[發明專利]光檢測裝置

在審

• 申請號: 202211259023.5
• 申請日: 2018-02-26
• 公開（公告）號: CN115524006A
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 笠原隆;柴山勝己;廣瀬真樹;川合敏光;大山泰生;藏本有未
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01J3/26
• 分類號: G01J3/26;G01J3/02;G01J1/04;G01J3/51;G01J3/50
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種濾波器裝置，其特征在于，

具備：

封裝體，其設置有使光入射的窗部；

帶通濾波器，其配置于所述封裝體的內面，且使從所述窗部入射的所述光透過；及

法布里-珀羅干涉濾波器，其配置于所述封裝體內，且使透過了所述帶通濾波器的所述光透過，

在自所述光的入射方向觀察的情況下，所述帶通濾波器的外緣位于較所述法布里-珀羅干涉濾波器的外緣更靠近外側的位置，

所述法布里-珀羅干涉濾波器具有：

基板，其具有所述窗部側的第1表面及與所述窗部相反側的第2表面；

第1層構造體，其配置于所述第1表面，設置有隔著空隙而彼此相對且彼此的距離設為可變的第1鏡部及第2鏡部；及

透鏡部，其一體地設置于所述第2表面側，且將透過了所述第1鏡部及所述第2鏡部的所述光聚光，

所述第1層構造體具有：

第1層疊體，其配置于所述第1表面，且包含所述第1鏡部；

中間層，其配置于所述第1層疊體上，且形成所述空隙；及

第2層疊體，其配置于所述中間層上，且包含所述第2鏡部，

在自所述光的入射方向觀察的情況下，所述透鏡部位于所述空隙的內側。

2.一種濾波器裝置，其特征在于，

具備：

封裝體，其設置有使光入射的窗部；

帶通濾波器，其配置于所述封裝體的內面，且使從所述窗部入射的所述光透過；及

法布里-珀羅干涉濾波器，其配置于所述封裝體內，且使透過了所述帶通濾波器的所述光透過，

在自所述光的入射方向觀察的情況下，所述帶通濾波器的外緣位于較所述法布里-珀羅干涉濾波器的外緣更靠近外側的位置，

所述法布里-珀羅干涉濾波器具有：

基板，其具有所述窗部側的第1表面及與所述窗部相反側的第2表面；

第1層構造體，其配置于所述第1表面，設置有隔著空隙而彼此相對且彼此的距離設為可變的第1鏡部及第2鏡部；

透鏡部，其一體地設置于所述第2表面側，且將透過了所述第1鏡部及所述第2鏡部的所述光聚光；及

第1端子及第2端子，其設置于所述第1層構造體，

所述第1層構造體具有：

第1層疊體，其配置于所述第1表面，且包含所述第1鏡部；

中間層，其配置于所述第1層疊體上，且形成所述空隙；及

第2層疊體，其配置于所述中間層上，且包含所述第2鏡部，

在自所述光的入射方向觀察的情況下，所述第1端子及所述第2端子位于所述透鏡部的外側。

3.如權利要求1或2所述的濾波器裝置，其特征在于，

所述透鏡部形成于所述基板中的所述第2表面側的部分。

4.如權利要求1或2所述的濾波器裝置，其特征在于，

所述透鏡部直接或間接地設置于所述第2表面。

5.如權利要求4所述的濾波器裝置，其特征在于，

所述法布里-珀羅干涉濾波器還具有：第2層構造體，其配置于所述第2表面，且構成為與所述第1層構造體對應，

在所述第2層構造體，形成有供透過了所述第1鏡部及所述第2鏡部的所述光通過的開口，

所述透鏡部配置于所述開口內。

6.如權利要求1或2所述的濾波器裝置，其特征在于，

所述法布里-珀羅干涉濾波器還具有：第2層構造體，其配置于所述第2表面，且構成為與所述第1層構造體對應，

在所述第2層構造體，形成有供透過了所述第1鏡部及所述第2鏡部的所述光通過的開口，

所述透鏡部以封閉所述開口的方式安裝于所述第2層構造體。

7.如權利要求1～6中任一項所述的濾波器裝置，其特征在于，

在自所述光的入射方向觀察的情況下，所述透鏡部的外緣位于較所述窗部的外緣更靠近內側的位置。