[發(fā)明專利]顯影裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202211306714.6
• 申請日: 2022-10-25
• 公開（公告）號: CN115629524A
• 公開（公告）日: 2023-01-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 練文軍
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳天華機(jī)器設(shè)備有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 深圳市六加知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44372
• 代理人: 許銓芬

本申請的實(shí)施例提供了一種顯影裝置，用于對生產(chǎn)板噴淋藥水，以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)板的圖形轉(zhuǎn)移，顯影裝置包括支架結(jié)構(gòu)、輸送結(jié)構(gòu)以及噴淋結(jié)構(gòu)。由于生產(chǎn)板沿鉛錘方向放置，噴淋在板面的藥水由于重于作用，向下流動，藥水對板面下方的線路會生產(chǎn)影響，導(dǎo)致顯影不均勻；本顯影裝置安裝的噴管平行于輸送方向，在不同高度安裝噴管，單獨(dú)控制進(jìn)水，根據(jù)顯影效果調(diào)節(jié)每條噴管的噴淋壓力及流量，保證整個(gè)板面顯影的均勻性；在此基礎(chǔ)上噴淋架增加上下擺動裝置，消除噴淋管設(shè)置盲區(qū)，改善顯影效果；傳動系統(tǒng)采用磁傳動系統(tǒng)，消除現(xiàn)有齒輪傳動產(chǎn)生的磨擦碎屑，保證藥水不受污染，保持藥水的干凈度，增加產(chǎn)品良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于顯影設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種顯影裝置。

背景技術(shù)

目前，在垂直顯影生產(chǎn)過程中，將生產(chǎn)板放入顯影噴淋設(shè)備進(jìn)行噴淋時(shí)，由于重力作用導(dǎo)致生產(chǎn)板下部被重復(fù)噴淋，導(dǎo)致生產(chǎn)板各處的噴淋效果有差異，導(dǎo)致生產(chǎn)板顯影效果較差，產(chǎn)品良率低。

發(fā)明內(nèi)容

本申請實(shí)施例的目的在于提供一種顯影裝置，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中生產(chǎn)板顯影效果較差的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請采用的技術(shù)方案是：

提供一種顯影裝置，包括：

支架結(jié)構(gòu)，設(shè)有噴淋腔；

輸送結(jié)構(gòu)，設(shè)于噴淋腔內(nèi)并與所述支架結(jié)構(gòu)連接，且用于限位連接生產(chǎn)板以將所述生產(chǎn)板運(yùn)輸至所述噴淋腔內(nèi)；以及

噴淋結(jié)構(gòu)，包括噴淋架、壓力控制器和多個(gè)噴管，所述噴淋架與所述輸送結(jié)構(gòu)間隔設(shè)置于所述噴淋腔內(nèi)，多個(gè)所述噴管間隔設(shè)置于所述噴淋架上并且均與所述壓力控制器相連接，所述壓力控制器用于控制各個(gè)所述噴管內(nèi)的壓力值，每個(gè)所述噴管均沿預(yù)設(shè)方向設(shè)置，每個(gè)所述噴管上設(shè)有多個(gè)間隔設(shè)置的噴頭，所述噴頭用于將噴管內(nèi)的藥水噴淋至生產(chǎn)板上。

在一實(shí)施例中，所述輸送結(jié)構(gòu)包括載板部件，所述載板部件包括：

載板框，用于容納生產(chǎn)板；以及

板夾，固設(shè)于載板框上并用于夾持生產(chǎn)板。

在一實(shí)施例中，所述板夾包括第一夾持部、彈性連接部、轉(zhuǎn)動連接部以及第二夾持部，所述第一夾持部固定于所述載板框上，所述第一夾持部與所述第二夾持部通過所述轉(zhuǎn)動連接部轉(zhuǎn)動連接，所述彈性連接部設(shè)于所述第一夾持部的第一端與所述第二夾持部的第一端之間，所述彈性連接部用于使所述第一夾持部的第二端與所述第二夾持部的第二端抵接。

在一實(shí)施例中，所述第一夾持部的第二端與所述第二夾持部的第二端均設(shè)有避讓槽。

在一實(shí)施例中，所述輸送結(jié)構(gòu)包括：

第一安裝架，設(shè)有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸能在所述第一安裝架上自轉(zhuǎn)；

驅(qū)動磁力輪，用于在驅(qū)動力的作用下自轉(zhuǎn)；

從動磁力輪，套設(shè)于所述轉(zhuǎn)軸上，并用于在所述驅(qū)動磁力輪的磁力驅(qū)動下轉(zhuǎn)動以帶動所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動；以及

摩擦輪，套設(shè)于所述轉(zhuǎn)軸上并與所述從動磁力輪間隔設(shè)置，所述摩擦輪用于與所述載板框接觸以將所述生產(chǎn)板運(yùn)輸至所述噴淋腔內(nèi)。

在一實(shí)施例中，所述輸送結(jié)構(gòu)還包括第二安裝架和兩個(gè)限位部件，兩個(gè)所述限位部件沿鉛錘方向相對設(shè)置，一個(gè)所述限位部件設(shè)置于所述第一安裝架上，另一個(gè)所述限位部件設(shè)置于所述第二安裝架上。

在一實(shí)施例中，所述支架結(jié)構(gòu)上設(shè)有擺動部件，所述擺動部件與所述噴淋架傳動連接。

在一實(shí)施例中，所述擺動部件包括：

第三安裝架，設(shè)有限位柱；

驅(qū)動電機(jī)，設(shè)置于所述第三安裝架上；