[發明專利]顯影裝置

在審

• 申請號: 202211306714.6
• 申請日: 2022-10-25
• 公開（公告）號: CN115629524A
• 公開（公告）日: 2023-01-20
• 發明（設計）人: 練文軍
• 申請（專利權）人: 深圳天華機器設備有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 深圳市六加知識產權代理有限公司 44372
• 代理人: 許銓芬

1.一種顯影裝置，其特征在于，包括：

支架結構，設有噴淋腔；

輸送結構，設于噴淋腔內并與所述支架結構連接，且用于限位連接生產板以將所述生產板運輸至所述噴淋腔內；以及

噴淋結構，包括噴淋架、壓力控制器和多個噴管，所述噴淋架與所述輸送結構間隔設置于所述噴淋腔內，多個所述噴管間隔設置于所述噴淋架上并且均與所述壓力控制器相連接，所述壓力控制器用于控制各個所述噴管內的壓力值，每個所述噴管均沿預設方向設置，每個所述噴管上設有多個間隔設置的噴頭，所述噴頭用于將噴管內的藥水噴淋至生產板上。

2.如權利要求1所述的顯影裝置，其特征在于：所述輸送結構包括載板部件，所述載板部件包括：

載板框，用于容納生產板；以及

板夾，固設于所述載板框上并用于夾持生產板。

3.如權利要求2所述的顯影裝置，其特征在于：所述板夾包括第一夾持部、彈性連接部、轉動連接部以及第二夾持部，所述第一夾持部固定于所述載板框上，所述第一夾持部與所述第二夾持部通過所述轉動連接部轉動連接，所述彈性連接部設于所述第一夾持部的第一端與所述第二夾持部的第一端之間，所述彈性連接部用于使所述第一夾持部的第二端與所述第二夾持部的第二端抵接。

4.如權利要求3所述的顯影裝置，其特征在于：所述第一夾持部的第二端與所述第二夾持部的第二端均設有避讓槽。

5.如權利要求2所述的顯影裝置，其特征在于：所述輸送結構還包括：

第一安裝架，設有轉軸，所述轉軸能在所述第一安裝架上自轉；

驅動磁力輪，用于在驅動力的作用下自轉；

從動磁力輪，套設于所述轉軸上，并用于在所述驅動磁力輪的磁力驅動下轉動以帶動所述轉軸轉動；以及

摩擦輪，套設于所述轉軸上并與所述從動磁力輪間隔設置，所述摩擦輪用于與所述載板框接觸以將所述生產板運輸至所述噴淋腔內。

6.如權利要求2所述的顯影裝置，其特征在于：所述輸送結構還包括第二安裝架和兩個限位部件，兩個所述限位部件沿鉛錘方向相對設置，一個所述限位部件設置于所述第一安裝架上，另一個所述限位部件設置于所述第二安裝架上。

7.如權利要求1所述的顯影裝置，其特征在于：所述支架結構上設有擺動部件，所述擺動部件與所述噴淋架傳動連接。

8.如權利要求4所述的顯影裝置，其特征在于：所述擺動部件包括：

第三安裝架，設有限位柱；

驅動電機，設置于所述第三安裝架上；

轉動輪，設有偏離其軸線的偏心孔，所述驅動電機的輸出軸與所述偏心孔匹配連接；以及

擺動塊，包括主體、第一連接部和第二連接部，所述第一連接部與所述第二連接部分別設于所述主體的兩側，所述主體套設于所述限位柱上并能在所述限位柱上滑動，所述第一連接部設于所述轉動輪的上方并與所述轉動輪的周向側壁抵接，所述第二連接部與所述噴淋架連接。

9.如權利要求5所述的顯影裝置，其特征在于：所述轉動輪的周向側壁上設有沿周向分布的限位缺口，所述第一連接部設于所述限位缺口內。

10.如權利要求1所述的顯影裝置，其特征在于：壓力控制器包括調壓閥和壓力表，所述調壓閥用于調節所述噴管內藥液的壓力，所述壓力表用于測量所述噴管內藥液的壓力值。

11.如權利要求1所述的顯影裝置，其特征在于：所述噴淋結構設置有兩個，所述輸送結構設于兩個所述噴淋結構之間。

12.如權利要求1所述的顯影裝置，其特征在于：所述支架結構上設有觀察窗口。