[發明專利]一種用于多晶硅的干燥裝置及干燥方法

在審

• 申請號: 202211267042.2
• 申請日: 2022-10-17
• 公開（公告）號: CN115930555A
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 劉虎;杜斌功;魏強;安生虎;周國峰;高鵬;梁艷紅;井國升;何強;王澤飛
• 申請（專利權）人: 青海黃河上游水電開發有限責任公司新能源分公司;青海芯測科技有限公司;青海黃河上游水電開發有限責任公司;國家電投集團黃河上游水電開發有限責任公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B21/00;F26B21/04;F26B3/02
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;黃進

1.一種用于多晶硅的干燥裝置，其特征在于，所述干燥裝置包括：鼓風單元(1)、加熱單元(2)和箱體(3)，

所述鼓風單元(1)用于將潔凈的空氣加壓后鼓入到加熱單元(2)；

所述加熱單元(2)用于對鼓入的空氣進行加熱形成熱空氣并將熱空氣通入所述箱體(3)；

所述箱體(3)用于承載待干燥的多晶硅；

其中，所述箱體(3)內部形成中空腔體結構，所述箱體(3)的內壁表面覆蓋有防腐蝕的保護層(31)，所述箱體(3)上開設有進風口(301)和出風口(302)，所述出風口(302)連接有負壓單元(4)；所述箱體(3)還包括頂部設置的箱蓋(32)，所述箱蓋(32)使所述箱體(3)呈密封狀態。

2.根據權利要求1所述的多晶硅的干燥裝置，其特征在于，所述鼓風單元(1)為鼓風機。

3.根據權利要求1所述的多晶硅的干燥裝置，其特征在于，所述加熱單元(2)包括熱電偶(21)和石英管(22)，所述石英管(22)一端連接所述鼓風單元(1)，所述石英管(22)另一端連接所述進風口(301)，所述熱電偶(21)用于對所述石英管(22)進行加熱。

4.根據權利要求1所述的多晶硅的干燥裝置，其特征在于，所述箱體(3)內部設有網格狀的承載部件(33)，所述網格狀的承載部件(33)遠離所述箱體(3)內部底面，所述網格狀的承載部件(33)用于承載待干燥的多晶硅。

5.一種多晶硅的干燥方法，其特征在于，采用如權利要求1-4任一所述的干燥裝置，所述干燥方法包括如下步驟：

S10、將待干燥的多晶硅置于箱體(3)中；

S20、采用鼓風單元(1)將潔凈的空氣鼓入到加熱單元(2)加熱形成熱空氣；

S30、將得到的熱空氣通入所述箱體(3)中，熱空氣將待干燥的多晶硅表面的水分汽化，達到干燥多晶硅的目的。

6.根據權利要求5所述的多晶硅的干燥方法，其特征在于，所述熱空氣的溫度為300℃～400℃。

7.根據權利要求5所述的多晶硅的干燥方法，其特征在于，所述步驟S30中所述熱空氣通入所述箱體(3)后，一部分通過所述出風口(302)排出，一部分通過所述進風口(301)回流到所述加熱單元(2)，經所述加熱單元(2)加熱后再次進入所述箱體(3)，以此循環。