[發(fā)明專利]芯片生產(chǎn)用溫濕度試驗設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202211275454.0
• 申請日: 2022-10-18
• 公開（公告）號: CN115480152A
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 杜全;沈田;趙凡奎
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽龍芯微科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 合肥正則元起專利代理事務(wù)所(普通合伙) 34160
• 代理人: 韓立峰

1.芯片生產(chǎn)用溫濕度試驗設(shè)備，其特征在于，包括：

設(shè)備主體(1)；

轉(zhuǎn)運機構(gòu)(2)，所述轉(zhuǎn)運機構(gòu)(2)活動設(shè)置在設(shè)備主體(1)的一側(cè)，所述轉(zhuǎn)運機構(gòu)(2)用于運輸芯片；

溫濕度試驗機構(gòu)(3)，所述溫濕度試驗機構(gòu)(3)的數(shù)量為若干個，若干個溫濕度試驗機構(gòu)(3)相互疊加在設(shè)備主體(1)的內(nèi)腔中，所述溫濕度試驗機構(gòu)(3)包括試驗板(31)，所述試驗板(31)的一端固定連接有密封機構(gòu)(32)，所述試驗板(31)的頂面開設(shè)有試驗槽(35)，所述密封機構(gòu)(32)將試驗槽(35)與外部環(huán)境隔離；

監(jiān)測終端(4)，所述監(jiān)測終端(4)設(shè)置在設(shè)備主體(1)的一側(cè)，所述監(jiān)測終端(4)用于控制轉(zhuǎn)運機構(gòu)(2)和溫濕度試驗機構(gòu)(3)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片生產(chǎn)用溫濕度試驗設(shè)備，其特征在于，所述轉(zhuǎn)運機構(gòu)(2)包括密封側(cè)板(21)，所述密封側(cè)板(21)靠近設(shè)備主體(1)一側(cè)的四角位置均固定連接有伸縮桿(22)，所述伸縮桿(22)為液壓推桿、氣動推桿或者電動推桿。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的芯片生產(chǎn)用溫濕度試驗設(shè)備，其特征在于，所述密封側(cè)板(21)靠近設(shè)備主體(1)一側(cè)固定連接有豎直設(shè)置的限位桿(23)，所述限位桿(23)的側(cè)面嵌套有升降板(24)，所述升降板(24)的中間位置設(shè)有滾珠螺母，滾珠螺母的內(nèi)側(cè)穿插有與滾珠螺母相互契合的驅(qū)動絲杠，驅(qū)動絲杠的底端通過齒輪連接有電機。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的芯片生產(chǎn)用溫濕度試驗設(shè)備，其特征在于，所述升降板(24)的正面通過液壓推桿連接有兩組移動塊(25)，兩組所述移動塊(25)的正面均連接有夾持桿(26)，兩根夾持桿(26)之間夾持有試驗芯片組(27)，所述試驗芯片組(27)的頂面安裝有若干芯片。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片生產(chǎn)用溫濕度試驗設(shè)備，其特征在于，所述試驗板(31)的頂面后端位置固定連接有加熱器(33)和加濕器(34)，所述加熱器(33)用于調(diào)節(jié)試驗槽(35)內(nèi)的溫度，所述加熱器(33)用于調(diào)節(jié)試驗槽(35)內(nèi)的濕度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片生產(chǎn)用溫濕度試驗設(shè)備，其特征在于，所述密封機構(gòu)(32)包括固定板(321)，所述固定板(321)的頂面固定連接有密封板(322)，所述固定板(321)與密封板(322)之間設(shè)有旋轉(zhuǎn)板(323)。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的芯片生產(chǎn)用溫濕度試驗設(shè)備，其特征在于，所述試驗槽(35)的兩側(cè)轉(zhuǎn)動連接有定位機構(gòu)(36)，所述定位機構(gòu)(36)包括夾持板(361)，所述夾持板(361)的兩端固定連接有旋轉(zhuǎn)軸(363)，所述旋轉(zhuǎn)軸(363)的底面固定連接有斜面板(362)，所述夾持板(361)的內(nèi)側(cè)設(shè)有導(dǎo)體片板(364)，所述試驗芯片組(27)的側(cè)面設(shè)有與導(dǎo)體片板(364)相互契合的導(dǎo)體片。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的芯片生產(chǎn)用溫濕度試驗設(shè)備，其特征在于，所述夾持桿(26)的內(nèi)側(cè)固定連接有夾持塊(261)，所述試驗芯片組(27)的一側(cè)開設(shè)有與夾持塊(261)相互契合的夾持槽(271)，所述夾持槽(271)的寬度大于夾持板(361)的寬度。