[發明專利]光檢測裝置

在審

• 申請號: 202211259023.5
• 申請日: 2018-02-26
• 公開（公告）號: CN115524006A
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 笠原隆;柴山勝己;廣瀬真樹;川合敏光;大山泰生;藏本有未
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01J3/26
• 分類號: G01J3/26;G01J3/02;G01J1/04;G01J3/51;G01J3/50
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

光檢測裝置具備：封裝體，其設置有窗部；法布里?珀羅干涉濾波器，其在封裝體內，使自窗部入射的光透過；及光檢測器，其在封裝體內，檢測透過了法布里?珀羅干涉濾波器的光。法布里?珀羅干涉濾波器具有：基板，其具有窗部側的第1表面及光檢測器側的第2表面；第1層構造體，其配置于第1表面，設置有第1鏡部及第2鏡部；及透鏡部，其一體地設置于第2表面側，且將透過了第1鏡部及第2鏡部的光聚光于光檢測器。

本申請是申請日為2018年2月26日、申請號為201880014153.8、發明名稱為光檢測裝置的專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及一種具備法布里-珀羅干涉濾波器的光檢測裝置。

背景技術

已知有具備以下構件的光檢測裝置：封裝體，其設置有窗部；法布里-珀羅干涉濾波器，其在封裝體內，使自窗部入射的光透過；光檢測器，其在封裝體內，檢測透過了法布里-珀羅干涉濾波器的光(例如參照專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2016-211860號公報

發明內容

發明所要解決的問題

在上述那樣的光檢測裝置中，期望利用光檢測器效率良好地檢測透過法布里-珀羅干涉濾波器的光。特別是在使用泛用的光源并分析來自被測定物的反射光的情況下，由于反射光的光量容易變小，因而效率良好地檢測光是重要的。

為了效率良好地檢測光，考慮使用受光區域大的光電二極管等的光檢測器。然而，若使用受光區域大的光檢測器，則有在自光檢測器輸出的信號中噪聲成分變大的擔憂。

本發明的目的在于提供一種可實現高靈敏度且高精度的檢測的光檢測裝置。

解決問題的技術手段

一個方面的光檢測裝置，具備：封裝體，其設置有使光入射的窗部；法布里-珀羅干涉濾波器，其配置于封裝體內，且使自窗部入射的光透過；及光檢測器，其以與法布里-珀羅干涉濾波器分離的狀態配置于封裝體內，且檢測透過了法布里-珀羅干涉濾波器的光；法布里-珀羅干涉濾波器具有：基板，其具有窗部側的第1表面及光檢測器側的第2表面；第1層構造體，其配置于第1表面，設置有隔著空隙彼此相對且彼此的距離設為可變的第1鏡部及第2鏡部；及透鏡部，其一體地設置于第2表面側，且將透過了第1鏡部及第2鏡部的光聚光于光檢測器。

在上述的光檢測裝置中，法布里-珀羅干涉濾波器具有將透過了第1鏡部及第2鏡部的光聚光于光檢測器的透鏡部。由此，即使使用受光區域小的光檢測器，也能夠使透過第1鏡部及第2鏡部的光效率良好地入射至該受光區域。即，使用受光區域小的光檢測器，能夠在自光檢測器輸出的信號中減少噪聲成分，且效率良好地檢測透過法布里-珀羅干涉濾波器的光。此處，若光檢測器的受光區域變小，則針對透鏡部相對于光檢測器的位置(特別是垂直于光軸的方向上的位置)要求高精度。在上述的光檢測裝置中，由于透鏡部位于第1鏡部及第2鏡部的后段，因而與透鏡部位于第1鏡部及第2鏡部的前段的情況相比，透鏡部與光檢測器的距離變小，而緩和針對透鏡部相對于光檢測器的位置所要求的精度。另外，由于透鏡部一體地設置于構成法布里-珀羅干涉濾波器的基板的第2表面側，因而和透鏡部與法布里-珀羅干涉濾波器分開地安裝于支撐構件(例如，在封裝體內，以法布里-珀羅干涉濾波器與光檢測器分離的狀態支撐法布里-珀羅干涉濾波器的支撐構件)的情況相比，透鏡部相對于光檢測器的位置不易產生偏移。根據以上內容，根據上述的光檢測裝置，可實現高靈敏度且高精度的檢測。