轉組件（203）位于滑軌（201d）的旁側，翻轉組件（203）用于帶動夾持組件（204）進行90°的翻轉。

2.根據權利要求1所述的晶圓傳送機械臂，其特征在于，拾取機構（200）還包括驅動組件（202），驅動組件（202）包括絲桿（202a-1）、位置驅動電機（202b）和兩個安裝耳（202a），晶圓盒（100）的頂部設置有沿其長度方向的滑槽（101），驅動架（201）能滑動的位于滑槽（101）上，兩個安裝耳（202a）位于其中一個滑槽（101）的旁側的側壁上，絲桿（202a-1）呈水平狀態能轉動地位于兩個安裝耳（202a）之間，位置驅動電機（202b）固定連接于其中一個安裝耳（202a）上，位置驅動電機（202b）的輸出軸貫穿通過安裝耳（202a）與絲桿（202a-1）連接，驅動架（201）的側壁上固定有驅動板（201c），絲桿（202a-1）貫穿通過驅動板（201c）且與其螺紋配合。

3.根據權利要求1所述的晶圓傳送機械臂，其特征在于，夾持組件（204）包括夾持架（204a）、兩個滑動桿（204a-1）、兩個彈扣（204d-1）和兩個安裝孔（204b），夾持架（204a）位于矩形的架體結構，夾持架（204a）的中央設置有與卡盤（102）相互匹配的方槽（204c），兩個滑動桿（204a-1）分別固定連接于夾持架（204a）的寬度方向上的兩端外側，兩個滑動桿（204a-1）上均套設有滑輪（204a-2），滑輪（204a-2）與滑軌（201d）滑動配合，兩個安裝孔（204b）位于夾持架（204a）上寬度方向的兩端的內壁上，兩個安裝孔（204b）內均設置有與外部電性連接的電磁鐵，兩個彈扣（204d-1）均能滑動地位于兩個安裝孔（204b）內，兩個彈扣（204d-1）上均設置有彈性件（204d-2），彈性件（204d-2）的兩端分別于彈扣（204d-1）和安裝孔（204b）的內壁固定連接，彈扣（204d-1）與電磁鐵磁性連接，卡盤（102）的頂端設置有與彈扣（204d-1）相互匹配的卡接孔（102a）。

4.根據權利要求1所述的晶圓傳送機械臂，其特征在于，擺動組件（205）包括擺動驅動電機（205a-1）、安裝架（205a）、傳動齒輪（205b-1）、主動齒輪（205d-1）、直線驅動器（205c）、傳動軸（205b）和主動軸（205d），安裝架（205a）固定連接于驅動架（201）側壁上，擺動驅動電機（205a-1）固定連接于安裝架（205a）上，且擺動驅動電機（205a-1）的輸出軸與主動軸（205d）連接，主動軸（205d）上固定有主動齒輪（205d-1），傳動軸（205b）上固定有傳動齒輪（205b-1），主動齒輪（205d-1）與傳動齒輪（205b-1）嚙合，直線驅動器（205c）的其中一端與傳動軸（205b）固定連接，直線驅動器（205c）的另外一端與夾持組件（204）鉸接，卡盤（102）的中央設置有能供晶圓放置的容置槽（102b）。

5.根據權利要求3所述的晶圓傳送機械臂，其特征在于，翻轉組件（203）包括翻轉齒輪（203b）和齒條（203a），翻轉齒輪（203b）固定于夾持架（204a）的其中一個滑動桿（204a-1）上，且翻轉齒輪（203b）與滑動桿（204a-1）固定連接，齒條（203a）呈水平狀態位于驅動架（201）的側壁上，且齒條（203a）位于滑軌（201d）旁側，齒條（203a）與翻轉齒輪（203b）嚙合連接。