[發(fā)明專利]一種特氣供應高壓測漏補償設備

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• 申請日: 2022-10-19
• 公開（公告）號: CN115654371A
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發(fā)明（設計）人: 顧文俊
• 申請（專利權）人: 上海集成電路裝備材料產業(yè)創(chuàng)新中心有限公司;上海集成電路研發(fā)中心有限公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;F17D1/065;F17D3/01;F17D5/00;F17D5/02;G01M3/28
• 代理公司: 上海恒銳佳知識產權代理事務所(普通合伙) 31286
• 代理人: 吳浩

1.一種特氣供應高壓測漏補償設備，包括鋼瓶接頭(1)、工藝氣出口(2)、吹掃氮氣(3)、高壓側漏氣體(4)、真空產生器氣源(5)、排氣口(6)、排風口(7)、擴充口(8)和串口(9)，其特征在于：所述鋼瓶接頭(1)分設于兩側，鋼瓶接頭(1)連接高壓三通氣動閥(10)，鋼瓶接頭(1)和高壓三通氣動閥(10)之間安裝有壓力傳感器(11)，高壓三通氣動閥(10)上串聯(lián)過流量開關(12)，過流量開關(12)并聯(lián)高壓三通氣動閥二(13)和高壓三通氣動閥三(14)，高壓三通氣動閥二(13)串聯(lián)兩通手動閥(15)和單向閥(16)，高壓三通氣動閥三(13)串聯(lián)調壓閥(17)、壓力傳感器(11)和低壓兩通氣動閥(19)，單向閥(16)和兩通手動閥(15)之間通過低壓兩通氣動閥二(20)并聯(lián)高壓三通氣動閥三(14)管路，低壓兩通氣動閥(19)上串聯(lián)有過濾器(21)和兩通手動閥(15)，兩個鋼瓶接頭(1)管路并聯(lián)。

2.根據權利要求1所述的一種特氣供應高壓測漏補償設備，其特征在于：工藝出氣口(2)通過壓力傳感器(11)和兩通手動閥(15)連接在并聯(lián)后的鋼瓶接頭(1)管路靠近兩通手動閥(15)的一端。

3.根據權利要求1所述的一種特氣供應高壓測漏補償設備，其特征在于：吹掃氮氣(3)通過低壓兩通氣動閥(23)、單向閥(16)和高壓兩通氣動閥(24)連接到并聯(lián)后的鋼瓶接頭(1)管路靠近高壓三通氣動閥(10)的一端。

4.根據權利要求1所述的一種特氣供應高壓測漏補償設備，其特征在于：高壓側漏氣體(4)通過單向閥(16)和高壓兩通氣動閥二(25)連接到并聯(lián)后的鋼瓶接頭(1)管路靠近高壓三通氣動閥(10)的一端，并且和吹掃氮氣(3)管路并聯(lián)。

5.根據權利要求1所述的一種特氣供應高壓測漏補償設備，其特征在于：真空產生器氣源(5)通過低壓兩通氣動閥(26)連接單向閥(16)連接到鋼瓶接頭(1)管路單向閥(16)分路并聯(lián)后的管路上，連接處設有真空產生器(27)，真空產生器(27)和鋼瓶接頭(1)管路之間設有兩通手動閥(15)，真空產生器(17)通過管路連接排氣口(6)。

6.根據權利要求1所述的一種特氣供應高壓測漏補償設備，其特征在于：擴充口(8)和串口(9)通過壓力傳感器(11)和兩通手動閥(15)并聯(lián)在工藝氣出口(2)管路靠近兩通手動閥(15)一端的一條支路上。

7.根據權利要求1所述的一種特氣供應高壓測漏補償設備，其特征在于：特氣供應高壓測漏補償設備外側設有殼體(28)，殼體(18)頂部設有排風口(7)。

8.根據權利要求1所述的一種特氣供應高壓測漏補償設備，其特征在于：連接擴充口(8)和串口(9)的管路靠近鋼瓶接頭(1)的壓力傳感器(11)上連接有PLC(18)，PLC(18)連接溫度計(22)。