[發明專利]一種特氣供應高壓測漏補償設備

在審

• 申請號: 202211279952.2
• 申請日: 2022-10-19
• 公開（公告）號: CN115654371A
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發明（設計）人: 顧文俊
• 申請（專利權）人: 上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司;上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;F17D1/065;F17D3/01;F17D5/00;F17D5/02;G01M3/28
• 代理公司: 上海恒銳佳知識產權代理事務所(普通合伙) 31286
• 代理人: 吳浩

本發明公開了一種特氣供應高壓測漏補償設備，包括鋼瓶接頭、工藝氣出口、吹掃氮氣、高壓側漏氣體、真空產生器氣源、排氣口、排風口、擴充口和串口。本發明與現有技術相比的優點在于：室外硅烷站現場更換特氣鋼瓶后，需要對鋼瓶接口進行高壓保壓測試，本專利技術將不在受室外環境溫度變化的影響，測試結果準確率更高。降低了現場操作的誤判率，提高了安全生產的技術要求。

技術領域

本發明涉及特氣供應領域，具體是指一種特氣供應高壓測漏補償設備。

背景技術

特氣供應設備(氣瓶柜、氣瓶架、大宗特氣供應系統)更換鋼瓶后對鋼瓶接口進行高壓保壓測試時受環境溫度影響較大，特別是開放式硅烷站內大宗硅烷供應系統環境溫度變化常常導致高壓測漏功能失敗。

經調查美國、法國、日本、韓國和中國等特氣供應設備GCBSGS均沒有高壓測漏補償功能。壓力試驗時直接讀取壓力數據，設定一個偏差值，沒有考慮溫度對壓力試驗的影響。

易燃易爆、有毒有害的特種氣體氣瓶柜每次更換鋼瓶后壓力試驗受溫度影響非常大，特別是夏季、冬季尤為明顯。特別是自然性的硅烷氣體，硅烷站為開放式建筑物，大宗硅烷供應系統壓力試驗受溫度影響最大，現有硅烷BSGS系統換瓶后壓力試驗結果常常失敗，現場只有憑借經驗重新做壓力試驗或通過別的方式檢測鋼瓶接頭有無泄漏。

因此一種特氣供應高壓測漏補償設備亟待被研究。

發明內容

本發明要解決的技術問題是，針對以上問題提供一種特氣供應高壓測漏補償設備。

為解決上述技術問題，本發明提供的技術方案為：一種特氣供應高壓測漏補償設備，包括鋼瓶接頭、工藝氣出口、吹掃氮氣、高壓側漏氣體、真空產生器氣源、排氣口、排風口、擴充口和串口，所述鋼瓶接頭分設于兩側，鋼瓶接頭連接高壓三通氣動閥，鋼瓶接頭和高壓三通氣動閥之間安裝有壓力傳感器，高壓三通氣動閥上串聯過流量開關，過流量開關并聯高壓三通氣動閥二和高壓三通氣動閥三，高壓三通氣動閥二串聯兩通手動閥和單向閥，高壓三通氣動閥三串聯調壓閥、壓力傳感器和低壓兩通氣動閥，單向閥和兩通手動閥之間通過低壓三通氣動閥并聯高壓三通氣動閥三管路，低壓兩通氣動閥上串聯有過濾器和兩通手動閥，兩個鋼瓶接頭管路并聯。

作為改進，工藝出氣口通過壓力傳感器和兩通手動閥連接在并聯后的鋼瓶接頭管路靠近兩通手動閥的一端。

作為改進，吹掃氮氣通過低壓兩通氣動閥、單向閥和高壓兩通氣動閥連接到并聯后的鋼瓶接頭管路靠近高壓三通氣動閥的一端。

作為改進，高壓側漏氣體通過單向閥和高壓兩通氣動閥二連接到并聯后的鋼瓶接頭管路靠近高壓三通氣動閥的一端，并且和吹掃氮氣管路并聯。

作為改進，真空產生器氣源通過低壓兩通氣動閥連接單向閥連接到鋼瓶接頭管路單向閥分路并聯后的管路上，連接處設有真空產生器，真空產生器和鋼瓶接頭管路之間設有兩通手動閥，真空產生器通過管路連接排氣口。

作為改進，擴充口和串口通過壓力傳感器和兩通手動閥并聯在工藝氣出口管路靠近兩通手動閥一端的一條支路上。

作為改進，特氣供應高壓測漏補償設備外側設有殼體，殼體頂部設有排風口。

作為改進，連接擴充口和串口的管路靠近鋼瓶接頭的壓力傳感器上連接有PLC，PLC連接溫度計。

本發明與現有技術相比的優點在于：室外硅烷站現場更換特氣鋼瓶后，需要對鋼瓶接口進行高壓保壓測試，本專利技術將不在受室外環境溫度變化的影響，測試結果準確率更高。降低了現場操作的誤判率，提高了安全生產的技術要求。

附圖說明

圖1是一種特氣供應高壓測漏補償設備的結構示意圖。